技术特征:
技术总结
本发明涉及光伏材料技术领域,尤其是一种RIE黑硅的制作方法。该制作方法使用如下配方对硅片进行处理:BOE:H2O2:H2O=1:2:5,与硅片反应的温度为40℃,与硅片反应的时间为200秒,H2O,与硅片反应的温度为室温,与硅片反应的时间为180秒,HCl:乙醇:H2O=1:1:18,与硅片反应的温度为室温,与硅片反应的时间为180秒,H2O,与硅片反应的温度为室温,与硅片反应的时间为180秒,HF,5%,与硅片反应的温度为室温,与硅片反应的时间为180秒,H2O,与硅片反应的温度为室温,与硅片反应的时间为180秒,本发明能增加对光子的吸收,提高转换效率。同时反应溶液易于集中处理,便于大规模生产。
技术研发人员:于满
受保护的技术使用者:北京市合众创能光电技术有限公司
技术研发日:2017.04.14
技术公布日:2017.08.11