一种用于等离子体刻蚀监测的承载装置的制作方法

技术总结
本实用新型涉及一种用于等离子体刻蚀监测的承载装置，该承载装置与等离子体刻蚀设备配合而完成晶元的刻蚀作业；承载装置为石墨板本体；石墨板本体开设若干用于装载晶元的晶元承载槽；石墨板本体开设用于装载检测片的监测承载槽。该用于等离子体刻蚀监测的承载装置能增大刻蚀装置产能，避免压环印，有效监测刻蚀终点，预防过刻与欠刻，形成良好的电极窗口。

技术研发人员：高文丽;邓建伟;王虎
受保护的技术使用者：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
技术研发日：2017.12.05
技术公布日：2018.06.29