薄膜电容器的制作方法

本发明涉及薄膜电容器。

背景技术：

作为电容器的一种，有将在表面设置了成为内部电极的金属蒸镀膜的电介质膜进行卷绕或层叠而成的薄膜电容器。

在薄膜电容器中，为了提高自恢复性(伴随着绝缘缺陷部的放电，金属蒸镀膜飞散而恢复绝缘性的性质)，像在专利文献1以及专利文献2记载的那样，广泛使用如下的所谓的边缘加厚(heavyedge)构造，即，一方面将形成电容的部分的内部电极(以下，也称为主电极部)减薄，另一方面将与设置在两端面的外部电极连接的部分的内部电极(以下，也称为连接部)加厚。

此外，还提出了如下的结构，即，像在专利文献1以及专利文献2记载的那样，在内部电极内设置没有金属的狭缝而划分为多个分割电极，并通过在狭缝之间形成的熔断器将分割电极并联连接。这用于形成如下的自保护功能，即，通过自恢复时的短路电流使绝缘缺陷部周围的熔断器熔断而将绝缘缺陷部从电路切断。

作为构成薄膜电容器的电介质膜的材料，以往一直使用聚丙烯(pp)，但是像在专利文献3记载的那样，还已知耐热性高的热固化性树脂。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-219094号公报

专利文献2：日本特开2004-134561号公报

专利文献3：国际公开第2013/069485号

技术实现要素：

发明要解决的课题

在专利文献1的图1记载了如下的构造，即，构成一个内部电极的主电极部的端部(主电极部和绝缘余量的边界部)隔着电介质膜与构成另一个内部电极的连接部对置。但是，在构成一个内部电极的主电极部的端部和构成另一个内部电极的连接部重叠的部位，由于电场集中而经常产生放电，有可能引起绝缘击穿。特别是，在将像在专利文献3记载的那样的热固化树脂用作电介质膜的材料的情况下，与以往的使用pp膜的情况相比，自恢复性变差，因此容易引起绝缘击穿。

因此，可考虑如下的构造，即，像在专利文献2的图3记载的那样，使连接部的宽度变窄，不使构成一个内部电极的主电极部的端部隔着电介质膜与构成另一个内部电极的连接部对置。但是，如果是这样的构造，则因为连接部的宽度窄，所以与外部电极的连接变得不充分，有可能损害耐电流性能。

本发明是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种自恢复性高且抑制了绝缘击穿的产生的薄膜电容器。

用于解决课题的技术方案

在第1方式中，本发明的薄膜电容器具备：第1电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面；第2电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面，并层叠在上述第1电介质膜；第1内部电极，设置在上述第1电介质膜的上述第1面；第2内部电极，位于上述第1电介质膜与上述第2电介质膜之间，并设置在上述第2电介质膜的上述第1面或上述第1电介质膜的上述第2面；第1外部电极，设置在层叠了上述第1电介质膜以及上述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与上述第1内部电极连接，并且与上述第2内部电极分离；以及第2外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离，在上述薄膜电容器中，上述第1内部电极具备：第1连接部，与上述第1外部电极连接；第1主电极部，与上述第1连接部连结，比上述第1连接部薄；以及第1薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第2内部电极具备：第2连接部，与上述第2外部电极连接；以及第2主电极部，与上述第2连接部连结，比上述第2连接部薄，上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部对置，且不与上述第2连接部对置，上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。

优选地，在第1方式中，上述第2内部电极还具备：第2薄膜部，从上述第2主电极部朝向上述第1外部电极延伸，比上述第2主电极部薄，上述第2主电极部不隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置，上述第2薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置。

优选地，上述第1薄膜部的最大厚度小于上述第1连接部的最大厚度与上述第1主电极部的最大厚度之差。

优选地，上述第1薄膜部的最大厚度为7nm以下。

优选地，上述第1薄膜部延伸为从上述第2主电极部至上述第2连接部对置。

优选地，在从上述第1外部电极朝向上述第2外部电极的方向上，上述第1薄膜部比上述第1主电极部短，且与上述第2主电极部对置的上述第1薄膜部比与上述第2连接部对置的上述第1薄膜部长。

优选地，在从上述第1外部电极朝向上述第2外部电极的方向上，与上述第2主电极部对置的上述第1薄膜部的长度为4mm以下。

优选地，上述第2连接部包含导电性比上述第1薄膜部低的材料。

优选地，上述第2内部电极设置在上述第2电介质膜的上述第1面，上述第2连接部的隔着上述第1电介质膜与上述第1薄膜部对置的一侧包含导电性比与上述第2电介质膜对置的一侧低的材料。

优选地，上述第2连接部包含以锌为主成分的材料，上述第1薄膜部包含以铝为主成分的材料。

优选地，上述第1电介质膜包含固化性树脂作为主成分，上述第2电介质膜包含固化性树脂作为主成分。

在第2方式中，本发明的薄膜电容器具备：第1电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面；第2电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面，并层叠在上述第1电介质膜；第1内部电极，设置在上述第1电介质膜的上述第1面；第2内部电极，位于上述第1电介质膜与上述第2电介质膜之间，设置在上述第2电介质膜的上述第1面或上述第1电介质膜的上述第2面；第1外部电极，设置在层叠了上述第1电介质膜以及上述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离；以及第2外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离，在所述薄膜电容器中，上述第1内部电极具备：第1主电极部；以及第1薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第2内部电极具备：第1连接部，与上述第1外部电极连接；第2主电极部，与上述第1连接部连结，比上述第1连接部薄；第2连接部，与上述第2外部电极连接；以及第3主电极部，从上述第2主电极部分离，并且与上述第2连接部连结，比上述第2连接部薄，上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部以及上述第3主电极部对置，且不与上述第2连接部对置，上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。

优选地，在第2方式中，上述第1内部电极还具备：第2薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第1外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第1主电极部不隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置，上述第2薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置。

发明效果

根据本发明，能够提供一种自恢复性高且抑制了绝缘击穿的产生的薄膜电容器。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

图2是图1所示的薄膜电容器中的、除第1外部电极以及第2外部电极以外的部分的放大图。

图3是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的第1内部电极以及第2内部电极的一个例子的俯视图。

图4是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的第1内部电极以及第2内部电极的另一个例子的俯视图。

图5的(a)以及图5的(b)是示意性地示出形成第1内部电极的方法的一个例子的剖视图。

图6的(a)、图6的(b)、图6的(c)、图6的(d)以及图6的(e)是示意性地示出第1薄膜部的另一个例子的剖视图。

图7是示意性地示出本发明的第2实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

图8是示意性地示出本发明的第3实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

图9是示意性地示出本发明的第4实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

具体实施方式

以下，对本发明的薄膜电容器进行说明。

然而，本发明并不限定于以下的结构，能够在不变更本发明的主旨的范围内适当地变更而进行应用。

将以下记载的本发明的各个优选的结构组合了两个以上的结构也是本发明。

在本发明的薄膜电容器中，其特征在于，第1内部电极的薄膜部隔着第1电介质膜与第2内部电极的连接部对置。即，在位于与第2内部电极的连接部重叠的部位的第1内部电极的端部设置薄膜部，并将第1内部电极减薄。因此，即使在第1内部电极的端部和第2内部电极的连接部重叠的部位经常发生放电也能够自恢复而抑制绝缘击穿的产生。

以下所示的各实施方式是例示，能够进行在不同的实施方式中示出的结构的部分置换或组合，这是不言而喻的。在第2实施方式以后，省略关于与第1实施方式共同的事项的记述，仅对不同点进行说明。特别是，关于基于同样的结构的同样的作用效果，将不在每个实施方式中逐次提及。

本发明的薄膜电容器可以是将在表面设置了内部电极的电介质膜以层叠的状态进行卷绕而成的卷绕型的薄膜电容器，也可以是将在表面设置了内部电极的电介质膜进行层叠而成的层叠型的薄膜电容器。

在本发明的薄膜电容器为卷绕型的薄膜电容器的情况下，电介质膜的卷绕体也可以被压制为剖面形状为椭圆或长圆那样的扁平形状，从而做成为更紧凑的形状。此外，在本发明的薄膜电容器为卷绕型的薄膜电容器的情况下，也可以具备圆柱状的卷绕轴。卷绕轴配置在卷绕状态的电介质膜的中心轴线上，成为卷绕电介质膜时的卷轴。

[第1实施方式]

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1外部电极与第1内部电极连接，并且与第2内部电极分离，第2外部电极与第2内部电极连接，并且与第1内部电极分离。在第1实施方式中，第2内部电极设置在第2电介质膜的第1面。

图1是示意性地示出本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。图2是图1所示的薄膜电容器中的、除第1外部电极以及第2外部电极以外的部分的放大图。图3是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的第1内部电极以及第2内部电极的一个例子的俯视图。

在图1中，方便起见，使第1电介质膜11和第2电介质膜12分离而进行了图示，但是在实际的薄膜电容器中，第1电介质膜以及第2电介质膜无间隙地重叠。

虽然在图1未示出整体的结构，但是薄膜电容器1具备：第1电介质膜11；层叠在第1电介质膜11的第2电介质膜12；以及隔着第1电介质膜11相互对置的第1内部电极21以及第2内部电极22。薄膜电容器1还具备：与第1内部电极21连接并且与第2内部电极22分离的第1外部电极31；以及与第2内部电极22连接并且与第1内部电极21分离的第2外部电极32。

图4是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的第1内部电极以及第2内部电极的另一个例子的俯视图。

如图4所示，也可以在第1内部电极21形成有使电极的一部分变细的熔断器部21a和通过绝缘狭缝21b划分的分割电极21c。同样地，也可以在第2内部电极22形成有使电极的一部分变细的熔断器部22a和通过绝缘狭缝22b划分的分割电极22c。

在图1所示的薄膜电容器1中，第1电介质膜11具有第1面11a以及与第1面11a相反侧的第2面11b。同样地，第2电介质膜12具有第1面12a以及与第1面12a相反侧的第2面12b。第1电介质膜11和第2电介质膜12被层叠为第1电介质膜11的第2面11b和第2电介质膜12的第1面12a对置。

第1内部电极21设置在第1电介质膜11的第1面11a。第1内部电极21设置为，在第1电介质膜11的第1面11a中到达至一方侧部边缘，但是不到达至另一方侧部边缘。因此，在第1电介质膜11的第1面11a的另一方侧部边缘存在未设置第1内部电极21的绝缘余量71。

第2内部电极22设置在第2电介质膜12的第1面12a。第2内部电极22设置为，在第2电介质膜12的第1面12a中不到达至一方侧部边缘，但是到达至另一方侧部边缘。因此，在第2电介质膜12的第1面12a的一方侧部边缘存在未设置第2内部电极22的绝缘余量72。

在图1中，将第1电介质膜11和第2电介质膜12层叠为在宽度方向(在图1中为左右方向)上相互错开，使得第1内部电极21中的到达至第1电介质膜11的侧部边缘侧的端部、以及第2内部电极22中的到达至第2电介质膜12的侧部边缘侧的端部均从层叠的膜露出。在图1所示的薄膜电容器1为卷绕型的薄膜电容器的情况下，第1电介质膜11以及第2电介质膜12通过以层叠的状态进行卷绕，从而设为保持第1内部电极21以及第2内部电极22在端部露出的状态进行堆叠的状态。

第1外部电极31以及第2外部电极32通过在像上述那样得到的层叠体的各端面上喷镀例如锌等而形成。第1外部电极31与第1内部电极21的露出端部接触，由此与第1内部电极21电连接。另一方面，第2外部电极32与第2内部电极22的露出端部接触，由此与第2内部电极22电连接。

第1内部电极21具备：与第1外部电极31连接的第1连接部41；与第1连接部41连结的第1主电极部51；以及从第1主电极部51朝向第2外部电极32延伸的第1薄膜部61。第1主电极部51比第1连接部41薄，第1薄膜部6]比第1主电极部51薄。

第2内部电极22具备：与第2外部电极32连接的第2连接部42；与第2连接部42连结的第2主电极部52；以及从第2主电极部52朝向第1外部电极31延伸的第2薄膜部62。第2主电极部52比第2连接部42薄，第2薄膜部62比第2主电极部52薄。

第1内部电极21中的第1主电极部51在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第2主电极部52对置，且不与第2连接部42对置。另一方面，第1薄膜部61在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第2连接部42对置。

第2内部电极22中的第2主电极部52在第1电介质膜11的厚度方向上不隔着第1电介质膜11与第1连接部41对置。另一方面，第2薄膜部62在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第1连接部41对置。

优选地，第1内部电极21通过以下的方法形成。关于第2内部电极22，也通过同样的方法形成。

图5的(a)以及图5的(b)是示意性地示出形成第1内部电极的方法的一个例子的剖视图。

首先，如图5的(a)所示，在第1电介质膜11的第1面11a上，一边在另一方侧部边缘形成基于非蒸镀部的绝缘余量71，一边通过蒸镀铝等金属而形成第1金属蒸镀膜21a。在形成第1金属蒸镀膜21a时，通过与其它部分相比减少金属蒸气量，从而能够形成成为第1薄膜部的部分。例如，可列举对金属蒸发源侧的掩模形状进行调整而使开口面积小于其它部分的方法等。此后，如图5的(b)所示，通过在第1电介质膜11的第1面11a的一方侧部边缘侧的第1金属蒸镀膜21a上蒸镀锌等金属，从而形成第2金属蒸镀膜21b。第2金属蒸镀膜21b优选比第1金属蒸镀膜21a厚。其结果是，在第1电介质膜11的第1面11a的一方侧部边缘侧形成第1连接部。

在通过上述的方法形成第1内部电极的情况下，优选地，第1连接部包含以锌为主成分的材料，第1主电极部以及第1薄膜部包含以铝为主成分的材料。同样地，在通过上述的方法形成第2内部电极的情况下，优选地，第2连接部包含以锌为主成分的材料，第2主电极部以及第2薄膜部包含以铝为主成分的材料。

在本说明书中，所谓“主成分”，意味着存在比例(重量％)最大的成分，优选地，意味着存在比例超过50重量％的成分。

在图1所示的薄膜电容器1中，第1连接部41除了厚度恒定的平坦区域以外，还具有厚度从第1外部电极31朝向第1主电极部51降低的降低区域。但是，只要与第1外部电极31连接且比第1主电极部51厚，第1连接部的形状就没有特别限定。同样地，在图1所示的薄膜电容器1中，第2连接部42除了厚度恒定的平坦区域以外，还具有厚度从第2外部电极32朝向第2主电极部52降低的降低区域。但是，只要与第2外部电极32连接且比第2主电极部52厚，第2连接部的形状就没有特别限定。第2连接部的形状可以与第1连接部的形状相同，也可以不同。

虽然在图1所示的薄膜电容器1中，第1薄膜部61的形状是平坦的，但是只要比第1主电极部51薄，第1薄膜部的形状就没有特别限定。同样地，虽然在图1所示的薄膜电容器1中，第2薄膜部62的形状是平坦的，但是只要比第2主电极部52薄，第2薄膜部的形状就没有特别限定。第2薄膜部的形状可以与第1薄膜部的形状相同，也可以不同。

图6的(a)、图6的(b)、图6的(c)、图6的(d)以及图6的(e)是示意性地示出第1薄膜部的另一个例子的剖视图。

图6的(a)所示的第1薄膜部161、图6的(b)所示的第1薄膜部261、图6的(c)所示的第1薄膜部361、以及图6的(d)所示的第1薄膜部461均具有厚度从第1主电极部51朝向第2外部电极(未图示)降低的锥形形状。其中，图6的(a)所示的第1薄膜部161具有存在台阶的直线状的锥形形状，图6的(b)所示的第1薄膜部261具有没有台阶的直线状的锥形形状，图6的(c)所示的第1薄膜部361具有向下凸的曲线状的锥形形状，图6的(d)所示的第1薄膜部461具有向上凸的曲线状的锥形形状。此外，图6的(e)所示的第1薄膜部561具有阶梯形状。

像到此为止一直说明的那样，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，其特征在于，第1内部电极具备第1薄膜部，第1薄膜部隔着第1电介质膜与第2连接部对置。

另一方面，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第2内部电极也可以不具备第2薄膜部，但是优选地，第2内部电极具备第2薄膜部，第2薄膜部隔着第1电介质膜与第1连接部对置。通过不仅在第1内部电极设置第1薄膜部，而且在第2内部电极也设置第2薄膜部，从而能够进一步抑制绝缘击穿。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1薄膜部隔着第1电介质膜与第2连接部中的具有平均厚度以上的厚度的区域对置。此外，优选地，第1薄膜部隔着第1电介质膜与第2连接部的平坦区域对置。此外，进一步优选地，第1薄膜部隔着第1电介质膜与第2连接部中的具有最大厚度的区域对置。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，第2薄膜部隔着第1电介质膜与第1连接部中的具有平均厚度以上的厚度的区域对置。此外，优选地，第2薄膜部隔着第1电介质膜与第1连接部的平坦区域对置。此外，进一步优选地，第2薄膜部隔着第1电介质膜与第1连接部中的具有最大厚度的区域对置。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第2连接部包含导电性比第1薄膜部低的材料。具体地，优选第2连接部包含以锌为主成分的材料，第1薄膜部包含以铝为主成分的材料。

在通过如图5的(a)以及图5的(b)所示的方法形成第1内部电极以及第2内部电极的情况下，优选地，第2连接部的隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧(图5的(b)中的相当于第2金属蒸镀膜21b的部分)包含导电性比与第2电介质膜对置的一侧(图5的(b)中的相当于第1金属蒸镀膜21a的部分)低的材料。具体地，优选第2连接部中的隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧包含以锌为主成分的材料，与第2电介质膜对置的一侧包含以铝为主成分的材料。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选第1连接部包含导电性比第2薄膜部低的材料。具体地，优选第1连接部包含以锌为主成分的材料，第2薄膜部包含以铝为主成分的材料。

在通过如图5的(a)以及图5的(b)所示的方法形成第1内部电极以及第2内部电极的情况下，优选地，第1连接部的与隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧相反侧(图5的(b)中的相当于第2金属蒸镀膜21b的部分)包含导电性比隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧(图5的(b)中的相当于第1金属蒸镀膜21a的部分)低的材料。具体地，优选第1连接部中的与隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧相反侧包含以锌为主成分的材料，隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧包含以铝为主成分的材料。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1薄膜部的最大厚度(图2中用t61示出的长度)小于第1连接部的最大厚度(图2中用t41示出的长度)与第1主电极部的最大厚度(图2中用t51示出的长度)之差。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选第2薄膜部的最大厚度(图2中用t62示出的长度)小于第2连接部的最大厚度(图2中用t42示出的长度)与第2主电极部的最大厚度(图2中用t52示出的长度)之差。

因为连接部比主电极部厚，所以在电容器元件的两端，连接部的厚度相加而容易变形为大型。因此，通过使薄膜部的最大厚度小于连接部的最大厚度与主电极部的最大厚度之差，从而能够抑制电容器元件的两端的变形。

另外，内部电极的厚度能够通过如下方式确定，即，使用场发射型扫描电子显微镜(fe-sem)等电子显微镜对内部电极的在厚度方向上切断的剖面进行观察。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1薄膜部的最大厚度优选为7nm以下。另一方面，为了作为电极而发挥功能，第1薄膜部的最大厚度优选为2nm以上。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，第2薄膜部的最大厚度优选为7nm以下。另一方面，为了作为电极而发挥功能，第2薄膜部的最大厚度优选为2nm以上。

如果薄膜部的最大厚度为7nm以下，则能够减小在放电时用于使蒸镀膜蒸发或飞散的能量，自恢复性变得良好，因此即使在一个内部电极的端部和另一个内部电极的连接部重叠的部位经常发生放电，也能够抑制绝缘击穿。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1薄膜部延伸为从第2主电极部至第2连接部对置。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，第2薄膜部延伸为从第1主电极部至第1连接部对置。

将构成一个内部电极的主电极部和薄膜部的界面的位置与构成另一个内部电极的连接部和主电极部的界面的位置对齐是困难的。特别是，在是卷绕型的薄膜电容器的情况下，两者的位置容易错开。因此，通过将构成一个内部电极的薄膜部从构成另一个内部电极的主电极部形成至连接部，从而例如能够使第1薄膜部与第2连接部可靠地对置。

具体地，优选第1薄膜部延伸为从包含以铝为主成分的材料的第2主电极部至包含以锌为主成分的材料的第2连接部对置。此外，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选第2薄膜部延伸为从包含以铝为主成分的材料的第1主电极部至包含以锌为主成分的材料的第1连接部对置。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上，第1薄膜部比第1主电极部短，且与第2主电极部对置的第1薄膜部比与第2连接部对置的第1薄膜部长。

在图2以及图3中，用l61示出第1薄膜部的长度，用l615示出与第2主电极部对置的第1薄膜部的长度，用l614示出与第2连接部对置的第1薄膜部的长度。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，在从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上，第2薄膜部比第2主电极部短，且与第1主电极部对置的第2薄膜部比与第1连接部对置的第2薄膜部长。

在图2以及图3中，用l62示出第2薄膜部的长度，用l625示出与第1主电极部对置的第2薄膜部的长度，用l624示出与第1连接部对置的第2薄膜部的长度。

另外，内部电极的长度能够通过如下方式确定，即，使用场发射型扫描电子显微镜(fe-sem)等电子显微镜对内部电极的在厚度方向上切断的剖面进行观察。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上的第1薄膜部的长度l61大于第1主电极部的最大厚度t51与第1薄膜部的最大厚度t61之差。

在该情况下，优选地，第1薄膜部的长度l61为第1主电极部的最大厚度t51与第1薄膜部的最大厚度t61之差的50000倍以上。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上的第2薄膜部的长度l62大于第2主电极部的最大厚度t52与第2薄膜部的最大厚度t62之差。

在该情况下，优选地，第2薄膜部的长度l62为第2主电极部的最大厚度t52与第2薄膜部的最大厚度t62之差的50000倍以上。

优选地，在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上，与第2主电极部对置的第1薄膜部的长度l615为4mm以下。与第2主电极部对置的第1薄膜部的长度l615也可以为0mm。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，在从第1外部电极朝向第2外部电极的方向上，与第1主电极部对置的第2薄膜部的长度l625为4mm以下。与第1主电极部对置的第2薄膜部的长度l625也可以为0mm。

在与主电极部对置的薄膜部的长度为4mm以下的情况下，能够抑制绝缘击穿，并且还能够抑制电容器的esr(等效串联电阻)的上升。因此，能够做成为电特性优异的、可靠性高的电容器。

在本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器中，第1电介质膜可以包含热固化性树脂等固化性树脂作为主成分，也可以包含热塑性树脂作为主成分。同样地，第2电介质膜可以包含固化性树脂作为主成分，也可以包含热塑性树脂作为主成分。第2电介质膜也可以具有与第1电介质膜不同的结构，但是优选具有与第1电介质膜相同的结构。

其中，第1电介质膜尤其优选包含固化性树脂作为主成分，第2电介质膜尤其优选包含固化性树脂作为主成分。特别是，第1电介质膜优选包含热固化性树脂作为主成分，第2电介质膜优选包含热固化性树脂作为主成分。

关于本发明的第1实施方式涉及的薄膜电容器，即使在作为电介质膜的材料而使用了与pp相比热稳定的热固化性树脂等固化性树脂的情况下，也容易自恢复，可抑制绝缘击穿，因此能够做成为可靠性高的高耐热性的电容器。

以下，在不特别区分第1电介质膜以及第2电介质膜的情况下，仅称为“电介质膜”。

如上所述，所谓“主成分”，意味着存在比例(重量％)最大的成分，优选地，意味着存在比例超过50重量％的成分。因此，电介质膜也可以作为主成分以外的成分而包含例如硅酮树脂等添加剂、后述的第1有机材料以及第2有机材料等原始材料的未固化部分。

在电介质膜包含固化性树脂作为主成分的情况下，固化性树脂可以是热固化性树脂，也可以是光固化性树脂。固化性树脂可以具有氨基甲酸乙酯键以及脲键中的至少一者，也可以不具有。

另外，氨基甲酸乙酯键和/或脲键的存在能够使用傅里叶变换红外分光光度计(ft-ir)进行确认。

在本说明书中，所谓热固化性树脂，意味着能够通过热进行固化的树脂，并不限定固化方法。因此，只要是能够通过热进行固化的树脂，通过热以外的方法(例如，光、电子束等)进行固化的树脂也包含于热固化性树脂。此外，根据材料，存在通过材料自身具有的反应性开始反应的情况，对于不一定从外部提供热或光等才可促进固化的树脂，也作为热固化性树脂。关于光固化性树脂也是同样的，并不限定于固化方法。

电介质膜也可以包含蒸镀聚合膜作为主成分。蒸镀聚合膜可以具有氨基甲酸乙酯键以及脲键中的至少一者，也可以不具有。另外，蒸镀聚合膜基本上包含于固化性树脂。

电介质膜优选包含第1有机材料和第2有机材料的固化物。例如，可列举第1有机材料具有的羟基(oh基)和第2有机材料具有的异氰酸酯基(nco基)反应而得到的固化物等。

在通过上述的反应而得到固化物的情况下，原始材料的未固化部分也可以残留在膜中。例如，电介质膜也可以包含异氰酸酯基(nco基)以及羟基(oh基)中的至少一者。在该情况下，电介质膜可以包含异氰酸酯基以及羟基中的任一者，也可以包含异氰酸酯基以及羟基这两者。

另外，异氰酸酯基和/或羟基的存在能够使用傅里叶变换红外分光光度计(ft-ir)进行确认。

第1有机材料优选为在分子内具有多个羟基(oh基)的多元醇。作为多元醇，例如可列举聚醚多元醇、聚酯多元醇、聚乙稀醇缩乙酰乙醛(polyvinylacetoacetal)等。作为第1有机材料，也可以并用两种以上的有机材料。在第1有机材料之中，优选属于聚醚多元醇的苯氧树脂。

第2有机材料优选为在分子内具有多个官能团的异氰酸酯化合物、环氧树脂或三聚氰胺树脂。作为第2有机材料，也可以并用两种以上的有机材料。

作为异氰酸酯化合物，例如，可列举二苯甲烷二异氰酸酯(mdi)以及甲苯二异氰酸酯(tdi)等芳香族聚异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯(hdi)等脂肪族聚异氰酸酯等。也可以是这些聚异氰酸酯的改性体，例如，也可以是具有碳二亚胺或氨基甲酸乙酯等的改性体。其中，尤其优选芳香族聚异氰酸酯，更优选mdi。

作为环氧树脂，只要是具有环氧环的树脂，就没有特别限定，例如，可列举双酚a型环氧树脂、联苯骨架环氧树脂、环戊二烯骨架环氧树脂、萘骨架环氧树脂等。

作为三聚氰胺树脂，只要是在构造的中心具有三嗪环并在其周边具有三个氨基的有机氮化合物，就没有特别限定，例如，可列举烷基取代三聚氰胺树脂等。除此以外，也可以是三聚氰胺的改性体。

电介质膜优选通过如下方式得到，即，将包含第1有机材料以及第2有机材料的树脂溶液成型为膜状，接下来，进行热处理而使其固化。

在电介质膜包含热塑性树脂作为主成分的情况下，作为热塑性树脂，例如，可列举高结晶性聚丙烯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚芳酯等。

电介质膜还能够包含用于附加其它功能的添加剂。例如，通过添加流平剂，从而能够赋予平滑性。添加剂更优选为如下的材料，即，具有与羟基和/或异氰酸酯基反应的官能团，并形成固化物的交联构造的一部分。作为这样的材料，例如，可列举具有从包含环氧基、硅醇基以及羧基的组选择的至少一种官能团的树脂等。

电介质膜的厚度没有特别限定，但是若膜过薄，则容易变脆。因此，电介质膜的厚度优选超过0.5μm，更优选为2μm以上。另一方面，若膜过厚，则在成膜时容易产生裂纹等缺陷。因此，电介质膜的厚度优选不足10μm，更优选为6μm以下。

另外，电介质膜的厚度能够使用光学式膜厚计进行测定。

[第2实施方式]

在本发明的第2实施方式涉及的薄膜电容器中，与第1实施方式同样地，第1外部电极与第1内部电极连接，并且与第2内部电极分离，第2外部电极与第2内部电极连接，并且与第1内部电极分离。在第2实施方式中，与第1实施方式不同，第2内部电极设置在第1电介质膜的第2面。

图7是示意性地示出本发明的第2实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

虽然在图7未示出整体的结构，但是薄膜电容器2具备：第1电介质膜11；层叠在第1电介质膜11的第2电介质膜12；以及隔着第1电介质膜11相互对置的第1内部电极21以及第2内部电极22。薄膜电容器2还具备：与第1内部电极21连接并且与第2内部电极22分离的第1外部电极31；以及与第2内部电极22连接并且与第1内部电极21分离的第2外部电极32。

在图7所示的薄膜电容器2中，第1内部电极21与图1所示的薄膜电容器1同样地，设置在第1电介质膜11的第1面11a。另一方面，第2内部电极22与图1所示的薄膜电容器1不同，设置在第1电介质膜11的第2面11b。而且，在第2电介质膜12未设置内部电极。

与图1所示的薄膜电容器1同样地，第1内部电极21具备：与第1外部电极31连接的第1连接部41；与第1连接部41连结的第1主电极部51；以及从第1主电极部51朝向第2外部电极32延伸的第1薄膜部61。此外，第2内部电极22具备：与第2外部电极32连接的第2连接部42；与第2连接部42连结的第2主电极部52；以及从第2主电极部52朝向第1外部电极31延伸的第2薄膜部62。

第1内部电极以及第2内部电极优选通过图5的(a)以及图5的(b)所示的方法形成。优选地，第2连接部的与隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧相反侧包含导电性比隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧低的材料。此外，在第2内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，第1连接部的与隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧相反侧包含导电性比隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧低的材料。

其它结构与第1实施方式相同。

在具有这样的结构的第2实施方式中，也可得到与第1实施方式同样的作用效果。

[第3实施方式]

在本发明的第3实施方式涉及的薄膜电容器中，与第1实施方式不同，第1外部电极以及第2外部电极均与第2内部电极连接并且与第1内部电极分离。在第3实施方式中，第2内部电极设置在第2电介质膜的第1面。

图8是示意性地示出本发明的第3实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

虽然在图8未示出整体的结构，但是薄膜电容器3具备：第1电介质膜11；层叠在第1电介质膜11的第2电介质膜12；以及隔着第1电介质膜11相互对置的第1内部电极121以及第2内部电极122。薄膜电容器3还具备：与第2内部电极122连接并且与第1内部电极121分离的第1外部电极31；以及与第2内部电极122连接并且与第1内部电极121分离的第2外部电极32。

第1内部电极121设置在第1电介质膜11的第1面11a。第1内部电极121在第1电介质膜11的第1面11a中设置为不到达至一方侧部边缘以及另一方侧部边缘。因此，在第1电介质膜11的第1面11a的一方侧部边缘以及另一方侧部边缘存在未设置第1内部电极121的绝缘余量71。

第2内部电极122设置在第2电介质膜12的第1面12a。第2内部电极122在第2电介质膜12的第1面12a中设置为分离为两个。因此，在第2电介质膜12的第1面12a的中央部存在未设置第2内部电极122的绝缘余量72。

第1内部电极121具备：第1主电极部51；从第1主电极部51朝向第2外部电极32延伸的第1薄膜部61；以及从第1主电极部51朝向第1外部电极31延伸的第2薄膜部62。第1薄膜部61比第1主电极部51薄，第2薄膜部62比第1主电极部51薄。

第2内部电极122具备：与第1外部电极31连接的第1连接部41；与第1连接部41连结的第2主电极部52；与第2外部电极32连接的第2连接部42；以及从第2主电极部52分离并且与第2连接部42连结的第3主电极部53。第2主电极部52比第1连接部41薄，第3主电极部53比第2连接部42薄。

第1内部电极121中的第1主电极部51在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第2主电极部52以及第3主电极部53对置，且不与第1连接部41以及第2连接部42对置。另一方面，第1薄膜部61在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第2连接部42对置，第2薄膜部62在第1电介质膜11的厚度方向上隔着第1电介质膜11与第1连接部41对置。

在本发明的第3实施方式涉及的薄膜电容器中，其特征在于，第1内部电极具备第1薄膜部，第1薄膜部隔着第1电介质膜与第2连接部对置。

另一方面，在本发明的第3实施方式涉及的薄膜电容器中，第1内部电极也可以不具备第2薄膜部，但是优选地，第1内部电极具备第2薄膜部，第2薄膜部隔着第1电介质膜与第1连接部对置。

第1内部电极优选通过图5的(a)所示的方法形成，第2内部电极优选通过图5的(a)以及图5的(b)所示的方法形成。优选地，第2连接部的隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧包含导电性比与第2电介质膜对置的一侧低的材料。此外，在第1内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，第1连接部的隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧包含导电性比与第2电介质膜对置的一侧低的材料。

其它结构与第1实施方式相同。

在具有这样的结构的第3实施方式中，也可得到与第1实施方式同样的作用效果。

[第4实施方式]

在本发明的第4实施方式涉及的薄膜电容器中，与第3实施方式同样地，第1外部电极以及第2外部电极均与第2内部电极连接，并且与第1内部电极分离。在第4实施方式中，与第3实施方式不同，第2内部电极设置在第1电介质膜的第2面。

图9是示意性地示出本发明的第4实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。

虽然在图9未示出整体的结构，但是薄膜电容器4具备：第1电介质膜11；层叠在第1电介质膜11的第2电介质膜12；以及隔着第1电介质膜11相互对置的第1内部电极121以及第2内部电极122。薄膜电容器4还具备：与第2内部电极122连接并且与第1内部电极121分离的第1外部电极31；以及与第2内部电极122连接并且与第1内部电极121分离的第2外部电极32。

在图9所示的薄膜电容器4中，第1内部电极121与图8所示的薄膜电容器3同样地，设置在第1电介质膜11的第1面11a。另一方面，第2内部电极122与图8所示的薄膜电容器3不同，设置在第1电介质膜11的第2面11b。而且，在第2电介质膜12未设置内部电极。

与图8所示的薄膜电容器3同样地，第1内部电极121具备：第1主电极部51；从第1主电极部51朝向第2外部电极32延伸的第1薄膜部61；以及从第1主电极部51朝向第1外部电极31延伸的第2薄膜部62。此外，第2内部电极122具备：与第1外部电极31连接的第1连接部41；与第1连接部41连结的第2主电极部52；与第2外部电极32连接的第2连接部42；以及从第2主电极部52分离并且与第2连接部42连结的第3主电极部53。

第1内部电极优选通过图5的(a)所示的方法形成，第2内部电极优选通过图5的(a)以及图5的(b)所示的方法形成。优选地，第2连接部的与隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧相反侧包含导电性比隔着第1电介质膜与第1薄膜部对置的一侧低的材料。此外，在第1内部电极具备第2薄膜部的情况下，优选地，第1连接部的与隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧相反侧包含导电性比隔着第1电介质膜与第2薄膜部对置的一侧低的材料。

其它结构与第3实施方式相同。

在具有这样的结构的第4实施方式中，也可得到与第1实施方式同样的作用效果。

实施例

以下，示出更具体地公开了本发明的薄膜电容器的实施例。另外，本发明并不仅限定于这些实施例。

[电容器的制作]

(实施例1)

使用厚度为2.5μm的pp膜，一边在膜宽度方向上的一端侧形成基于非蒸镀部的绝缘余量，一边蒸镀铝，然后在另一端侧的铝蒸镀膜上蒸镀锌，由此形成了厚度为50nm的连接部(边缘加厚)。在蒸镀铝时，直至主电极部的缘端部侧的宽度5mm为止，设为厚度为7nm的薄膜部，主电极部设为15nm的厚度。

另外，薄膜部通过在蒸镀工序中导入比主电极部少量的金属蒸气量而形成。

对于得到的金属化膜，将两片合在一起进行重叠，使得主电极部和薄膜部的边界成为与对置的连接部的缘端部相距4mm的位置，即，使得与主电极部对置的薄膜部的长度成为4mm，并进行卷绕，由此制作了实施例1的电容器(20μf)(参照图1、图2以及图3)。

(比较例1)

将除了不形成薄膜部以外通过与实施例1同样的方法制作的金属化膜重叠两片并进行卷绕，由此制作了比较例1的电容器(20μf)。

[电容器的评价]

关于实施例1以及比较例1的电容器，esr的值大致相同。

此外，将对实施例1以及比较例1的电容器实施了耐电压试验(105℃、750v、施加24小时)的结果示于表1。

[表1]

如表1所示，在实施例1的电容器中，与比较例1的电容器不同，未产生绝缘击穿。另外，在比较例1的电容器中，均在一个内部电极的端部和另一个内部电极的连接部重叠的部位产生了绝缘击穿。

[电容器的制作]

(实施例2)

使用包含聚乙稀醇缩乙酰乙醛(polyvinylacetoacetal)(pvaa)和甲苯二异氰酸酯(tdi)的预聚物体的厚度为3μm的热固化性膜，一边在膜宽度方向上的一端侧形成基于非蒸镀部的绝缘余量，一边蒸镀铝，然后在另一端侧的铝蒸镀膜上蒸镀锌，由此形成了厚度为40nm的连接部(边缘加厚)。在蒸镀铝时，直至主电极部的缘端部侧的宽度为5mm为止，设为厚度为7nm的薄膜部，主电极部设为10nm的厚度。

对于得到的金属化膜，将两片合在一起进行重叠，使得主电极部和薄膜部的边界成为与对置的连接部的缘端部相距4mm的位置，并进行卷绕，由此制作了实施例2的电容器(20μf)(参照图1、图2以及图3)。

(比较例2)

将除了不形成薄膜部以外通过与实施例2同样的方法制作的金属化膜重叠两片并进行卷绕，由此制作了比较例2的电容器(20μf)。

[电容器的评价]

关于实施例2以及比较例2的电容器，esr的值大致相同。

此外，将对实施例2以及比较例2的电容器实施了耐电压试验(125℃、750v、施加24小时)的结果示于表2。

[表2]

如表2所示，在实施例2的电容器中，与比较例2的电容器不同，未产生绝缘击穿。另外，在比较例2的电容器中，均在一个内部电极的端部和另一个内部电极的连接部重叠的部位产生了绝缘击穿。

附图标记说明

1、2、3、4：薄膜电容器；

11：第1电介质膜；

11a：第1电介质膜的第1面；

11b：第1电介质膜的第2面；

12：第2电介质膜；

12a：第2电介质膜的第1面；

12b：第2电介质膜的第2面；

21、121：第1内部电极；

21a：第1内部电极的熔断器部；

21b：第1内部电极的绝缘狭缝；

21c：第1内部电极的分割电极；

21a：第1金属蒸镀膜；

21b：第2金属蒸镀膜；

22、122：第2内部电极；

22a：第2内部电极的熔断器部；

22b：第2内部电极的绝缘狭缝；

22c：第2内部电极的分割电极；

31：第1外部电极；

32：第2外部电极；

41：第1连接部；

42：第2连接部；

51：第1主电极部；

52：第2主电极部；

53：第3主电极部；

61、161、261、361、461、561：第1薄膜部；

62：第2薄膜部；

71、72：绝缘余量；

l61：第1薄膜部的长度；

l614：与第2连接部对置的第1薄膜部的长度；

l615：与第2主电极部对置的第1薄膜部的长度；

l62：第2薄膜部的长度；

l624：与第1连接部对置的第2薄膜部的长度；

l625：与第1主电极部对置的第2薄膜部的长度；

t41：第1连接部的最大厚度；

t42：第2连接部的最大厚度；

t51：第1主电极部的最大厚度；

t52：第2主电极部的最大厚度；

t61：第1薄膜部的最大厚度；

t62：第2薄膜部的最大厚度。