一种多角度扫描电镜样品台的制作方法

文档序号:11406933阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种多角度的扫描电镜样品台,其包括三棱柱、两块长方体挡板、固定板、底座、固定螺钉,三棱柱起安放样品和改变样品角度的作用,三棱柱通过螺钉连接两侧的长方体挡板,挡板下方和固定板靠螺钉固定,固定板和底座靠螺钉连接,三棱柱样品台上存在若干条等距离的平行线,并在平行线前端标明序号,使用时将样品的一侧靠近平行线,保证样品在同一侧保持水平。本装置能改变样品台的角度,在同一个台子上满足形貌分析和EBSD分析,同时该样品台也能一次装载多个EBSD样品,实现一次多个样品装样同时进行EBSD表征的功能,从而提高测试效率,样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广且易于测量多个样品并能改变样品台的角度的优点。

技术研发人员:汪炳叔;吴诗萍;杨容;张鼎;刘慧敏
受保护的技术使用者:福州大学
文档号码:201720091955
技术研发日:2017.01.24
技术公布日:2017.09.01

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