柔性铜布线板的制造方法及其所用的带支撑膜的柔性覆铜层叠板与流程

文档序号:18923656发布日期:2019-10-19 03:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性铜布线板的制造方法,其中,在树脂膜的一面形成有铜布线,所述柔性铜布线板的制造方法具备:

柔性覆铜层叠板形成工序,该工序在所述树脂膜的一面层叠铜,

带支撑膜的柔性覆铜层叠板形成工序,该工序在所述树脂膜的另一面上,通过粘合层层叠作为支撑膜的双轴延伸膜,得到带支撑膜的柔性覆铜层叠板,

铜布线形成工序,该工序蚀刻所述铜而形成所述铜布线,

加热工序,该工序加热所述带支撑膜的柔性覆铜层叠板,

剥离工序,该工序剥离所述支撑膜,以及,

尺寸变化预测工序,该工序测定所述带支撑膜的柔性覆铜层叠板在规定条件下的尺寸变化的实测值,将所述实测值作为通过该制造方法获得的柔性铜布线板的尺寸变化的预测值,

并且,作为所述支撑膜,使用各延伸方向上的150℃×30分钟后的热收缩率分别为0.1%以下的所述双轴延伸膜。

2.如权利要求1所述的柔性铜布线板的制造方法,其中,所述支撑膜是双轴延伸聚酯。

3.如权利要求1或2所述的柔性铜布线板的制造方法,其中,所述树脂膜是聚酰亚胺膜。

4.如权利要求1或2所述的柔性铜布线板的制造方法,其中,所述支撑膜的厚度为所述树脂膜厚度的0.4倍以上且3.4倍以下。

5.如权利要求1或2所述的柔性铜布线板的制造方法,其中,所述规定条件为蚀刻处理和/或加热处理。

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