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采用MOSFET的紧凑型三维存储器及其制造方法与流程
文档序号:15392439
发布日期:2018-09-08 01:23
阅读:
来源:国知局
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采用MOSFET的紧凑型三维存储器及其制造方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明提出一种采用MOSFET的紧凑型三维存储器(3D‑MC)。在高于衬底的存储层中,x地址线从存储阵列延伸到解码级。MOSFET晶体管形成在x地址线上,并成为一解码器件。在解码器件中,x地址线与控制线的重叠部分是半导体。
技术研发人员:
张国飙
受保护的技术使用者:
杭州海存信息技术有限公司
技术研发日:
2017.02.28
技术公布日:
2018.09.07
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