薄膜电容器的制作方法

文档序号:22243560发布日期:2020-09-15 19:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜电容器,具备:

第1电介质膜,具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面;

第2电介质膜,具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面,并层叠在所述第1电介质膜;

第1内部电极,设置在所述第1电介质膜的所述第1面;

第2内部电极,位于所述第1电介质膜与所述第2电介质膜之间,并设置在所述第2电介质膜的所述第1面或所述第1电介质膜的所述第2面;

第1外部电极,设置在层叠了所述第1电介质膜以及所述第2电介质膜的层叠体的一个端面,与所述第1内部电极连接,并且与所述第2内部电极分离;以及

第2外部电极,设置在所述层叠体的另一个端面,与所述第2内部电极连接,并且与所述第1内部电极分离,

在所述薄膜电容器中,

所述第1内部电极具备:第1连接部,与所述第1外部电极连接;第1主电极部,与所述第1连接部连结,比所述第1连接部薄;以及第1薄膜部,从所述第1主电极部朝向所述第2外部电极延伸,比所述第1主电极部薄,

所述第2内部电极具备:第2连接部,与所述第2外部电极连接;以及第2主电极部,与所述第2连接部连结,比所述第2连接部薄,

所述第1主电极部隔着所述第1电介质膜与所述第2主电极部对置,且不与所述第2连接部对置,

所述第1薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第2连接部对置。

2.根据权利要求1所述的薄膜电容器,其中,

所述第2内部电极还具备:第2薄膜部,从所述第2主电极部朝向所述第1外部电极延伸,比所述第2主电极部薄,

所述第2主电极部不隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置,

所述第2薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜电容器,其中,

所述第1薄膜部的最大厚度小于所述第1连接部的最大厚度与所述第1主电极部的最大厚度之差。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的薄膜电容器,其中,

所述第1薄膜部的最大厚度为7nm以下。

5.根据权利要求1~3中的任一项所述的薄膜电容器,其中,

所述第1薄膜部延伸为从所述第2主电极部至所述第2连接部对置。

6.根据权利要求5所述的薄膜电容器,其中,

在从所述第1外部电极朝向所述第2外部电极的方向上,所述第1薄膜部比所述第1主电极部短,且与所述第2主电极部对置的所述第1薄膜部比与所述第2连接部对置的所述第1薄膜部长。

7.根据权利要求6所述的薄膜电容器,其中,

在从所述第1外部电极朝向所述第2外部电极的方向上,与所述第2主电极部对置的所述第1薄膜部的长度为4mm以下。

8.根据权利要求1或2所述的薄膜电容器,其中,

所述第2连接部包含导电性比所述第1薄膜部低的材料。

9.根据权利要求1、2或8所述的薄膜电容器,其中,

所述第2内部电极设置在所述第2电介质膜的所述第1面,

所述第2连接部的隔着所述第1电介质膜与所述第1薄膜部对置的一侧包含导电性比与所述第2电介质膜对置的一侧低的材料。

10.根据权利要求8或9所述的薄膜电容器,其中,

所述第2连接部包含以锌为主成分的材料,

所述第1薄膜部包含以铝为主成分的材料。

11.根据权利要求1或2所述的薄膜电容器,其中,

所述第1电介质膜包含固化性树脂作为主成分,

所述第2电介质膜包含固化性树脂作为主成分。

12.一种薄膜电容器,具备:

第1电介质膜,具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面;

第2电介质膜,具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面,并层叠在所述第1电介质膜;

第1内部电极,设置在所述第1电介质膜的所述第1面;

第2内部电极,位于所述第1电介质膜与所述第2电介质膜之间,并设置在所述第2电介质膜的所述第1面或所述第1电介质膜的所述第2面;

第1外部电极,设置在层叠了所述第1电介质膜以及所述第2电介质膜的层叠体的一个端面,与所述第2内部电极连接,并且与所述第1内部电极分离;以及

第2外部电极,设置在所述层叠体的另一个端面,与所述第2内部电极连接,并且与所述第1内部电极分离,

在所述薄膜电容器中,

所述第1内部电极具备:第1主电极部;以及第1薄膜部,从所述第1主电极部朝向所述第2外部电极延伸,比所述第1主电极部薄,

所述第2内部电极具备:第1连接部,与所述第1外部电极连接;第2主电极部,与所述第1连接部连结,比所述第1连接部薄;第2连接部,与所述第2外部电极连接;以及第3主电极部,从所述第2主电极部分离,并且与所述第2连接部连结,比所述第2连接部薄,

所述第1主电极部隔着所述第1电介质膜与所述第2主电极部以及所述第3主电极部对置,且不与所述第2连接部对置,

所述第1薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第2连接部对置。

13.根据权利要求12所述的薄膜电容器,其中,

所述第1内部电极还具备:第2薄膜部,从所述第1主电极部朝向所述第1外部电极延伸,比所述第1主电极部薄,

所述第1主电极部不隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置,

所述第2薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置。


技术总结
本发明的薄膜电容器是具备第1电介质膜、第2电介质膜、第1内部电极、第2内部电极、第1外部电极、以及第2外部电极的薄膜电容器,其中,上述第1内部电极具备:第1连接部,与上述第1外部电极连接;第1主电极部,与上述第1连接部连结,比上述第1连接部薄;以及第1薄膜部,从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸,比上述第1主电极部薄,上述第2内部电极具备:第2连接部,与上述第2外部电极连接;以及第2主电极部,与上述第2连接部连结,比上述第2连接部薄,上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部对置,且不与上述第2连接部对置,上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。

技术研发人员:小笹千一;阪本拓也;城岸贤
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2018.12.21
技术公布日:2020.09.15
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