技术总结
本实用新型公开了一种多晶湿法刻蚀设备，所述多晶湿法刻蚀设备包括：纯水进管、热交换装置、至少一个多晶湿法刻蚀机、纯水出管；所述纯水进管与所述热交换装置相连通；所述热交换装置通过降温纯水出水管与所述多晶湿法刻蚀机相连通；所述多晶湿法刻蚀机通过纯水出支管与所述纯水出管相连接；所述热交换装置包括：换热器、板换冷冻水回水管、板换冷冻水进水管；在所述降温纯水出水管和所述纯水进管之间设置有纯水旁管，所述纯水旁管上设置有纯水旁通阀，所述纯水旁通阀用于控制所述纯水旁管的通断。本实用新型提供的多晶湿法刻蚀设备能显著降低夏季的刻蚀黑框返工率，提升设备运行率。
技术研发人员：张森;孔海洋;杨强;王仕鹏;黄海燕;陆川
受保护的技术使用者：浙江正泰太阳能科技有限公司
文档号码：201620729190
技术研发日：2016.07.07
技术公布日：2017.01.25