离子束强化装置及方法与流程

文档序号:12129246阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种离子束强化装置,其特征在于:所述离子束强化装置包括:

第一管,所述第一管内具有气体通道;

加热单元,所述加热单元用于加热所述第一管;

第二管,所述第二管的一端连接所述第一管,所述第二管的非与所述第一管重叠的部分的内径小于所述第一管的内径;

电极,所述电极用于电离进入所述第二管内的气体。

2.根据权利要求1所述的离子束强化装置,其特征在于:所述电极设置在所述第二管的外缘。

3.根据权利要求2所述的离子束强化装置,其特征在于:所述电极设置在所述第二管的外缘的临着所述第一管处。

4.根据权利要求1所述的离子束强化装置,其特征在于:所述第一管的内径为2.5-3.2mm,所述第二管的内径为1.8-2.5mm。

5.根据权利要求1所述的离子束强化装置,其特征在于:所述第二管采用玻璃管。

6.根据权利要求1所述的离子束强化装置,其特征在于:所述第二管的一端套在所述第一管的外缘。

7.离子束强化方法,所述离子束强化方法包括以下步骤:

(A1)气体在第一管内的通道内流动,并被加热;

(A2)加热后的气体进入第二管内,温度和压力发生改变,所述第二管的非与所述第一管重叠的部分的内径小于所述第一管的内径;

电极放电,进入第二管内的气体被电离,形成向前喷射的离子束。

8.根据权利要求7所述的离子束强化方法,其特征在于:所述电极设置在所述第二管的外缘。

9.根据权利要求8所述的离子束强化方法,其特征在于:所述电极设置在所述第二管的外缘的临着所述第一管处。

10.根据权利要求7所述的离子束强化方法,其特征在于:所述第一管的内径为2.5-3.2mm,所述第二管的内径为1.8-2.5mm。

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