一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置的制作方法

本实用新型涉及一种顶销装置，尤其涉及一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置。

背景技术：

现有的晶元真空吸盘下面一般有三个晶元顶销，三根晶元顶销是通过一个圆柱体的气缸的推举和下沉而动作的，因为要同时触碰三根顶销，气缸体积要稍大，占据了很大的空间。另外也有用三个小气缸来使三根顶销动作的，虽然空间上节省了，但是很难满足三根顶销动作的同时性，这样就会导致晶元很难平稳的放置在晶元真空吸盘上。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，占据空间小，顶销动作的同时性好。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，设置在晶元真空吸盘的下方，包括托盘，所述托盘上端面设置有气缸、弧形槽和若干顶销套，所述气缸连接有传动套，所述传动套位于所述弧形槽的上方，所述顶销套底部设置有晶元顶销轴承，所述晶元顶销轴承通过弹簧连接晶元顶销的下端，所述晶元顶销的上端由所述晶元真空吸盘上预设的通孔穿出，所述托盘下端面通过转盘轴承连接有转盘，所述转盘的上端面设置有传动柱，所述传动柱穿过所述弧形槽且与所述传动套连接，所述转盘下端面边缘设置有钢丝绳槽，所述钢丝绳槽内设置有钢丝绳，所述钢丝绳的一端与所述转盘固定连接，所述钢丝绳的另一端连接所述弹簧上端。

进一步地，所述托盘的下端面在所述转盘的外围设置有钢丝绳挡块。

本实用新型一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，改良了顶销的驱动方法，节约了占据空间，保证了顶销动作的同时性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的俯视示意图；

图2是本实用新型的仰视示意图；

图3是本实用新型连接晶元真空吸盘的整体示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、2、3所示，一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，设置在晶元真空吸盘1的下方，包括托盘2，托盘2上端面设置有气缸3、弧形槽4和三个顶销套5，气缸3连接有传动套6，传动套6位于弧形槽4的上方，顶销套5底部设置有晶元顶销轴承7，晶元顶销轴承7通过弹簧连接晶元顶销8的下端，晶元顶销8的上端由晶元真空吸盘1上预设的通孔穿出，托盘2下端面通过转盘轴承连接有转盘9，转盘9的上端面设置有传动柱10，传动柱10穿过弧形槽4且与传动套6连接，转盘9下端面边缘设置有钢丝绳槽11，钢丝绳槽11内设置有钢丝绳，钢丝绳的一端与转盘9固定连接，钢丝绳的另一端连接弹簧上端。

托盘2的下端面在转盘9的外围设置有钢丝绳挡块12，防止钢丝绳脱出钢丝绳槽。

工作原理：

气缸通气动作，通过传动套拉动转盘上的传动柱沿弧形槽滑动，实现转盘的转动；转盘转动，拉动钢丝绳槽中的三条钢丝绳，触发弹簧动作；最后通过弹簧的动作实现晶元顶销的动作。气缸缩回，钢丝绳缩回，弹簧也缩回，这样就可以实现将晶元平稳的放置在晶元真空吸盘上。

本实用新型一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，改良了顶销的驱动方法，节约了占据空间，保证了顶销动作的同时性。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。