技术特征：
技术总结
本发明公开一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法，具体是以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底，利用磁控溅射法生长氧化锌半导体薄膜，再将叉指电极掩膜版紧贴在氧化锌半导体薄膜上，在叉指电极掩膜版和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜叉指电极掩模版上采用电子束蒸发方法生长金属薄层，移除叉指电极掩膜版后、在氧化锌半导体薄膜上制造有金属电极，最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。本发明以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底生长氧化锌半导体薄膜，并制备了柔性的紫外光电探测器，该器件具有针对紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。高雾度的透明纤维素衬底可以起到陷光作用，因此提高紫外光电探测器的响应度。
技术研发人员：郑清洪;陈礼辉;黄六莲;欧阳新华;黄瑾
受保护的技术使用者：福建农林大学
技术研发日：2017.05.04
技术公布日：2017.09.05