压电振动构件、压电振动装置及制造压电振动构件的方法
【专利说明】压电振动构件、压电振动装置及制造压电振动构件的方法
[0001]本申请要求于2014年7月25日提交到韩国知识产权局的第10-2014-0094957号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被包含于此。
技术领域
[0002]本发明构思涉及一种压电振动构件、压电振动装置及制造压电振动构件的方法。
【背景技术】
[0003]压电振动装置是一种包括压电振动构件并且产生具有期望频率的振动的装置，当从外部向压电振动构件施加电压时，压电振动构件由于其压电性能而振动。
[0004]压电振动装置提供期望的频率下的稳定的振动，因此，压电振动装置通常在计算机和通信装置以及其它更多核心组件的振荡电路中被使用，以用作信号的基准。
[0005]为此，压电振动构件与压电振动装置之间的结合必须具有足够的强度。虽然压电振动装置需要高的可靠性，但是由于安装压电振动装置的环境的紧凑性导致压电振动构件结合到压电振动装置的区域可能减小，所以将压电振动构件结合到压电振动装置且同时在压电振动构件与压电振动装置之间具有足够的强度会是困难的。
[0006]如下作为现有技术文献提供的专利文献1公开了一个用于提高压电振动构件的耐冲击性的发明。
[0007][现有技术文献]
[0008](专利文献1)第1997-186545号日本专利特许公开
【发明内容】
[0009]本公开中的示例性实施例可提供一种压电振动构件、压电振动装置及制造压电振动构件的方法，能够通过增强压电振动构件与压电振动装置之间的结合力而实现压电振动装置的稳定运转。
[0010]根据本发明构思的一方面，一种压电振动构件可包括:振动基底；结合部和电极部，设置在振动基底的表面上；不平坦结构，突出地设置在结合部上；激励电极，设置在电极部上；端子电极，设置在结合部上，并且电连接至激励电极，其中，不平坦结构的高度与电极部的高度相同。
[0011]根据本发明构思的另一方面，一种压电振动装置可包括压电振动构件、安装部和盖部。所述压电振动构件包括:振动基底；结合部和电极部，设置在振动基底的表面上；不平坦结构，突出地设置在结合部上；激励电极，设置在电极部上；端子电极，设置在结合部上，并且电连接至激励电极，其中，不平坦结构的高度与电极部的高度相同。所述安装部包括:连接电极，设置在安装部的上表面上并电连接至端子电极；外部电极，设置在安装部的下表面上并电连接至连接电极，并且安装部设置在压电振动构件之下。所述盖部设置在安装部和压电振动构件之上，以将压电振动构件与外部环境隔绝。
[0012]根据本发明构思的另一方面，一种制造压电振动构件的方法可包括:制备晶片；在晶片的表面上形成结合部；在晶片的表面上形成电极部；在结合部上形成端子电极；在电极部上形成激励电极，其中，形成电极部的步骤包括形成具有突出形状的不平坦结构。
[0013]此外，可同时执行形成结合部、形成电极部以及形成不平坦结构的步骤，不平坦结构可被形成为具有与电极部的高度相同的高度。
【附图说明】
[0014]通过下面结合附图进行的详细描述，本发明构思的以上和其它方面、特点及其它优点将被更加清楚地理解，附图中:
[0015]图1是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的透视图；
[0016]图2是示出了沿着A-A’线截取的图1中的压电振动构件的剖视图；
[0017]图3是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的透视图；
[0018]图4是示出了沿着B-B’线截取的图3中的压电振动构件的剖视图；
[0019]图5是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的透视图；
[0020]图6是示出了沿着C-C’线截取的图5中的压电振动构件的剖视图；
[0021]图7是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的剖视图；
[0022]图8是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的剖视图；
[0023]图9示出了用于示出根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的透视图和放大视图，图中未示出激励电极和端子电极；
[0024]图10示出了用于示出根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件的透视图和放大视图，图中未示出激励电极和端子电极；
[0025]图11是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动装置的分解视图；
[0026]图12是示出了沿着D-D’线截取的图11中的压电振动装置的剖视图；
[0027]图13A至13E是示出了根据本发明构思的示例性实施例的制造压电振动构件的方法的过程的视图；
[0028]图14是示出了利用在图13E中所示的其上形成有电极部、结合部和不平坦结构的晶片上形成激励电极和端子电极的工艺而制造的激励电极和端子电极的透视图。
【具体实施方式】
[0029]现在将参照附图更详细地描述本发明构思的示例性实施例。
[0030]然而，本发明构思可以以多种不同的形式来实施，并且不应该被解释为受限于在此阐述的具体实施例。更确切地说，提供这些实施例以使本公开将是彻底的和完整的，并且将本发明构思的范围充分地传达给本领域技术人员。
[0031]在附图中，为了清晰，可夸大元件的形状和尺寸，并且将始终使用相同的标号来指示相同或相似的元件。
[0032]将进一步理解的是，除非在此另外指出，当在本发明构思中使用如在此所使用的术语“包括”和/或“具有”时，说明元件的存在，但是不排除一个或更多个其它元件的存在或添加。
[0033]压电振动构件
[0034]以下将描述根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件100。
[0035]图1是示出了根据本发明构思的示例性实施例的压电振动构件100的透视图；图2是示出了沿着A-A’线截取的图1中的压电振动构件100的剖视图。
[0036]参照图1和图2,压电振动构件100包括:振动基底110 ;结合部130以及一个或更多个电极部120,分别设置在振动基底110的表面上；至少一个不平坦结构131，突出地设置在结合部130上；第一激励电极140a和第二激励电极140b，分别设置在电极部120上；第一端子电极150a和第二端子电极150b，设置在结合部130上，并且分别电连接至第一激励电极140a和第二激励电极140b。不平坦结构131的高度与电极部120的高度相同。电极部120可具有突出的形状。
[0037]被包括在压电振动构件100中的振动基底110可包括作为压电材料的具有优良的压电性能的晶体，在这里，这样的晶体可用作稳定的机械振动发生器。
[0038]可将压电振动构件100划分为电极部120和结合部130,在电极部120上分别设置第一激励电极140a和第二激励电极140b，在结合部130上设置第一端子电极150a和第二端子电极150b。第一激励电极140a可被设置在压电振动构件100的一个表面上，以连接至第一端子电极150a。第二激励电极140b可被设置在压电振动构件100的另一个表面上，以连接至第二端子电极150b，其中，压电振动构件100的所述另一个表面面对压电振动构件100的所述一个表面。尽管在图1和图2中未示出，但是当参照图11时，第一端子电极150a和第二端子电极150b可分别连接至第一连接电极211a和第二连接电极211b，第一连接电极211a和第二连接电极211b被设置在将要连接到外部电路(未示出)的压电振动装置200的安装部210中。
[0039]为了将压电振动构件100安装在压电振动装置200上，可将压电振动构件100的第一端子电极150a和第二端子电极150b分别与被设置在压电振动装置2