GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法及过渡电极与流程

文档序号:11105114阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法,该方法中的GSG型电极和GS型电极阻抗匹配,GSG型电极包括上G极、S极和下G极,GS型电极包括S极和G极,其特征在于,该方法包括以下步骤:

步骤A:保持GSG型电极和GS型电极的阻抗不变的情况下,将GSG型电极的下G极的宽度,与GS型电极的G极的宽度的比值调整为1~2;将GSG型电极的S极的宽度,与GS型电极的S极的宽度的比值调整为1~2;将GSG型电极的下G极与S极的Gap(间隔),与GS型电极的G极与S极的Gap的比值调整为1~2,转到步骤B;

步骤B:将GSG型电极和GS型电极水平放置,GSG型电极和GS型电极预留至少长度为10~200μm的过渡区域;GSG型电极的下G极的下边缘,与GS型电极的G极的下边缘平齐;在过渡区域中,放置2个与过渡区域长度相同的过渡电极:第一过渡电极和第二过渡电极;

第一过渡电极的下边缘,与GSG型电极的下G极的下边缘平齐;第一过渡电极的一侧与GSG型电极的下G极的宽度相同,另一侧与GS型电极的G极的宽度相同,将GSG型电极的下G极,通过第一过渡电极与GS型电极的G极连接;

第二过渡电极的下边缘、GSG型电极的S极的下边缘、以及GS型电极的S极的下边缘平齐;第二过渡电极的一侧与GSG型电极的S极的宽度相同,另一侧与GS型电极的S极的宽度相同,将GSG型电极的S极,通过第二过渡电极与GS型电极连接,转到步骤C;

步骤C:在GSG型电极的上G极和下G极之间,搭建至少1个共地连接桥,共地连接桥包括导体,导体与过渡区域的距离为2~100μm,导体的两端分别与上G极、下G极连接。

2.如权利要求1所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法,其特征在于:步骤A中所述GSG型电极的下G极的宽度,与GS型电极的G极的宽度的比值为1.2,所述GSG型电极的S极的宽度,与GS型电极的S极的宽度的比值为2,所述GSG型电极的下G极与S极的Gap,与GS型电极的G极与S极的Gap的比值为0.5。

3.如权利要求1所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法,其特征在于:步骤B中所述过渡区域的长度为80μm,步骤B中所述导体与过渡区域的距离为5μm。

4.如权利要求1所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法,其特征在于:步骤C中所述GSG型电极的载体有多层,每层载体上均设置有GSG型电极;每层GSG型电极的上G极之间和下G极之间,均通过通孔相连;在此基础上,所述在GSG型电极的上G极和下G极之间搭建共地连接桥的流程为:将所述导体位于与GSG型电极邻近或不邻近的载体上,导体与所述上G极垂直;定义需要搭建共地连接桥的GSG型电极的所在层为A层,导体位于B层;将导体的一端与AB层的上G极之间的通孔连接,另一端与AB层的下G极之间的通孔连接。

5.如权利要求1至4任一项所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡方法,其特征在于:所述GSG型电极和GS型电极阻抗匹配包括2种情形:在单端信号下,GSG型电极和GS型电极的阻抗均为50Ω;在差分信号下,GSG型电极和GS型电极的阻抗均为100Ω。

6.一种实现权利要求1至5任一项所述方法的GSG型电极和GS型电极的互易过渡电极,其特征在于:该过渡电极包括至少1层阻抗匹配的GSG型电极和SG型电极;GSG型电极包括上G极、S极和下G极,GS型电极包括S极和G极;GSG型电极的下G极的宽度,与GS型电极的G极的宽度的比值为1~2,GSG型电极的S极的宽度,与GS型电极的S极的宽度的比值为1~2;GSG型电极的下G极与S极的Gap,与GS型电极的G极与S极的Gap的比值为1~2;

GSG型电极的下G极,通过第一过渡电极与同层GS型电极的G极连接,第一过渡电极的长度为10~200μm,第一过渡电极的下边缘、下G极的下边缘、以及GS型电极的G极的下边缘平齐;第一过渡电极的一侧与GSG型电极的下G极的宽度相同,另一侧与GS型电极的G极的宽度相同;

GSG型电极的S极,通过第二过渡电极与同层GS型电极的S极连接,第二过渡电极的长度与第一过渡电极相同;第二过渡电极的下边缘、GSG型电极的S极的下边缘、以及GS型电极的S极的下边缘平齐;第二过渡电极的一侧与GSG型电极的S极的宽度相同,另一侧与GS型电极的S极的宽度相同;

GSG型电极的上G极和下G极之间,设置有至少1个共地连接桥,共地连接桥包括导体,导体与过渡区域的距离为2~100μm,导体的两端分别与上G极、下G极连接。

7.如权利要求6所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡电极,其特征在于:所述GSG型电极的下G极的宽度,与GS型电极的G极的宽度的比值为1.2,GSG型电极的S极的宽度,与GS型电极的S极的宽度的比值为1.2;GSG型电极的下G极与S极的Gap,与GS型电极的G极与S极的Gap的比值为0.5。

8.如权利要求6所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡电极,其特征在于:所述过渡电极包括至少3层GSG型电极,每层GSG型电极的上G极之间和下G极之间,均通过通孔相连;所述导体位于与GSG型电极邻近或不邻近的其他层的GSG型电极的载体上,导体与上G极垂直;定义设置有共地连接桥的GSG型电极的所在层为A层,导体位于B层;将导体的一端与AB层的上G极之间的通孔连接,另一端与AB层的下G极之间的通孔连接。

9.如权利要求6所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡电极,其特征在于:第一过渡电极的长度为80μm,所述导体与过渡区域的距离为5μm。

10.如权利要求6至9任一项所述的GSG型电极和GS型电极的互易过渡电极,其特征在于:所述GSG型电极和GS型电极阻抗匹配包括2种情形:在单端信号下,GSG型电极和GS型电极的阻抗均为50Ω;在差分信号下,GSG型电极和GS型电极的阻抗均为100Ω。

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