的剖面结构的剖视图。另外，在实施方式2的固体摄像装置IB中，对于与上述图2所示的实施方式I的固体摄像装置IA同等的部位，在省略说明的同时，在附图中标注相同的标号。
[0081]实施方式2的固体摄像装置IB具有设置在第I部分旁边的具有第2无机光电转换部的第2部分、第I滤色片、以及第2滤色片。第I滤色片设置为与第I部分中的第I无机光电转换部相对，吸收第I波长分量的光和第2波长分量的光。第2滤色片设置为与第2部分中的第2无机光电转换部相对，吸收第3波长分量的光。
[0082]具体而言，该固体摄像装置IB如图6所示，在一个像素3内，包括:设置有第I无机光电转换部21和第2无机光电转换部22的第I区域(第I部分)S1、以及设置有第2无机光电转换部22的第2区域(第2部分)S2，两者配置在俯视时相邻的位置。在第I区域SI的第I无机光电转换部21上配置有使洋红色光(蓝色光BL和红色光RL)透过的洋红色滤色片(第I滤色片)35。在第2区域的第2无机光电转换部22上配置有使绿色光GL透过的绿色滤色片(第2滤色片)36。除此以外的结构与上述图2所示的实施方式I的固体摄像装置IA基本相同。
[0083]在具有上述结构的固体摄像装置IB中，通过在第I无机光电转换部21与第2无机光电转换部22之间配置微细结构体25，使得从受光面2a侧入射的光WL中，将被第I无机光电转换部21吸收的蓝色光BL被微细结构体25反射，将被第2无机光电转换部22吸收的红色光RL透过微细结构体25。
[0084]因此，在该固体摄像装置IB中，与上述固体摄像装置IA相同，能够对在像素3内层叠的第I无机光电转换部21与第2无机光电转换部22之间产生混色的情况进行抑制，并且能够实现各光电转换部21、22中的受光灵敏度的进一步提高。
[0085](实施方式3)
[0086]接着，对作为实施方式3的图7所示的固体摄像装置IC进行说明。
[0087]图7是表示对应于实施方式3的固体摄像装置IC所具备的一个像素3的剖面结构的剖视图。另外，在实施方式3的固体摄像装置IC中，对于与上述图2所示的实施方式I的固体摄像装置IA同等的部位，在省略说明的同时，在附图中标注相同的标号。
[0088]实施方式3的固体摄像装置IC如图7所示，由有机光电转换部40构成，该有机光电转换部40使用吸收蓝色光(第I波长分量的光)BL的有机光电转换膜40a来取代上述蓝色吸收层21a。除此以外的结构与上述图2所示的实施方式I的固体摄像装置IA基本相同。
[0089]作为有机光电转换膜40a可使用例如香豆素。但是，由于香豆素的波长选择性不够，因此，在可视光区域的蓝色光BL以外的波长区域中有20%左右的吸收。因而，对有机光电转换膜40a进行薄膜化，将其厚度减薄至使得蓝色光BL的受光灵敏度成为50%，由此来减少红混色的产生。在这种情况下，优选有机光电转换膜40a的膜厚为10nm左右。
[0090]在具有上述结构的固体摄像装置IC中，通过在有机光电转换部40与第2无机光电转换部22之间配置微细结构体25，使得从受光面2a侧入射的光WL中，将被有机光电转换部40吸收的蓝色光BL被微细结构体25反射，将被第2无机光电转换部22吸收的红色光RL透过微细结构体25。
[0091]因此，在该固体摄像装置IC中，与上述固体摄像装置IA相同，能够对在像素3内层叠的有机光电转换部40与第2无机光电转换部22之间产生混色的情况进行抑制，并且能够实现各光电转换部40、22中的受光灵敏度的进一步提高。
[0092]对本发明的若干实施方式进行了说明，但这些实施方式只是作为示例而呈现，不旨在限定本发明的范围。这些实施方式可以通过其他各种方式来实施，在不脱离发明要旨的范围内，可进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形均包含在发明范围和要旨中，同样也包含在权利要求书的范围所记载的发明及其等同范围内。
【主权项】
1.一种固体摄像装置，其特征在于，包括: 第I无机光电转换部； 半导体基板部，该半导体基板部具有与所述第I无机光电转换部相对且光入射的受光面、以及由包含读取电路的电路形成的电路形成面，在该半导体基板部的内部具有第2无机光电转换部；以及 微细结构体，该微细结构体配置在所述第I无机光电转换部与所述第2无机光电转换部之间。2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于， 从所述受光面侧入射的光中，将被所述第I无机光电转换部吸收的第I波长分量的光被所述微细结构体反射，将被所述第2无机光电转换部吸收的第2波长分量的光透过所述微细结构体。3.如权利要求1或2所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述微细结构体由排列成阵列状的多个点构成， 各所述点具有在面内对称的平面形状。4.如权利要求3所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第I波长分量的光为蓝色光，所述第2波长分量的光为红色光， 所述微细结构体中，各点的宽度在20?300nm的范围，各点的厚度在10?300nm的范围，相邻各点的间隔在20?250nm的范围。5.如权利要求4所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第I无机光电转换部包含吸收所述蓝色光的蓝色吸收层， 所述第2无机光电转换部包含吸收所述红色光的红色吸收层， 在将所述蓝色吸收层的吸收系数设为aB[nm 1L所述蓝色吸收层的厚度设为dB[nm]时， 满足0.21 < α B.dB< 2.3的关系， 在将所述红色吸收层的吸收系数设为ajnm1]，所述红色吸收层的厚度设为dK[nm]时， 满足1.4 < α Ε.dE< 2.6的关系。6.如权利要求5所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述蓝色吸收层包含非晶硅。7.如权利要求5或6所述的固体摄像装置，其特征在于， 在所述蓝色吸收层与所述微细结构体之间包含有硅氧化膜， 在将所述硅氧化膜的折射率设为n，所述硅氧化膜的厚度设为d[nm]时， 满足100 < η.d < 125的关系。8.如权利要求4至权利要求7的任一项所述的固体摄像装置，其特征在于， 包括形成在所述半导体基板部的所述受光面侧的面上的有机光电转换部， 所述有机光电转换部包含有吸收第3波长分量的光的有机光电转换膜。9.如权利要求8所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第3波长分量的光为绿色光， 所述有机光电转换部设置于在俯视时与所述第I无机光电转换部和所述第2无机光电转换部的形成位置相重叠的位置。10.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于，包括: 第2部分，该第2部分设置于所述第I部分的旁边，并具有所述第2无机光电转换部；第I滤色片，该第I滤色片设置为与所述第I部分中的所述第I无机光电转换部相对，吸收第I波长分量的光和第2波长分量的光；以及 第2滤色片，该第2滤色片设置为与所述第2部分中的所述第2无机光电转换部相对，吸收第3波长分量的光。11.如权利要求1至权利要求10的任一项所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第I无机光电转换部和所述第2无机光电转换部分别独立地与所述读取电路相连接。
【专利摘要】本发明涉及固体摄像装置。本发明提供一种能够抑制像素内层叠的光电转换部之间发生混色，且能够进一步提高各光电转换部中的受光灵敏度的固体摄像装置。实施方式的固体摄像装置具有第1部分，该第1部分包括第1无机光电转换部、半导体基板部、以及微细结构体。半导体基板部中存在与所述第1无机光电转换部相对的、光入射的受光面，以及形成有包含读取电路的电路的电路形成面，在内部具有第2无机光电转换部。微细结构体配置在所述第1无机光电转换部与所述第2无机光电转换部之间。
【IPC分类】H01L27/146
【公开号】CN104934453
【申请号】CN201410698275
【发明人】宫崎崇, 藤原郁夫, 舟木英之
【申请人】株式会社东芝
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2014年11月27日
【公告号】US20150270314