用于晶圆片单面刷洗机的槽体的制作方法

本实用新型涉及用于晶圆片清洗技术领域，尤其是一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体。

背景技术：

目前，随着光电子领域对氮化镓(GaN)基发光二极管(LED)的发光性能要求不断提高,从而对衬底晶片的表面质量要求越来越严，这主要是因为蓝宝石衬底晶片抛光表面的杂质沾污会严重影响LED的质量和成品率。所以蓝宝石晶圆片清洗的好坏对LED的发光性能有严重的影响，在现有的刷洗设备中，槽体的密封性能较差，导致晶圆片在刷洗过程中的清洁效果较差。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体，提高刷洗机的清洁效果。

本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案：一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体，包括呈长方形的中空腔体，该中空腔体包括左侧板、右侧板、前板、后板、底板和盖板，所述中空腔体内设有：

内隔板，所述内隔板将中空腔体分成若干独立的腔室；

旋转磁流体，每个独立的腔室中设有一个旋转磁流体，所述旋转磁流体设在底板上用于与腔室之间的密封。

进一步地，所述每个独立的腔室内还设有溢流盒，所述溢流盒固定在所述内隔板上，所述溢流盒包括溢流盒前板、溢流盒底板和溢流盒后板。

进一步地，所述左、右侧板与底板之间设有撑板，所述撑板的端部设有固定板，提高腔体整体的强度。

进一步地，所述左、右侧板与盖板连接处设有固定块。

进一步地，所述盖板上设有挡水圈。

进一步地，所述中空腔体采用PVC板材焊接制成。

进一步地，所述旋转磁流体包括上管件和下管件，所述上管件套设在下管件的外侧，套合式的封水结构，提高了槽体的密封性能。

为了进一步提高旋转磁流体与腔室之间的密封，所述下管件的外部还设有防水管，通过旋转磁流体密封及防水管密封，两者组合，有效保证了槽体的密封性能。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：

本实用新型整体密封性能好，提高了刷洗机的清洁效果，提高了蓝宝石晶圆片的质量。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型图2的局部的G-G视图；

图4是本实用新型的左视图。

图中：1中空腔体，1.1、左侧板，1.2、右侧板，1.3、前板，1.4、后板，1.5、底板，1.6、盖板，2、内隔板，3、腔室，4、旋转磁流体，4.1、上管件，4.2、下管件，5、溢流盒，5.1、溢流盒前板，5.2、溢流盒底板，5.3、溢流盒后板，6、撑板，7、固定板，8、固定块，9、挡水圈，10、防水管。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1至图4所示的一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体，包括呈长方形的中空腔体1，该中空腔体1包括左侧板1.1、右侧板1.2、前板1.3、后板1.4、底板1.5和盖板1.6，所述中空腔体内1设有内隔板2和旋转磁流体4，所述内隔板2将中空腔体1分成若干独立的腔室3；每个独立的腔室3中设有一个旋转磁流体4，所述旋转磁流体4设在底板1.5上用于与腔室3之间的密封。所述旋转磁流体4包括上管件4.1和下管件4.2，所述上管件4.1套设在下管件4.2的外侧，套合式的封水结构，提高了槽体的密封性能。为了进一步提高旋转磁流体与腔室之间的密封，所述下管件4.2的外部还设有防水管10，通过旋转磁流体4密封及防水管10密封，两者组合，有效保证了槽体的密封性能。

如图2和图3所示，所述每个独立的腔室3内还设有溢流盒5，所述溢流盒5固定在所述内隔板2上，所述溢流盒5包括溢流盒前板5.1、溢流盒底板5.2和溢流后板5.3。

如图2和图3所示，所述左、右侧板1.1、1.2与底板1.5之间设有撑板6，所述撑板6的端部设有固定板7，提高腔体整体的强度。所述左、右侧板1.1、1.2与盖板1.6连接处设有固定块8。所述盖板1.6上设有挡水圈9。

具体地，所述中空腔体1采用PVC板材焊接制成。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。