技术总结
本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频电源和匹配器为感应线圈供电，高压特斯拉点火线圈由外部电源进行供电；喷嘴与ICP发生装置中等离子体矩管的前端为可拆卸的固定连接，通过更换不同内径的喷嘴来实现对去除函数的尺寸进行调节。采用本发明的ICP发生装置对光学元件加工能获得理想尺寸的去除函数，实现全频段面形误差收敛。
技术研发人员：王旭;薛栋林;张学军;刘泉;郑立功
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码：201610623985
技术研发日：2016.08.02
技术公布日：2016.12.21