1.一种晶圆移动装置，其特征在于，包括两个固定件、两个杆状手臂以及三个以上固定爪；每个固定件连接一个杆状手臂，并且，每个固定件连接至少一个固定爪的一端，每个固定爪的另一端具有一凹槽；所述三个以上固定爪用于在所述两个固定件闭合时固定晶圆。
2.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述晶圆移动装置还包括一可伸缩连接装置，通过可伸缩连接装置连接所述两个固定件。
3.如权利要求2所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述可伸缩连接装置为活塞装置，所述活塞装置的数量为两个，每个所述活塞装置包括缸体部分和活塞部分，其中一个固定件上分布所述活塞装置的缸体部分，另一个固定件上分布有所述活塞装置的活塞部分。
4.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述固定爪包括与所述固定件连接的水平部分和与所述水平部分垂直连接的垂直部分，所述凹槽设置于所述垂直部分上。
5.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述固定爪的数量为四个，每个固定件连接两个固定爪。
6.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述固定爪的数量为三个，其中一个固定件连接一个固定爪，另一个固定件连接两个固定爪，相邻两个固定爪之间的夹角为120度。
7.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述凹槽的深度为2mm-3mm。
8.如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述固定件为半圆环状结构。
9.如权利要求8所述的晶圆移动装置，其特征在于，两个固定件的尺寸相同。
10.如权利要求9所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述凹槽与两个固定件闭合后形成的圆环的中心轴线的垂直距离为150mm～151mm、100mm～101mm或者75mm～76mm。