技术总结
本实用新型提供了一种集合式干法制绒装置，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；前清洗机构与自动化上下料机构的进料端连接；后清洗机构与自动化上下料机构的出料端连接；RIE干法制绒机与自动化上下料机构连接。本实用新型将前清洗，干法制绒，后清洗整合到一台设备上，中间用自动化硅片上下料和传输，实现自动化，降低生产成本。在此基础上，本实用新型还提供了一种采用该集合式干法制绒装置的生产线。
技术研发人员：上官泉元;谭兴波;杨虎;李妙
受保护的技术使用者：江西比太科技有限公司
文档号码：201720327974
技术研发日：2017.03.30
技术公布日：2017.10.27