一种基于微纳加工技术的柔性透明超级电容器的制作方法

文档序号:12916715阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于微纳加工技术的柔性透明超级电容器,其是由以下步骤制备而成:S1、利用硅片作为基底,在其上旋涂一层PMMA薄膜;S2、在附有PMMA膜的硅片上形成感光树脂;S3、在感光树脂上沉积厚度可控的金属合金层;S4、去除PMMA后得到自支撑的电极,直接将该导电网络结构置于酸性条件下进行选择性腐蚀,实现对纳米孔隙结构的控制;S5、利用电化学方法将膺电容材料沉积在金属合金内部的纳米孔隙孔壁上,获得透明膺电容复合电极;S6、利用该透明电极和透明固体电解质在预张拉的弹性透明高分子上组装成柔性透明超级电容器。本发明从柔性储能器件和导电透明材料两个方面进行探索,结合微纳加工技术,研发高能量密度的柔性透明超级电容器。

技术研发人员:冯立超;陈林洋;于雪梅;刘晓燕;管鹏飞;张淑兰
受保护的技术使用者:淮海工学院;江苏省海洋资源开发研究院(连云港)
技术研发日:2017.07.24
技术公布日:2017.11.14
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