于伯努利效应，在通道2的内部中流动到入口开口 23或出口开口 25或流动到顶部7中的处理开口的保护气体将在纵向狭缝11中产生负压，并且将因此吸入周围空气。
[0028]为了防止从纵向狭缝11吹出的保护气体与周围空气的涡旋并且因此防止周围空气的氧气的渗透，从第二孔18吹出的保护气体应该作为恒定层流到达周围环境。为了以优化方式支持该目标的实现，有利地附加执行下列措施a)或措施a)和b)两者:
[0029]a)纵向狭缝11的底边缘12由窄条形成，该狭条相对于通道2的基部4被降低预定距离；
[0030]b)在底边缘12的窄条中形成沟槽14，并且第二孔18通入到基部4和/或沟槽14的侧壁中。在图2至4中示出该实施例。
[0031]贯通式炉的通道2典型地被再分成至少两个区域，即用于基板3的受控加热的至少一个预热区域、至少一个处理区域和可选地用于基板3的受控冷却的至少一个冷却区域。单独的加热与每个区域关联，使得在每个区域中温度都能够自由地编程。
[0032]若干第一孔8和若干第二孔18与每个区域关联。这意味着:每个区域的第一孔8彼此连接，并且每个区域的第二孔18彼此连接。将保护气体供给到一个区域的相互连接的第一孔8和一个区域的相互连接的第二孔18优选地经由不同的气体线路20和能单独调节的流量控制阀21进行，使得能够对于每个区域单独地设定并且根据在通道2中以及在限制通道2的气帘中两者所需优化地设定保护气体的供给。
[0033]沟槽14能够至少在从一个区域到下一个区域的个别过渡点处被分隔壁19中断，因为对于保护气体或保护气体的流动性的要求能够在各区域中不同。分隔壁19也提供在如下方面中的支持:在恒定层流通过纵向狭缝11到周围环境的情况下，保护气体流入到各个区域中到最高可能的程度。
[0034]第二孔18、沟槽14和/或底边缘12的降低能够在纵向狭缝11的整个长度上延伸，或者如图1和2中所示，可以在通道2的入口开口 23之后的短部22上和在通道2的出口开口 25之前的短部24上省略。
[0035]在运输期间，基板3从通道2突出到小程度，使得基板3能够被夹子15夹持并被运输。夹子15不突出到纵向狭缝11中。运输设备优选地设定成在向前运输期间略微提起基板3，使得基板3不在通道2的基部4上滑动。在纵向狭缝11的上边缘13和通道2的基部4之间的距离因此被定尺寸到足够大的程度。
[0036]该发明允许构建贯通式炉，在贯通式炉中加热区域和/或冷却区域被再分成若干区域，在所述若干区域中不同的温度占优，并且具有能自由编程的夹子的运输系统允许根据预定温度和时间表将基板运输通过贯通式炉。根据该发明的用于“裸片”的自动安装机包含根据该发明的贯通式炉并且优选地被编程用于输入参数，该自动安装机在该领域中被称为裸片结合器或者也被称为软焊裸片结合器，该自动安装机被设定用于将裸片例如半导体芯片焊接到基板上并用于根据这些参数将基板运输通过贯通式炉，所述参数为每个区域确定温度并确定运输速度和/或停留时间。参数的输入在设定期间即在常规安装操作之前进行。
[0037]贯通式炉以及裸片结合器也能够被用于使基板与除了在上述实施例中提及的半导体芯片之外的部件或裸片配合。
[0038]虽然该发明的实施例和应用已经被示出和描述，但是对于受益于该公开的本领域技术人员将显而易见的是:在不偏离这里的发明概念的情况下，与上述不同的更多变型是可行的。因此，除了在权利要求的精神及它们的等同物中之外，该发明不被限制。
【主权项】
1.用于基板(3)的贯通式炉，包括炉(I)和运输系统，所述炉(I)具有通道(2)，所述运输系统用于将所述基板(3)运输通过所述通道(2)，其中 所述通道(2)由基部(4)、前侧壁(5)、后侧壁(6)和顶部(7)界定， 所述基部(4)包含多个第一孔(8)，所述多个第一孔(8)能够连接到保护气体源(9)，以便在操作期间供给保护气体， 所述通道⑵的所述前侧壁(5)包括纵向狭缝(11)，所述纵向狭缝(11)平行于通过方向(10)延伸，并且所述纵向狭缝(11)由底边缘(12)和上边缘(13)界定， 所述运输系统包括至少一个夹子(15)，所述至少一个夹子(15)用于将所述基板(3)运输通过所述通道(2)，并且 所述夹子能够沿着所述通道(2)的所述纵向狭缝(11)来回移动。
2.根据权利要求1所述的贯通式炉，其中在所述纵向狭缝(11)的所述底边缘(12)的与所述通道(2)面对的一侧上布置多个第二孔(18)，所述多个第二孔(18)能够连接到所述保护气体源(9)。
3.根据权利要求1或2所述的贯通式炉，其中所述纵向狭缝(11)的所述底边缘(12)由窄条形成，所述窄条相对于所述通道(2)的所述基部(4)被降低预定距离。
4.根据权利要求3所述的贯通式炉，其中在所述纵向狭缝(11)的所述底边缘(12)的所述窄条中形成沟槽(14)，并且所述第二孔(18)通入到所述沟槽(14)中。
5.根据权利要求4所述的贯通式炉，其中所述通道(2)被再分成至少两个区域，并且所述沟槽(14)至少在从一个区域到下一个区域的一个过渡点处被分隔壁(19)中断。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的贯通式炉，其中 所述通道(2)被再分成至少两个区域， 至少一个区域与若干所述第二孔(18)关联，并且 同一区域的所述第二孔(18)彼此连接并且能够经由单独的流量控制阀(21)连接到所述保护气体源(9)。
7.裸片结合器，具有根据权利要求1至6中的任一项所述的贯通式炉，其中所述贯通式炉包括加热区域和冷却区域，所述加热区域和所述冷却区域被再分成若干区域，并且所述裸片结合器被编程用于输入参数并用于根据这些参数将所述基板运输通过所述贯通式炉，所述参数为每个区域确定温度并确定运输速度和/或停留时间。
【专利摘要】本发明提供用于基板的贯通式炉和裸片结合器。用于基板(3)的贯通式炉包括：炉(1)，炉(1)具有通道(2)；和运输系统，用于将基板(3)运输通过通道(2)。通道(2)由基部(4)、前侧壁(5)、后侧壁(6)和顶部(7)界定。基部(4)包含多个第一孔(8)，所述多个第一孔(8)能够连接到保护气体源(9)，使得在操作期间能够供给保护气体。通道(2)的前侧壁(5)包括纵向狭缝(11)，纵向狭缝(11)平行于通过方向(10)延伸且由底边缘(12)和上边缘(13)界定。运输系统包括至少一个夹子(15)，用于将基板(3)运输通过通道(2)。夹子(15)能沿通道(2)的纵向狭缝(11)来回移动。这样的贯通式炉特别适于用于软焊裸片结合器中。
【IPC分类】H01L21-56, H01L21-58
【公开号】CN104658928
【申请号】CN201410669842
【发明人】吉多·祖特尔, 凯文·多曼奇赫, 丹尼尔·安德烈亚斯·谢勒, 雷托·魏伯尔
【申请人】贝思瑞士股份公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年11月20日
【公告号】DE102014116147A1, US20150136836