1.一种开关器件,包括:
第一开口,被布置在衬底中;
第一源极,被布置成邻近所述第一开口并且具有与所述第一开口的侧壁平行的接触表面;
第一漏极,被布置成邻近所述第一开口并且具有与所述第一开口的所述侧壁平行的接触表面;以及
第一可移动栅极堆叠,包括被布置在所述第一开口之内的第一沟道和第一栅极。
2.根据权利要求1所述的开关器件,进一步包括本体,所述本体被布置成邻近所述第一开口并且具有与所述第一开口的所述侧壁平行的接触表面。
3.根据权利要求2所述的开关器件,其中所述开关器件包括接通状态和关断状态,并且其中所述第一可移动栅极堆叠被配置成在所述接通状态下朝向所述本体被拉动。
4.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述开关器件包括接通状态和关断状态,并且其中所述第一可移动栅极堆叠被配置成在所述接通状态下朝向所述第一源极被拉动。
5.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述开关器件包括接通状态和关断状态,其中所述开关器件被配置成在接通状态下导电,其中在所述关断状态下,所述第一可移动栅极堆叠处于第一参考位置,其中在所述接通状态下,所述第一可移动栅极堆叠从所述第一参考位置发生位移并且接触所述第一源极和所述第一漏极,从而通过所述第一沟道在所述第一源极与所述第一漏极之间提供第一导电路径。
6.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述第一可移动栅极堆叠被弹性耦合至所述第一开口的侧壁。
7.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述第一可移动栅极堆叠被弹性耦合至所述第一开口的底表面。
8.根据权利要求1所述的开关器件,其中所述第一可移动栅极堆叠包括弹性部件。
9.根据权利要求1所述的开关器件,进一步包括:
源极接触焊盘,被耦合至所述第一源极;以及
漏极接触焊盘,被耦合至所述第一漏极,其中所述源极接触焊盘和所述漏极接触焊盘被布置在所述衬底的相同侧之上。
10.根据权利要求1所述的开关器件,进一步包括:
源极接触焊盘,被耦合至所述第一源极;以及
漏极接触焊盘,被耦合至所述第一漏极,其中所述源极接触焊盘和所述漏极接触焊盘被布置在所述衬底的相对侧上。
11.根据权利要求1所述的开关器件,进一步包括:
第二开口,被布置在所述衬底中;
第二源极,被布置成邻近所述第二开口并且具有与所述第二开口的侧壁平行的接触表面;
第二漏极,被布置成邻近所述第二开口并且具有与所述第二开口的侧壁平行的接触表面;以及
第二可移动栅极堆叠,包括被布置在所述第二开口之内的第二沟道和第二栅极。
12.根据权利要求11所述的开关器件,其中,所述第一源极和所述第二源极被耦合至共用源极节点,并且其中所述第一漏极和所述第二漏极被耦合至共用漏极节点。
13.根据权利要求11所述的开关器件,其中,所述第一源极和所述第二源极通过所述衬底的共用区域被分离。
14.一种开关器件,包括:
开口,被布置在衬底中,所述开口包括第一侧壁和相对的第二侧壁;
源极,被布置在所述开口中和/或之上;
漏极,被布置在所述开口中和/或之上;以及
沟道,被布置在所述开口中,所述沟道包括具有第一位置和第二位置的第一可移动导电元件,其中在所述第一位置中,所述第一可移动导电元件被配置成接触所述漏极和所述源极,其中在所述第二位置中,所述第一可移动导电元件被配置成通过第一气隙与所述漏极和所述源极分离。
15.根据权利要求14所述的开关器件,进一步包括:
介电层,被布置在所述源极之上,所述介电层包括第一主表面和相对的第二主表面;
第二气隙,被布置在所述源极与所述介电层之间;以及
栅极,所述栅极沿着所述介电层的所述第一主表面被布置。
16.根据权利要求15所述的开关器件,其中所述沟道沿着所述介电层的所述第二主表面被布置。
17.根据权利要求14所述的开关器件,其中所述源极沿着所述开口的所述第一侧壁的第一部分被布置,其中所述漏极包括沿着所述开口的所述第一侧壁的第二部分被布置的第一漏极区域,其中所述源极进一步沿着所述开口的所述第二侧壁的第一部分被布置,其中所述漏极进一步包括沿着所述开口的所述第二侧壁的第二部分被布置的第二漏极区域。
18.根据权利要求17所述的开关器件,其中所述沟道包括具有第一位置和第二位置的第二可移动导电元件,其中在所述第一位置中,所述第二可移动导电元件被配置成接触所述第二漏极区域和所述源极,其中在所述第二位置中,所述第二可移动导电元件被配置成通过第二气隙而与所述第二漏极区域和所述源极分离。
19.根据权利要求17所述的开关器件,其中所述沟道被机械地耦合至栅极,所述栅极被锚定至所述开口的底表面。
20.根据权利要求14所述的开关器件,其中所述衬底包括半导体或金属衬底。
21.根据权利要求20所述的开关器件,进一步包括被布置在所述半导体衬底的主表面之上的隔离介电层,其中所述源极通过所述隔离介电层而与所述漏极隔离。
22.一种集成电路,包括:
多个开关器件,其中所述多个开关器件中的每个开关器件均包括:
被布置在衬底中的开口,
源极区域,
漏极区域,
沿着第一方向定向的栅极线,所述栅极线包括被布置在所述开口之内的可移动导电元件,其中所述可移动导电元件被配置成在所述开关器件的第一状态下接触所述源极区域和所述漏极区域并且被配置成在所述开关器件的第二状态下与所述源极区域和所述漏极区域隔离,
其中所述多个开关器件沿着所述第一方向被按行布置并且沿着与所述第一方向垂直的第二方向被按列布置,其中所述多个开关器件中的一个开关器件的第一栅极线通过处于所述第一栅极线之上的金属层中的导线而被耦合至所述多个开关器件的位于相同行中的另一开关器件的相邻第二栅极线。
23.根据权利要求22所述的电路,其中所述第一栅极线通过与所述第一栅极线位于相同层中的导线而耦合至位于相同列中的相邻第三栅极线。
24.根据权利要求22所述的电路,其中所述开口为矩形。
25.根据权利要求22所述的电路,其中所述集成电路包括CMOS器件。
26.根据权利要求22所述的电路,其中所述集成电路包括存储器器件。