压电谐振器的制作方法

专利名称：压电谐振器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压电谐振器，适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波，本发明尤其涉及一种压电谐振器，其中对浮动电极的使用使得能够抑制基波。
在适合于以厚度延伸振动模式振动的压电谐振器中，为了解决较高频率的压电谐振器，已经提出了各种利用其谐波的压电谐振器。
例如，在第9-181556号日本未审查专利公告中揭示了一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波的压电换能器。

图11是JP 9-181556中描述的压电换能器的俯视平面图。在压电换能器51中，在带状压电基片52的第一主表面上设置从压电基片52的端部52a延伸到中心的振动电极53。在压电基片52的第二主表面上设置从端部52b延伸到中心的振动电极54。振动电极53和54安排在压电基片的中间部分，以便通过压电基片52相互面对。振动电极53和54相互面对的部分构成振动部分，并且在振动电极53和54之间施加交变电压使振动部分以厚度延伸振动模式振动。
因为利用厚度延伸振动模式的三次谐波，故必需把基波作为不想要的寄生分量抑制。所以，在压电基片52的第一主表面上设置阻尼层55和56。然后分别将阻尼层55和56设置在上述振动部分和端部52a之间，以及振动部分和端部52b之间。
还有，一对在其间安排了振动部分的阻尼层设置在压电基片52的第二主表面上。第二主表面上的每一个阻尼层安排得分别面对设置在第一主表面上的阻尼层55和56。
阻尼层55和56以及设置在第二主表面上的阻尼层由例如热固性环氧树脂、酚醛树脂、焊料等等制成。在JP 9-181556中提出权利要求，在压电换能器51中，三次谐波的振动可以分布在阻尼层55和阻尼层56之间的区域内，而在阻尼层55和56处以及其它地方可以有效地抑制基波。
另一方面，在第4-216208号日本未审查的专利公告中揭示了一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波的压电谐振器，其中使用浮动电极使得能够抑制由基波引起的寄生分量。JP 4-216208中描述的压电谐振器示于图12中。在压电谐振器61中，振动电极63设置在矩形压电基片62的第一主表面的中间，而振动电极64位于第二主表面的中间。振动电极63和64通过位于它们之间的压电基片62相互面对。
另外，振动电极63连接到沿压电基片62的短边边缘设置的引出电极65，而振动电极64电气连接到沿压电基片62的第二主表面上的短边边缘设置的引出电极66。
另一方面，一对浮动电极67a和67b沿压电基片62的第一主表面的较长边边缘设置。还有，在压电基片62的第二主表面上设置了浮动电极67c和67d，以便通过设置在它们之间的压电基片62和浮动电极67a和67b相互面对。
在压电谐振器61中，振动电极63和64相互面对的部分构成振动部分，并且厚度延伸振动模式的三次谐波被限制在振动部分。还有，基波从位于中心的振动部分朝外传播，但是，因为浮动电极67a到67d的机械负荷以及压电短路效应，基波的振动能量被其中设置了浮动电极67a到67d的部分吸收，并且相应地，推定达到了抑制由基波引起的不想要的寄生分量。
另外，在第9-139651日本未审查的专利公告中，揭示了一种石英谐波振荡器，它通过使用浮动电极而抑制基波。参照图13描述JP 9-139651号石英振荡器。
石英振荡器71由矩形石英基体72构成。激励电极73设置在石英晶体72的第一主表面的中间。另一个激励电极设置在石英晶体72的第二主表面的中间。设置在第二主表面上的激励电极安排得和设置在第一主表面上的激励电极73面对。激励电极73连接到设置在石英晶体72的短边上的端部72a周围的引出电极74。引出电极74设置在端部72a的周围，从而在端面以及第一和第二主表面上延伸。
还有，设置在石英晶体72的第二主表面的中间的另一个激励电极电气连接到设置在石英晶体72的另一个端部72b的引出电极75。引出电极75设置在端部72b处，以便在端面和第一以及第二主表面上延伸。
相应地，对引出电极74和75施加交变电压产生厚度延伸振动模式的谐波。另外，基波抑制电极76和77沿石英晶体72的长边边缘设置。基波抑制电极76和77沿石英晶体72的第一和第二主表面上的长边边缘设置。
即，通过基波抑制电极76和77只对泄漏出振动部分的基波的机械阻尼抑制了基波。
但是，在上述利用厚度延伸振动模式的谐波的压电谐振器中，由基波引起的寄生分量仅仅被抑制到某一程度，但是基波不能被全部抑制。
为了解决上述的问题，本发明的较佳实施例提供了一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次基谐波，并有效地抑制作为寄生分量的基波的压电谐振器。
本发明的较佳实施例提供了一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次基波的压电谐振器，它包含压电板；分别部分设置在压电板的第一和第二主表面上的第一和第二振动电极，把它们安排得通过压电板相互面对；电气连接到第一和第二振动电极的第一和第二引出电极；在压电板的第一和第二主表面中的至少一个主表面上，沿压电板短边边缘或在其附近设置的浮动电极。
根据上述压电谐振器，因为沿压电板的短边边缘或沿边缘附近将浮动电极设置在压电板的至少一个主表面上，故基波容易地从振动部分泄漏到电极，并且能够通过在浮动负荷上的质量负荷阻尼基板。另外，因为沿压电板短边的边缘或沿边缘附近设置浮动电极，故浮动电极的面积可以做得更大，而不必使用更大尺寸的压电板，结果，基波被更有效地阻尼或抑制。
由此，由基波产生的不想要的寄生分量能够被有效地抑制，并且能够提供小尺寸的压电谐振器，在其中可以产生厚度延伸振动模式的稳定的三次谐波。
在上述压电谐振器中，可以在浮动电极上设置由树脂制成的阻尼层。
根据上述结构，通过阻尼层的质量负荷可以更有效地抑制基波。
还有，可以通过绝缘粘合剂在压电板的第一和第二主表面的至少一个主表面上层叠外壳基片，从而不妨碍或阻碍包括第一和第二振动电极的振动部分的振动。
按照上述结构，由于外壳基片被层叠在压电板的至少一个主表面上，以便不阻碍具有第一和第二振动电极的振动部分的振动，故外壳基片通过绝缘粘合剂层叠，结果，更多地抑制了在振动部分周围泄漏的基波。
在压电谐振器的一个较佳实施例中，G/d的比值最好为大约0.42或更小，其中G是第一振动电极和浮动电极之间的距离或第二振动电极和浮动电极之间的距离，而d是第一振动电极或第二振动电极的直径。
根据上述压电谐振器，在对本发明的较佳实施例的上述例子中清楚的，泄漏出的基波可以被更有效地抑制。
在上述压电谐振器中，较好地，大约为0.5或更大的W/d的比值是适宜的，其中W是浮动电极沿压电板的短边的长度，而d是第一振动电极或第二振动电极的直径。
类似地，根据上述压电谐振器，如在本发明的较佳实施例的上述例子中清楚地看到的，基波更有效地被抑制。
从下面参照附图对本发明的描述，本发明的其它特点和优点将更显而易见的。
图1是示出根据本发明的第一较佳实施例的压电谐振器的透视图；图2是示出图1所示的第一较佳实施例的经修改的压电谐振器的透视图；图3是根据本发明的第二较佳实施例的压电谐振器的透视图；图4是描绘本发明的第二较佳实施例的压电谐振器的修改的透视图；图5是描述与本发明的第三较佳实施例有关的压电谐振器(即，片型压电谐振元件)的部件分解透视图；图6是俯视平面图，示出在图5中所示的较佳的元件实施例中，设置在压电谐振器的第一主表面上的绝缘粘合剂层；图7是部件分解透视图，示出和本发明的较佳实施例有关的片型压电谐振元件；图8是描述和本发明的第五较佳实施例有关的压电谐振器的透视图；图9示出G/d的比值和在具体例子中得到的基波最大相位之间的关系；图10示出W/d的比值和实际例子中得到的基波的最大相位之间的关系；图11是解释传统的压电换能器的俯视平面图；图12是示出压电谐振器的另一个例子的透视图；以及图13是示出传统的压电谐振器的另一个例子俯视图。
图1是示出关于本发明的第一较佳实施例的压电谐振器的透视图。
压电谐振器1最好是适合于产生厚度延伸振动模式的第三次谐波的能量陷获(energy-trap)型。在压电谐振器1中，最好使用大致上为矩形的压电板2。压电板2由例如压电陶瓷(诸如锆钛酸铅)或压电单晶(诸如石英、LiNbO3，等等)制成。当压电板2由压电陶瓷之一制成时，对其作处理，从而将沿厚度方向极化。
把第一振动电极3设置在压电板2的第一主表面的中间。把第二振动电极4设置在压电板2的第二主表面上，以便面对着振动电极3，同时把压电板2设置在它们之间。
振动部分由振动电极3和4通过压电板2相互面对的部分构成。
在第一较佳实施例中，振动电极3从上述振动部分朝压电板的短边上的端面2a延伸。还有，振动电极4朝压电板2的第二主表面上的短边的另一端面2b延伸。
但是，振动电极3和4安排得构成上述振动部分。相应地，至于从振动部分延伸到端面2a或端面2b的延伸部分，不限于所述形状，并且宽度可以比振动部分的宽度窄。
在端面2a上，设置引出电极5。如此设置引出电极，从而不仅经端面2a上延伸，还经第一主表面2c和第二主表面2d延伸，以便电气连接到第一主表面2c上的上述振动电极3的延伸部分。
还有，在压电板2的第二主表面2d上，在端面2b附近沿短边边缘设置引出电极6。振动电极4的上述延伸部分电气连接到引出电极6。
由此，振动电极5具有经压电板2的第二主表面延伸的部分5a，并且振动电极6设置在压电板的第二主表面2d上。相应地，压电谐振器1可以设置在外壳基片的表面上，如图1所示。
另一方面，在端面2b的一侧，在压电板2的第一主表面2c上沿短边缘设置浮动电极7。另外，浮动电极7不需要和端面接触，并且可以安排在稍稍和端面隔分开或在端面的附近。
在压电谐振器1中，将交变电压施加给引出电极5和6在振动电极相互面对的振动部分处带来厚度延伸振动，并且为了利用三次谐波，而设法通过上述浮动电极7抑制基波。
在适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波的压电谐振器中，为了达到对基波的有效阻尼，要求基波容易泄漏出振动部分和容易有效地阻尼泄漏出的基波。在较佳实施例的压电谐振器1中，位于振动部分外面的上述浮动电极7容易使基波泄漏出振动部分。
即，如果不设置浮动电极7，例如，和图11所示的传统的压电换能器51，在从一对振动电极的一部分延伸的延伸部分的结构中，虽然一对振动电极并未沿厚度方向互相面对，但多少延伸到存在的电极的驱动电场引起基波的电气激励，并且使得基波的响应更大。结果，不能把基波引出振动部分。
相反，在本较佳实施例中，设置在振动部分外面的上述浮动电极7使得基波容易泄漏出振动部分。
另外，浮动电极7的面积越大，则越能有效地把基波引出振动部分，在此较佳实施例中，浮动电极7沿压电板2的短边的边缘设置。由此，和在长边上设置浮动电极的压电谐振器61和71相比(分别示于图12和图13中)，浮动电极的面积可以制得更大。即，在压电谐振器61和71中，沿长边边缘设置浮动电极，因而相应地，当振动部分需要具有足够大的面积时，难于沿长边形成具有更大面积的浮动电极。
相反，在压电谐振器1中，浮动电极7沿短边边缘设置，因而相应地，可以按需要足够地加长，浮动电极沿压电板2的长边的长度，这使基波有效地泄漏出振动部分。
另外，因为浮动电极7沿压电板2的短边边缘设置，故主振动不泄漏和到达设置浮动电极7的部分。
由此，因为由浮动电极7引起的质量负荷，只对泄漏出的基波有效地进行阻尼，并且对于三次谐波，可以得到足够的响应。
由此，因为上述电极7通过质量能够抑制泄漏出的基波，故虽然材料没有限制，浮动电极7能够由和构成振动电极3和4的电极材料相同的材料(例如Ag、Cu、Ag-Pd等金属和其它材料)制成。相应地，以和用于振动电极相同的步骤将浮动电极有效地设置在压电板2上。还有，浮动电极7可以由具有较大质量的金属材料(诸如焊料)制成，以便增强质量负荷的功能。
另外，最好在浮动电极7上设置由树脂(它和金属相比最好较柔软)构成的阻尼层。构成阻尼层的树脂没有具体限制，但是使用环氧族粘合剂、硅聚酮族粘合剂等等是合乎需要的，因为更容易形成阻尼层。
在压电谐振器1中，浮动电极7设置在压电板2的第一主表面2c上，但是可以对和本发明的较佳实施例有关的压电谐振器的浮动电极作种种改变，而不限于图1中所示结构。
例如，如图2中所示，浮动电极7A可以设置在压电板2的第二主表面上。在这种情况下，浮动电极7A沿端面2a的边缘和第二主表面2d设置在压电板2的第二主表面上。相应地，对于引出电极5，只设置在压电板2的第一主表面2c上，以便不经端面2a和第二主表面2d延伸。
图3是和本发明的第二较佳实施例有关的压电谐振器的透视图。
在压电谐振器11中，浮动电极17设置在压电板2的第一主表面2c上接近于短边边缘的中心。即，如此设置浮动电极17，以致不延伸到较长边边缘。大致上为圆形的振动电极3设置在压电板2的第一主表面2c的中间。在第二主表面2d上，和振动电极3相对，设置大致上为圆形的振动电极4。
振动电极3通过连接导电部分12连接到引出电极5。如此安排引出电极5以致覆盖压电板2的一个端面2a，并经第一主表面2c和第二主表面2d上延伸。
另一方面，在压电板2的第二主表面2d上，振动电极4通过连接导电部分13电气连接到引出电极6。引出电极6沿短边边缘设置在压电板2的第二主表面2d上。另外，如此安排引出电极6的一部分，以致经压电板2的端面2b和第一主表面2c延伸。事实上，安排得经端面2b和第一主表面2c延伸的引出电极延伸部分6a和6b如此设置，以致不电气连接到浮动电极17。
在本较佳实施例中，引出电极6具有经第一主表面2c延伸的电极延伸部分6a和6b。相应地，可以把压电板2的第一主表面2c装在外壳基片上。
在第二较佳实施例中，因为浮动电极17沿压电板的短边的边缘设置，浮动电极17的尺寸可以沿压电板2的长边制得更大。结果，能够以和压电谐振器1相同的方式增加基波的泄漏，并且泄漏出的基波能够通过浮动电极17的质量负荷有效地抑制。
图4是经修改的压电谐振器11的透视图。在这个压电谐振器18中，设置在压电板2的第二主表面上的引出电极6分别通过设置在压电板2的侧表面2e和2f上的电极延伸部分6c和6d连接到电极延伸部分6a和6b。
至于其它方面，压电谐振器以和压电谐振器11相同的方法构成。结果，能够通过浮动电极17抑制基波。
图5是解释和本发明的第三实施例有关的压电谐振器的6透视图。
第三较佳实施例的压电谐振器是一种片型压电谐振元件，由图1中所示的较佳实施例的压电谐振器1构成。
即，将示于图5中的外壳基片21和22层叠在压电谐振器1的第一和第二主表面上，其中所述谐振器由要被安装的片型压电谐振元件制成。外壳基片21由绝缘陶瓷(诸如铝土)或绝缘材料(诸如适当的合成树脂)制成。外壳基片大致上为矩形板，并且在其第二主表面上具有凹入部分21a。设置凹形部分21a，以便准备一开口，该开口允许由振动电极3和4构成的振动部分作自由和不受阻碍的振动。
外壳基片22以和外壳基片21相同的方式由适当的绝缘材料构成。
外壳基片22也是接近于矩形的板。在外壳基片22的第一主表面上设置凹入部分22a。设置凹入部分22a，以便准备开口，该开口像凹入部分21a那样允许压电谐振器1的振动部分作自由的振动。
安排端子电极23a到23c，以便从第二主表面延伸到外壳基片22的侧表面的一部分。为了在将较佳实施例的片型压电谐振器安装在印刷电路板上时，电气连接到印刷电路板上的电极焊接区，设置端子电极23a到23c。
端子电极23a和23c藉助于设置在外壳基片22的内部的通孔等等构成的导电路径连接到设置在外壳基片22的第一主表面上的导电粘合剂24a和24b或24c和24d。另外，不用导电粘合剂，可以使用诸如焊料之类的导电结合料。
当把外壳基片21和22连接到压电谐振器1的第一和第二主表面时，绝缘粘合剂覆盖在压电谐振器1的第一和第二主表面上。绝缘粘合剂的覆盖层参照附图6解释。
如图6所示，在压电谐振器1的第一主表面的中间涂敷绝缘粘合剂25，但振动部分和其周围区域。图6中，不涂敷绝缘粘合剂的区域1a具有大致上为矩形的形状，但是区域的形状不限于大致上为矩形的形状，也可以是其它形状。
在压电谐振器1的第二主表面上以类似的方式施加绝缘粘合剂。
在此之后，把图5中所示的外壳基片21和22层叠在压电谐振器1的第一和第二主表面上。在这种情况下，在压电谐振器1的第一和第二主表面一侧，绝缘粘合剂受压并由导电粘合剂24a到24d使之移开，并且导电粘合剂24a和24b连接到引出电极6，并且导电粘合剂24c和24d连接到引出电极5。由此，引出电极和导电粘合剂相互电气连接。
还有，外壳基片25和26连接到压电谐振器1，并且振动部分由覆盖在压电谐振器1的第一和第二主表面上的绝缘粘合剂25封闭。
类似地，浮动电极7也在上述绝缘粘合剂25封闭。
结果，有效避免了浮动电极7到振动电极3和4的短路以及其它的缺点。
另外，因为上述绝缘粘合剂25设置在浮动电极7上，粘剂25能够作为阻尼层。相应地，通过上述绝缘粘合剂25能够进一步抑制泄漏的基波振动。
还有，没有上述浮动电极7，能够抑制泄漏的基波，但是在较佳实施例中，设置上述的浮动电极7，并且浮动电极7阻尼了基波。由此，在离开振动部分更远的地方更有效地抑制了基波。
图7是解释根据本发明的第四较佳实施例的片状压电谐振元件的部件分解透视图。
在本较佳实施例中，外壳基片31和32层叠在图4中所示的压电谐振器的第一和第二主表面上。
还有，外壳基片31和32如上述外壳基片21那样，由适当的绝缘材料制成，并在外壳基片31的第二主表面和外壳基片31的第一主表面上分别设置凹入部分31a和大致上为矩形的凹入部分32a。
还有，设置端子电极33a到33c，以便经外壳基片31的侧表面31b和31c以及第一主表面31d上延伸。设置终端电极34a到34c，以便在外壳基片32的侧表面32b和32c以及第二主表面32c上延伸。在外壳基片31和32被层叠在压电谐振器18的第一和第二主表面上后，通过蒸发、电镀、溅射或其它方法设置。这些端子电极33a到33c和34a到34c。实际上，端子电极33a到33c和34a到34c分别设置在每一个外壳基片31和32上，并且可以在层叠后使用导电粘合剂或导电膏电气连接。
还有，通过将介质基片用于上述外壳基片31和32，在上述端子电极33b和34b、电极33a和34a以及电极33c和34c之间构成电容器，并且可以构成合并有电容的压电振荡器。
图8是解释用于根据较佳实施例的片型压电谐振元件的压电谐振器的透视图。
压电谐振器41基本上以和图4中所示的压电谐振器18的几乎相同的方法构成。即，端子电极3和4分别设置在压电板2的第一主表面2c和第二主表面2d的大致的中心，并且浮动电极17沿第一主表面短边上的边缘设置。实际上，在第五较佳实施例中，如此确定，上述端子电极3和4的直径d、浮动电极17和端子电极3之间的距离G和浮动电极17沿压电板短边长度W，以满足G/d≤0.42W/D≥0.5另外和第四较佳实施例一样第五较佳实施例，由片型压电谐振元件构成，其中，当G/d的比值设定为大约0.42或更小，并且W/d的比值是大约0.5或更大时，把外壳基片31和32层叠在第一和第二主表面上。参照图9和图10，根据具体例子上解释基波被更有效地抑制的原因。
压电谐振器41的一个例子用尺寸大致为3.7×3.1×0.38mm的压电板制造，该压电板由陶瓷(锆钛酸铅)构成。在这种情况下，制成多个压电谐振器，其中，端子电极的直径设定为大约1.2mm，而G/d或W/d的比值有各种变化。关于这种方法得到的压电谐振器，其比值G/d和基波的最大相位之间的关系由图9中的实线A示出，并且比值W/d和基波的最大相位之间的关系由图10中的实线表示。
还有，根据第五较佳实施例的片型压电谐振元件用上述压电谐振器41构成，并且比值G/d和基波的最大相位之间的关系，以及比值W/d和基波的最大相位之间的关系分别由图9和图10中的虚线B和E表示。另外，当构成上述片型压电谐振元件时，把大约6微米厚的环氧树脂覆盖层作为绝缘粘合剂使用，并且浮动电极17由绝缘粘合剂抑制。
另外，除了上述浮动电极17电气连接到设置在第二主表面上的引出电极6上之外，为进行比较，片型压电谐振元件以和较佳实施例的片型压电谐振元件(具有上述浮动电极17)相同的方式形成。关于这些用于比较的例子，比值G/d和基波最大相位之间的关系和比值W/d和基波的最大相位之间的关系分别由C和F示出。
如图9和10中清楚地看到的，当比值G/d是大约0.42或更小时，根据较佳实施例的片型压电谐振元件(它使用带有上述浮动电极17的压电谐振器)可以提供72度或更小的基波最大相位，并且当比值W/d为大约0.5或更大时，可以提供70度或更小的基波最大相位。
相反，在为比较而构成的片型压电谐振元件中，即使改变比值G/d或比值W/d，可以确定基波最大相位明显大于相应的较佳实施例。
另外，在第一较佳实施例、第四较佳实施例和上面提到的修改中，浮动电极不必沿短边边缘延伸，而可以安排在边缘附近。
虽然已经参照本发明的较佳实施例示出和描述了本发明，但熟悉本领域的人将知道，本发明中可以有形式上和细节上的上述和其它的变化，而不背离本发明的主旨。
权利要求
1．一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波的压电谐振器，其特征在于包括包括第一和第二主表面的压电板；分别部分设置在所述压电板的所述第一主表面和第二主表面上的第一和第二振动电极，如此安排所述第一和第二振动电极从而通过所述压电板相互面对；分别电气连接到所述第一和第二振动电极的第一和第二引出电极；及至少一个浮动电极，在所述压电板的所述第一主表面和所述第二主表面中的至少一个主表面上，所述浮动电极沿所述压电板的短边边缘或在其附近设置。
2．如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于在所述至少一个浮动电极上设置由树脂制成的阻尼层。
3．如权利要求1或2所述的压电谐振器，其特征在于外壳基片通过绝缘粘合剂层叠在所述压电板的所述第一主表面和所述第二主表面中的至少一个主表面上，以允许包括所述第一和所述第二振动电极的振动部分自由而不受阻碍地振动。
4．如权利要求1到3之一所述的压电谐振器，其特征在于比值G/d为大约0.42或更小，其中G是所述第一振动电极和所述至少一个浮动电极之间的距离，或所述第二振动电极和所述至少一个浮动电极之间的距离，而d是所述第一振动电极或所述第二振动电极的直径。
5．如权利要求1到4之一所述的压电谐振器，其特征在于比值W/d为大约0.5或更大，其中W是所述至少一个浮动电极沿所述压电板短边的长度，而d是所述第一振动电极或所述第二振动电极的直径。
6．如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于所述至少一个浮动电极是第一浮动电极，并且它位于所述压电板的第一短边边缘，所述压电谐振器还包括位于所述压电板的第二短边边缘处的第二浮动电极。
7．如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于所述至少一个浮动电极由和制成所述第一和第二振动电极的材料相同的材料制成。
8．如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于所述至少一个浮动电极和所述压电板的两条纵向边缘都隔开。
9．如权利要求8所述的压电谐振器，其特征在于所述第一和第二引出电极中的一个电极具有两个分开的延伸部分，所述延伸部分位于所述至少一个浮动电极的两侧。
10．如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于所述第一和第二振动电极大致上为圆形。
全文摘要
一种适合于产生厚度延伸振动模式的三次谐波的压电谐振器,其中基波泄漏出振动部分,并被有效地抑制。压电谐振器包含在压电板中间相互面对的振动电极的振动部分、电气连接到振动电极的引出电极和在压电板的至少一个主表面上沿短边边缘或在其附近设置的浮动电极。
文档编号H03H9/02GK1220518SQ9812552
公开日1999年6月23日 申请日期1998年12月16日 优先权日1997年12月16日
发明者吉田龙平, 轮岛正哉, 坂井健一 申请人:株式会社村田制作所