一种新型MASK修补机上下料装置的制作方法

本实用新型涉及一种新型MASK修补机上下料装置。

背景技术：

随着国家对半导体集成电路产业的大力投资和扶持，晶圆厂如雨后春笋般拔地而起；对光掩模制造是一个机遇，也是一个挑战。目前国内大多数光掩模厂的产品等级仅满足一些中低端晶圆客户需求，这些光掩模产品等级都是由制造设备来决定。

FEI电子束修补机台目前只能满足0.18um工艺产品；运用本发明可以使原本机台修补产品精度等级大大提升。工艺平台X/Y/Z/θ旋转精度是0.001um。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种多功能鼠标。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一，活动板二，夹具组件，所述的活动板一下方设有滑槽一，所述的滑槽一内安装有滑杆一，所述的滑杆一一端上设有安装块一，所述的安装块一上设有上安装有螺杆一，所述的螺杆一一端安装在固定座一上，所述的固定座一安装在活动板一的下方，所述的螺杆一另一端与差速器一连接，所述的差速器一与正反转电机一连接，所述的活动板一上方设有滑槽二，所述的滑槽二内安装有滑杆二，所述的滑杆二一端上设有安装块二，所述的安装块二上设有上安装有螺杆二，所述的螺杆二一端安装在固定座二上，所述的固定座二安装在活动板一的下方，所述的螺杆二另一端与差速器二连接，所述的差速器二与正反转电机二连接，所述的活动板二上阵列有四个槽口，所述的槽口内安装有转轴，所述的转轴上安装有夹具组件，所述夹具组件包括夹板一，夹板二和夹板三，所述的夹板一的厚度小于夹板二，所述的夹板二的厚度小于夹板三，所述的夹板一，夹板二和夹板三安装在转轴上，所述的夹板一在夹板二内，所述的夹板一，夹板二在夹板三内，所述的活动板二下方连接有螺杆三，所述的螺杆三与差速器三连接，所述的差速器三与正反转电机三连接。

作为一种优选，所述的夹板一为弹簧钢材质。

作为一种优选，所述的夹板二为弹簧钢材质。

作为一种优选，所述的夹板三为弹簧钢材质。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型通过新型MASK修补机上下料装置的设置，实现了具备装夹不同长宽尺寸的产品，做到定位精准，装夹不同厚度的产品，做到工艺反应面确保同一高度的工艺平台。本发明提高电子束修补精度，可以对图像较复杂、线宽更细、工艺等级更高的产品缺陷进行修补，同时减少人为操作失误，减少产品的划伤，提高产品品质，简单有效，经济实用。

同时下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的正视图。

图2为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的俯视图。

图3为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的右视图。

图4为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的轴视图。

图5为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的夹具组件的正视图。

图6为本实用新型一种新型MASK修补机上下料装置的夹具组件的右剖视图。

图中：1、活动板一，2、活动板二，3、夹具组件，3a、夹板一，3b、夹板二，3c、夹板三，4、滑槽一，5、滑杆一，6、安装块一，7、螺杆一，8、固定座一，9、差速器一，10、正反转电机一，11、滑槽二，12、滑杆二，13、安装块二，14、螺杆二，15、固定座二，16、差速器二，17、正反转电机二，18、槽口，19、转轴，20、螺杆三，21、差速器三，22、正反转电机三。

具体实施方式

实施例：

如图1-6所示，一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一1，活动板二2，夹具组件3，所述的活动板一1下方设有滑槽一4，所述的滑槽一4内安装有滑杆一5，所述的滑杆一5一端上设有安装块一6，所述的安装块一6上设有上安装有螺杆一7，所述的螺杆一7一端安装在固定座一8上，所述的固定座一8安装在活动板一1的下方，所述的螺杆一7另一端与差速器一9连接，所述的差速器一9与正反转电机一10连接，所述的活动板一1上方设有滑槽二11，所述的滑槽二11内安装有滑杆二12，所述的滑杆二12一端上设有安装块二13，所述的安装块二13上设有上安装有螺杆二14，所述的螺杆二14一端安装在固定座二15上，所述的固定座二15安装在活动板一1的下方，所述的螺杆二14另一端与差速器二16连接，所述的差速器二16与正反转电机二17连接，所述的活动板二2上阵列有四个槽口18，所述的槽口18内安装有转轴19，所述的转轴19上安装有夹具组件3，所述夹具组件3包括夹板一3a，夹板二3b和夹板三3c，所述的夹板一3a的厚度小于夹板二3b，所述的夹板二3b的厚度小于夹板三3c，所述的夹板一3a，夹板二3b和夹板三3c安装在转轴19上，所述的夹板一3a在夹板二3b内，所述的夹板一3a，夹板二3b在夹板三3c内，所述的活动板二2下方连接有螺杆三20，所述的螺杆三20与差速器三21连接，所述的差速器三21与正反转电机三22连接。

进一步的，所述的夹板一3a为弹簧钢材质，所述的夹板二3b为弹簧钢材质，所述的夹板三3c为弹簧钢材质，通过将夹板一3a，夹板二3b和夹板三3c设置为弹簧钢材质，能够实现夹板一3a，夹板二3b和夹板三3c的形变，方便的了工件的装夹。

本实用新型中，MASK修补机上下料装置安装在工作台上，通过正反转电机一10带动螺杆一7转动，从而带动活动板一1能够实现前后移动，通过正反转电机二17带动螺杆二14转动，从而带动活动板一1能够实现左右移动，满足定位和装夹需要，而正反转电机三22带动螺杆三20转动，从而带动活动板二2能够实现上下移动，从而满足了修复时在X.Y.Z三个方位的安装需要，随后根据产品尺寸，将槽口内的夹具组件3的夹板一3a、夹板二3b或者夹板三3c沿着转轴19的方向掰起，将四组夹具组件3全部掰起，实现了工件的四个方位的定位，满足了需要；根据工件尺寸，掰起四个夹板一3a、或者掰起四个夹板二3b、或者掰起四个夹板三3c，满足装夹。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型通过新型MASK修补机上下料装置的设置，实现了具备装夹不同长宽尺寸的产品，做到定位精准，装夹不同厚度的产品，做到工艺反应面确保同一高度的工艺平台。本发明提高电子束修补精度，可以对图像较复杂、线宽更细、工艺等级更高的产品缺陷进行修补，同时减少人为操作失误，减少产品的划伤，提高产品品质，简单有效，经济实用。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或者相近似的技术方案，均属于本实用新型的保护范围。