TFT基板中电极层的制作方法及柔性TFT基板的制作方法与流程

文档序号:12598962阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供一硅衬底(200),在所述硅衬底(200)上形成一层金属镍层(300);

步骤2、采用化学气相沉积法在所述金属镍层(300)上沉积一层石墨烯层(400),采用等离子体蚀刻法对所述石墨烯层(400)进行蚀刻,形成图案化的石墨烯层(405);

步骤3、将所述硅衬底(200)上的金属镍层(300)溶解掉,从而使图案化的石墨烯层(405)与硅衬底(200)分离,然后将图案化的石墨烯层(405)转移,得到TFT基板的电极层。

2.如权利要求1所述的TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,所述步骤1中所形成的金属镍层(300)的厚度为10~50nm。

3.如权利要求1所述的TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,所述步骤2中所沉积形成的石墨烯层(400)的厚度为5~10nm。

4.如权利要求1所述的TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,所述步骤3中通过对位标记的方式将图案化的石墨烯层(405)定位转移。

5.如权利要求1所述的TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,所述TFT基板为柔性的低温多晶硅TFT基板。

6.如权利要求1所述的TFT基板中电极层的制作方法,其特征在于,所述步骤3中形成的电极层为TFT基板的栅电极层。

7.一种柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤10、提供玻璃基板(100),在所述玻璃基板(100)上形成柔性基板(101);

步骤20、在柔性基板(101)上依次形成缓冲层(102)、有源层(103)、栅极绝缘层(104);

步骤30、提供一硅衬底(200),在所述硅衬底(200)上形成一层金属镍层(300);采用化学气相沉积法在所述金属镍层(300)上沉积一层石墨烯层(400),采用等离子体蚀刻法对所述石墨烯层(400)进行蚀刻,形成图案化的石墨烯层(405);将所述硅衬底(200)上的金属镍层(300)溶解掉,从而使图案化的石墨烯层(405)与硅衬底(200)分离,然后将图案化的石墨烯层(405)转移到栅极绝缘层(104)上,形成栅电极层(105);

步骤40、在栅极绝缘层(104)、及栅电极层(105)上依次形成层间绝缘层(106)、源漏金属层(107)。

8.如权利要求7所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述柔性TFT基板为柔性的低温多晶硅TFT基板;

所述步骤10中所形成的柔性基板(101)为聚酰亚胺基板,厚度为10~20μm;

所述步骤20中所形成的缓冲层(102)、有源层(103)、及栅极绝缘层(104)的厚度分别为200~300nm、40~50nm、50~200nm;

所述步骤40中所形成的层间绝缘层(106)、及源漏金属层(107)的厚度分别为500~700nm、400~600nm。

9.如权利要求7所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述步骤30中所形成的金属镍层(300)的厚度为10~50nm,所沉积形成的石墨烯层(400)的厚度为5~10nm。

10.如权利要求7所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述步骤30中,通过对位标记的方式,将所述图案化的石墨烯层(405)定位转移到栅极绝缘层(104)上。

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