集成电路及其制造方法与流程

文档序号:11235510阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了集成电路及其制造方法。集成电路包括晶体管、第一介电层、蚀刻停止层、第一通孔和第一导电层。第一介电层设置在晶体管和蚀刻停止层之间。第一通孔设置在第一介电层和蚀刻停止层中,并且电连接至晶体管。第一导电层与第一通孔接触,其中第一通孔设置在第一导电层和晶体管之间,并且蚀刻停止层位于部分第一通孔旁边并且与第一导电层相邻。

技术研发人员:赖文隆;蒋振劼;郑志成;张简旭珂
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.08.11
技术公布日:2017.09.12
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