一种用于晶圆减薄后卸片的装置的制作方法

技术特征：

1.一种用于晶圆减薄后卸片的装置，所述晶圆的P面通过热剥离膜粘合在玻璃基板，晶圆的N面朝上，其特征在于：该装置包括冷板和非接触加热源，玻璃基板置于冷板上，所述非接触加热源位于晶圆以及玻璃基板的上方、面向晶圆N面。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆减薄后卸片的装置，其特征在于：所述非接触加热源采用远红外加热灯。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆减薄后卸片的装置，其特征在于：所述远红外加热灯的功率为650W，与晶圆之间的距离为5-10cm。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆减薄后卸片的装置，其特征在于：所述冷板为表面设置有圆形凹槽的托盘，所述玻璃基板适配放置于圆形凹槽内。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆减薄后卸片的装置，其特征在于：所述冷板的材料为阳极氧化铝。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆减薄后卸片的装置，其特征在于：所述非接触加热源与冷板安装于同一固定框架上。