专利名称：固体摄像装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及固体摄像装置。
背景技术：
对于固体摄像装置，己知具备多个像素部，其分别包含产生与 入射光量对应的量的电荷的光电二极管；和信号处理电路，其输出与 从该多个像素部依次向通用布线输出的电荷量对应的电压。 一维排列 有如此多个像素部的固体摄像装置能够处理CCD (Charge Coupled Device,电荷耦合器件)所无法处理的较大电荷量，又，能够使多个像 素部的排列方向的长度为例如500^im 2mm的较长长度，因此在分光 分析装置、位移计及条形码阅读机等中用作一维影像传感器。
如此构成的固体摄像装置中，将多个像素部与信号处理电路相互 连接的通用布线较长，因此该通用布线的电容较大。又，多个像素部 各自所包含的光电二极管的接合电容也较大。因此，该固体摄像装置 难以实现摄像的高速化。对此，已知有实现摄像的高速化的固体摄像 装置(例如参照非专利文献l)。
非专利文献1所记载的固体摄像装置中，多个像素部分别包含 光电转换电路，其具有产生与入射光量对应的量的电荷的光电二极管， 且将对应于该产生电荷量的电压输出；保持电路，其保持从该光电转 换电路所输出的电压，且将对应于该保持电压的量的电荷依次向通用 布线输出。利用上述结构，从信号处理电路观察时，能够减小多个像 素部各自包含的光电二极管的接合电容，而可以实现摄像的高速化。
非专禾U文献1: K. Hara, et al., "A Linear-Logarithmic CMOS Sensor with Offset Calibration Using an Injected Charge Signal", ISSCC 2005 Dig. Tech. Papers, pp. 354-355 (2005 )
发明内容
发明所要解决的问题然而，如上述非专利文献1所记载的那样的构成的固体摄像装置， 如果像素数增多，则相应地通用布线变长，布线电容变大。从多个像 素部各自的保持电路经由通用布线向信号处理电路传送电荷之时，在 保持电路的电容与布线电容之间出现电荷分配，导致信号处理电路的 输入端的电压降低。为补偿该输入端的电压降低，可以将信号处理电 路的增益增大，然而这样做将导致信号处理电路的处理速度降低。艮P, 如上述非专利文献1所记载的那样的构成的固体摄像装置也难以实现 摄像的高速化与高灵敏度化的并存。
本发明为解决上述问题点，其目的在于提供一种可实现摄像的高 速化与高灵敏度化并存的固体摄像装置。
解决问题的手段
本发明所涉及的固体摄像装置，其特征在于包含(1)多个像素 部，其分别包含光电转换电路和保持电路，上述光电转换电路具有产 生与入射光量对应的量的电荷的光电二极管、且将对应于该产生电荷 量的电压输出，上述保持电路保持从该光电转换电路输出的电压、且 将对应于该保持电压的量的电荷依次输出至通用布线；(2)跨阻电路， 其包含第1放大器、第1电容器及电阻器，第1电容器及电阻器相互 并联连接而设置于第1放大器的输入端子与输出端子之间，第1放大 器的输入端子连接于通用布线；及(3)积分电路，其包含第2放大器、 第2电容器及开关，第2电容器及开关相互并联连接而设置于第2放 大器的输入端子与输出端子之间，第2放大器的输入端子连接于跨阻 电路的第1放大器的输出端子上。
该固体摄像装置中，在各像素部中，对应于光入射而由光电二极 管产生电荷，从光电转换电路输出与该产生电荷量对应的电压。从该 光电转换电路输出的电压由保持电路保持，从保持电路将与该保持电 压对应的量的电荷依次输出至通用布线。从各像素部的保持电路输出 的电荷经由通用布线输入至跨阻电路，从跨阻电路输出具有与该输入 电荷的量对应的脉冲高度的脉冲电流。并且，将从跨阻电路输出的电 流输入积分电路，而从积分电路输出与该输入电流对应的电压。
本发明所涉及的固体摄像装置优选为(1)多个像素部分别包含 第1保持电路及第2保持电路来作为保持电路；(2)作为通用布线，包含连接于第1保持电路的第1通用布线及连接于第2保持电路的第2 通用布线；(3)作为跨阻电路，包含连接于第1通用布线的第1跨阻 电路及连接于第2通用布线的第2跨阻电路；(4)作为积分电路，包 含与第l跨阻电路连接的第1积分电路及与第2跨阻电路连接的第2 积分电路；(5)还包含差分运算电路，其输入从第1积分电路及第2 积分电路分别输出的电压，并输出与该输入的2个电压的差对应的电 压。
在此情况下，由各像素部的第1保持电路所保持的电压经由第1 通用布线、第1跨阻电路及第1积分电路而输入差分运算电路。又， 由各像素部的第2保持电路所保持的电压经由第2通用布线、第2跨 阻电路及第2积分电路而输入差分运算电路。并且，从差分运算电路 输出与从第1积分电路及第2积分电路分别输出的电压之差对应的电 压。在此，由第1保持电路所保持的电压为噪声成分，由第2保持电 路所保持的电压为信号成分，在该信号成分中重叠有噪声成分的情况 下，从差分运算电路输出的电压只是去除噪声成分后的信号成分。己 知在电荷放大器电路中，重置动作结束且打开重置开关后，会产生输 出电压的波动，将其称作重置噪声。光电转换电路中所产生的重置噪 声由上述2个保持电路而去除。
本发明所涉及的固体摄像装置中，优选，保持电路中用以保持电 压的电容器的电容在lpF 2pF的范围内，跨阻电路的第1电容器的电 容在lpF 5pF(更优选为lpF 3pF)的范围内。在此情况下，尤其在实现 摄像的高速化及高灵敏度化方面而优选。
发明的效果
根据本发明，可以实现摄像的高速化和高灵敏度化的并存。
图1为本实施方式所涉及的固体摄像装置1的结构图。。 图2为本实施方式所涉及的固体摄像装置1所包含的各像素部10n 的电路图。
图3为本实施方式所涉及的固体摄像装置1所包含的跨阻电路 20a、 20b、积分电路30a、 30b及差分运算电路40的电路图。图4为表示各像素部10n的保持电路12a、 12b中分别包含的电容 器Cu的电容Ch，与从跨阻电路20a、 20b输出的脉冲信号的峰值到达 时间的关系的图表。
图5为表示各像素部10n的保持电路12a、 12b中分别包含的电容 器C^的电容Ch，与从跨阻电路20a、 20b输出的脉冲信号的脉冲高度 的关系的图表。
符号说明 1固体摄像装置 10广10n像素部 11光电转换电路 12a, 12b保持电路 13 积分电路 20a，20b跨阻电路 30a，30b积分电路 40 差分运算电路 50a，50b通用布线 90 控制部 PD 光电二极管
具体实施例方式
以下，参照附图，对用于实施本发明的最佳方式进行详细说明。 在此，在图的说明中对相同要素标记相同符号，并省略重复说明。
图1为本实施方式所涉及的固体摄像装置1的结构图。该图所示 的固体摄像装置l具备N个像素部10广10w、第l跨阻电路20a、第 2跨阻电路20b、第1积分电路30a、第2积分电路30b、差分运算电 路40及控制部90。在此，N为2以上的整数，以下所出现的n为1以 上N以下的整数。
N个像素部IO广IOM具有通用结构，并一维排列，包含产生与入射 光量对应的量的电荷的光电二极管。各像素部10n具有2个输出端，其中一个输出端连接于第1通用布线50a，另一个输出端连接于第2通用布线50b。
跨阻电路20a及跨阻电路20b具有通用结构。跨阻电路20a的输入端连接于通用布线50a。跨阻电路20b的输入端连接于通用布线50b。
积分电路30a及积分电路30b具有通用结构。积分电路30a的输入端经由电阻器60a而与跨阻电路20a的输出端连接。积分电路30b的输入端经由电阻器60b而与跨阻电路20b的输出端连接。
差分运算电路40具有2个输入端，其中一个输入端与积分电路30a的输出端连接，另一个输入端与积分电路30b的输出端连接。差分运算电路40输入从积分电路30a及积分电路30b分别输出的电压，并输出与该输入的2个电压的差对应的电压。
图2为本实施方式所涉及的固体摄像装置1所包含的各像素部10n的电路图。各像素部lOn包含光电转换电路11、第1保持电路12a及第2保持电路12b。保持电路12a及保持电路12b具有通用结构。
光电转换电路11是PPS (Passive Pixel Sensor,被动像素传感器)方式电路，其具有产生与入射光量对应的量的电荷的光电二极管PD;输出与该产生电荷量对应的电压的积分电路13;以及设置于光电二极
管PD与积分电路13之间的开关SWU。积分电路13具有放大器A13、电容器<:13及开关SW13。光电二极管PD的阳极端子接地，光电二极管PD的阴极端子连接于开关SWU。积分电路13所包含的放大器A13的反相输入端子经由开关SWu连接于光电二极管PD的阴极端子。向积分电路13所包含的放大器Ai3的非反相输入端子输入有固定的参考电压Vref。电容器C13及开关SW13相互并联连接，并设置于放大器A13的反相输入端子与输出端子之间。
该光电转换电路11所包含的积分电路13中，通过关闭开关SW13，而使电容器Cu放电，将从积分电路13输出的电压初始化。如果开关SWu打开而开关SWu关闭，则与向着光电二极管PD的光入射对应地积蓄于该接合电容部的电荷经由开关SWn输入至积分电路13中，并积蓄在电容器Cn中。并且，从积分电路13输出与该电容器Q3中所积蓄的电荷量对应的电压。保持电路12a、 12b分别是保持从光电转换电路11输出的电压，且将对应于该保持电压的量的电荷向通用布线输出的电路，具有电容器Cu、开关SWt及开关SW2。各保持电路12a、 12b中，电容器d2的一端接地，电容器C12的另一端经由开关SW,而连接于积分电路13的放大器A,3的输出端子。保持电路12a中，电容器d2的另一端经由开关SW2而连接于通用布线50a。保持电路12b中，电容器Cu的另一端经由开关SW2而连接于通用布线50b。
该保持电路12a、 12b中，通过打开开关SWp而将至此为止从光电转换电路11输出的电压保持于电容器C,2中。并且，如果开关SW2关闭，则将与保持于电容器C12中的电压对应的量的电荷输出至通用布线50a、 50b。再者，保持电路12a、 12b以相互不同的时序动作。艮P，在光电转换电路11所包含的积分电路13中，从开关SWu关闭时至刚打开(时刻tl)， 一个保持电路12a保持从积分电路13输出的初始电压(噪声成分)。取得初始电压时，如果预先打开连接于光电二极管PD的开关SWu，则保持积分电路13的噪声成分，如果预先关闭开关SWu，则除积分电路13的噪声成分之外，也保持由入射至光电二极管PD的背景光等所引起的噪声成分。在时刻tl，在保持电路12a的开关SW2打开的状态下关闭开关SWp其后，也迅速打开开关SW,(时刻t2)，在保持电路12a的电容器C12中保持电荷。
紧接时刻t2，开关SW 处于连接状态，在保持电路12b的开关SW2打开的状态下关闭SW,(时刻t3)，在保持电路12b的电容器Cu中积蓄电荷。即，在对应于光入射而由光电二极管PD所产生的电荷积蓄于积分电路13的电容器C13中之时，另一个保持电路12b保持从积分电路13输出的电压(信号成分)。再者，该信号成分中，除积分电路13;的噪声成分之外，也重叠有由入射至光电二极管PD的背景光等引起的噪声成分。
图3为本实施方式所涉及的固体摄像装置1所包含的跨阻电路20a、 20b,积分电路30a、 30b及差分运算电路40的电路图。
跨阻电路20a、 20b分别包含放大器A加、电容器C加及电阻器R20。跨阻电路20a的放大器A2。的反相输入端子连接于通用布线50a。跨阻电路20b的放大器A2Q的反相输入端子连接于通用布线50b。在各跨阻电路20a、 20b中，向放大器A2o的非反相输入端子输入固定的参考电压Vref。又，电容器C加及电阻器R2。相互并联连接，设置于放大器
A20的反相输入端子与输出端子之间。
一个跨阻电路20a中，像素部10n所包含的保持电路12a的开关SW2关闭时(时刻t4)，与该保持电路12a的电容器d2中所保持的电压对应的量的电荷经由通用布线50a而输入，将具有与该输入的电荷的量对应的脉冲高度的脉冲电流向积分电路30a输出。另一个跨阻电路20b中，像素部10n所包含的保持电路12b的开关SW2关闭时(时刻t4)，与该保持电路12b的电容器d2中所保持的电压对应的量的电荷经由通用布线50b而输入，将具有与该输入的电荷的量对应的脉冲高度的脉冲电流向积分电路30b输出。
积分电路30a、 30b分别包含放大器A3。、电容器C3。及开关SW30。积分电路30a的放大器A3。的反相输入端子经由电阻器60a而连接于跨阻电路20a的输出端。积分电路30b的放大器A3()的反相输入端子经由电阻器60b而连接于跨阻电路20b的输出端。在各积分电路30a、 30b中，向放大器A3。的非反相输入端子输入固定的参考电压Vref。又，电
容器Q。及开关SW3o相互并联连接，设置于放大器A3。的反相输入端
子与输出端子之间。
在各积分电路30a、 30b中，通过使开关SW3。关闭，而使电容器C3o放电，将从积分电路30a、 30b输出的电压初始化。在一个积分电路30a中，如果将开关SW3。打开，则从跨阻电路20a输出的电流经由电阻器60a而输入，并将与该输入电流对应的量的电荷积蓄于电容器C3o中，从积分电路30a输出与该电容器C3o中积蓄的电荷的量对应的电压。在另一个积分电路30b中，如果将开关SW3o打开，则从跨阻电路—20b输出的电流经由电阻器60b而输入，将与该输入的电流对应的量的电荷积蓄于电容器Qo中，从积分电路30b输出与该电容器C30中。积蓄的电荷的量对应的电压。
在具有与从跨阻电路20a、 20b分别输入的电荷的量对应的脉冲高度的脉冲电流分别向积分电路30a、 30b输入的情况下，可以将开关SW3o打开，但在输入前，要将开关SW3C关闭一次而重置各个电容器C30。在此，在本实施方式中使用开关SW30，但也可考虑使用电阻器，
但在使用电阻器的情况下，经过积分而积蓄于电容器C3Q的电荷会通过电阻器而放电，导致随着时间推移，从积分电路30b输出的电压变小。如本实施方式所示，如果使用开关，则积蓄于电容器的电荷并不会放电，相应地可获得较高的增益。
差分运算电路40包含放大器A^及电阻器R^ R44。放大器A40的
反相输入端子经由电阻器Rn而连接于积分电路30a的输出端，经由电
阻器R42而连接于放大器A4Q的输出端子。放大器A40的非反相输入端子经由电阻器R43而连接于积分电路30b的输出端，经由电阻器R44而
接地。该差分运算电路40中，将电阻器R^、 R43的电阻值都设为Ri，将电阻器R42、 R44的电阻值都设为R2，将积分电路30a的输出电压设为Va,将积分电路30b的输出电压设为Vb，则从放大器A4o的输出端子输出的电压Vout以下述式(1)表示。如该式所示，从差分运算电路40输出的电压Vout是将积分电路30a的输出电压Va与积分电路30b的输出电压Vb之差(Vb-Va)乘以增益(R2/R4)之值。Vout=- (Vb-Va) R2/R4 …(1)
控制部90输出控制各像素部10n的光电转换电路11所包含的开关SWu及开关SWu的开关动作的信号，且输出控制各像素部10n的保持
电路12a及保持电路12b分别包含的开关SWi及开关SW2的开关动作的信号，又，输出控制积分电路30a及积分电路30b所分别包含的开关SW30的开关动作的信号。本实施方式所涉及的固体摄像装置1基于从该控制部90所输出的控制信号而动作。
本实施方式所涉及的固体摄像装置1的动作的一例如下所示。再者，以下所说明的动作例是基于从控制部90所输出的控制信号。
在像素部10n中，通过使积分电路13的开关SWu关闭，而使电容器Cu放电，并将从光电转换电路11输出的电压初始化。进而，在积分电路13的开关SWu打开的瞬间，变为可进行积分的状态，从积分电路13产生包含噪声的初始电压。其后，通过打开再关闭保持电路12a的开关SWp而将此时从光电转换电路11输出的初始电压(噪声成分)保持于保持电路12a的电容器C12中。继而，在相同像素部10n中，如果积分电路13的开关SW,3打开后，
开关SW 关闭，则对应于向着光电二极管PD的光入射而积蓄于该接 合电容部中的电荷经由开关SW 而输入至积分电路13，并积蓄于电容 器Cu中。并且，从积分电路13输出与该电容器d3中所积蓄的电荷 的量对应的电压。其后，通过打开再关闭保持电路12b的开关SWp 而将此时从光电转换电路11输出的电压(信号成分+噪声成分)保持 于保持电路12b的电容器C12中。
在像素部10n中，如以上所示，如果在保持电路12a中保持有初始 电压(噪声成分)，而在保持电路12b中保持有电压(信号成分+噪声 成分)，则其后，保持电路12a、 12b的各个开关SW2同时只关闭一定 期间。
在像素部10n的保持电路12a的开关SW2关闭的一定期间内，与 保持电路12a所保持的电压(噪声成分)对应的量的电荷经由通用布 线50a而输入至跨阻电路20a中，并从跨阻电路20a输出具有与该输入 的电荷的量对应的脉冲高度的脉冲电流。从跨阻电路20a输出的脉冲 电流经由电阻器60a而输入至积分电路30a中。并且，在积分电路30a 的电容器C3Q中积蓄与输入电流对应的量的电荷，从积分电路30a输出 与积蓄于该电容器Qo中的电荷的量对应的电压(噪声成分)Va。
同样，在像素部10n的保持电路12b的开关SW2关闭的一定期间 内，与保持电路12b所保持的电压(信号成分+噪声成分)对应的量的 电荷经由通用布线50b而输入至跨阻电路20b中，并从跨阻电路20b 输出具有与该输入电荷量对应的脉冲高度的脉冲电流。从跨阻电路20b 输出的脉冲电流经由电阻器60b而输入至积分电路30b中。并且，在 积分电路30b的电容器C3Q中积蓄与输入电流对应的量的电荷，且从积 分电路30b'输出与积蓄于该电容器C3Q中的电荷的量对应的电压(信号 成分+噪声成分)Vb。
将从积分电路30a输出的电压(噪声成分)Va、及从积分电路30b 输出的电压(信号成分+噪声成分)Vb输入至差分运算电路40中。并 且，从差分运算电路40输出以上述式(1)所示的电压Vout。
如上所述像素部10n的一系列动作结束后，则下一个像素部10n+1 也进行相同的动作。如此，N个像素部10广10N依次进行同样的动作，并从差分运算电路40依次输出电压Vout，该电压Vout对应于向着N 个像素部10广10N各自包含的光电二极管PD的入射光量。
本实施方式所涉及的固体摄像装置1中，在各像素部10n中，从光
电转换电路11输出与光电二极管PD所产生的电荷的量对应的电压， 且该电压由保持电路12a、 12b保持。因此，即使各像素部10n所包含 的光电二极管PD的接合电容较大，也可以防止摄像速度的恶化。
各像素部10n的保持电路12a与跨阻电路20a之间的通用布线50a 连接于跨阻电路20a所包含的放大器A2Q的反相输入端子，保持为与电 压Vref相同的固定电压，该电压Vref是输入至与该反相输入端子存在 虚短路关系的放大器A20的非反相输入端子的电压。同样，各像素部 10n的保持电路12b与跨阻电路20b之间的通用布线50b也保持为固定 电压。因此，即使像素数N增多，通用布线50a、 50b变长，也可以防 止跨阻电路20a、 20b的输入端中的电压降低，因而无须增大差分运算 电路40的增益(R2/R》，因此，该方面也可以防止摄像速度的恶化。
从差分运算电路40输出的电压Vout是积分电路30a的输出电压 (噪声成分)Va与积分电路30b的输出电压(信号成分+噪声成分)Vb 之差(Vb-Va)乘以增益(R2/R。之值。又，该差(Vb-Va)对应于保 持电路12a、 12b分别所保持的电压之差。因此，从差分运算电路40 输出的电压Vout由于去除积分电路13的输出电压所包含的偏移及重置 噪声、背景光等噪声成分而变为高精度。
又， 一般而言，跨阻电路20a、 20b为宽带域，因而输出信号中易 于重叠热噪声成分。然而，来自跨阻电路20a、 20b的输出信号中，高 频成分由积分电路30a、 30b所截断，因而来自积分电路30a、 30b的 输出信号会降低热噪声成分。
再者，在实 a摄像的高速化方面，优选，跨阻电路20a、 20b分别 包含的电容器C2Q的电容Cf与电阻器R2C的电阻值Rf之积(C界f)较小。 又，在实现摄像的高速化方面，优选，各像素部10n的保持电路12a、 12b分别包含的电容器C12的电容Ch，与跨阻电路20a、 20b分别包含 的电容器C2Q的电容Cf之比(Ch/Cf)也较小。进而，在实现摄像的高 灵敏度化方面，优选，跨阻电路20a、 20b分别包含的电阻器R2o的电阻值Rf较大。因此，该参数值中具有在实现摄像的高速化及高灵敏度 化方面特别优选的范围。
图4为表示各像素部10n的保持电路12a、 12b分别包含的电容器 (312的电容(保持电容)Ch，与从跨阻电路20a、 20b输出的脉冲信号 的峰值到达时间的关系的图表。又，图5为表示各像素部10 的保持电 路12a、 12b分别包含的电容器C,2的电容(保持电容)Ch，与从跨阻 电路20a、 20b输出的脉冲信号的脉冲高度(输出电压值)的关系的图 表。该图中表示以下3种情况对于跨阻电路20a、 20b分别包含的电 容器C2。的电容Cf及电阻器R2。的电阻值Rf， Cf为2pF且Rf为lkD的 情况，Cf为lpF且Rf为lkH的情况，以及Cf为2pF且Rf为500Q的 情况。
根据该图判定，即使表示跨阻电路20a、20b的时间常数之积(QRf) 相同，电容器C20的电容Cf越大，则峰值到达时间越短(摄像速度越 快)，输出脉冲信号的脉冲高度越低(灵敏度恶化)。根据其它各种条 件下所模拟的结果得知，在实现摄像的高速化及高灵敏度化方面，优 选，各像素部10n的保持电路12a、 12b分别包含的电容器d2的电容 Ch在lpF 2pF的范围内，优选，跨阻电路20a、 20b分别包含的电容器 C2o的电容Cf在lpF 5pF(更优选为lpF 3pF)的范围内。在该范围内时， 较之其它情况，能够实现高速化及高灵敏度化。
本发明并不限于上述实施方式，可以有各种变形。例如，各像素 部10n所包含的光电转换电路11在上述实施方式中为PPS方式，但也 可以为APS (Active Pixel Sensor,主动像素传感器)方式。
权利要求
1.一种固体摄像装置，其特征在于，包含多个像素部，其分别包含光电转换电路和保持电路，所述光电转换电路具有产生与入射光量对应的量的电荷的光电二极管，且将与该产生电荷量对应的电压输出，所述保持电路保持从该光电转换电路输出的电压，且将与该保持电压对应的量的电荷依次输出至通用布线；跨阻电路，其包含第1放大器、第1电容器及电阻器，所述第1电容器及所述电阻器相互并联连接而设置于所述第1放大器的输入端子与输出端子之间，所述第1放大器的输入端子连接于所述通用布线；以及积分电路，其包含第2放大器、第2电容器及开关，所述第2电容器及所述开关相互并联连接而设置于所述第2放大器的输入端子与输出端子之间，所述第2放大器的输入端子连接于所述跨阻电路的所述第1放大器的输出端子上。
2. 如权利要求l所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述多个像素部分别包含第1保持电路及第2保持电路作为所述保持电路；包含连接于所述第1保持电路的第1通用布线及连接于所述第2 保持电路的第2通用布线作为所述通用布线；包含连接于所述第1通用布线的第1跨阻电路及连接于所述第2 通用布线的第2跨阻电路作为所述跨阻电路；包含与所述第1跨阻电路连接的第1积分电路及与所述第2跨阻 电路连接的第2积分电路作为所述积分电路；>还包含差分运算电路，其输入从所述第1积分电路及所述第2积 分电路分别输出的电压，并输出与该输入的2个电压之差对应的电压。
3. 如权利要求l所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述保持电路中用以保持电压的电容器的电容在lpF 2pF的范围内。
4.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述跨阻电路的所述第1电容器的电容在lpF 5pF的范围内。
全文摘要
本发明的固体摄像装置(1)包含N个像素部(10<sub>1</sub>～10<sub>N</sub>)、跨阻电路(20a、20b)、积分电路(30a、30b)、差分运算电路(40)。各像素部10<sub>n</sub>包含具有光电二极管的光电转换电路、保持该光电转换电路的输出电压的第1保持电路及第2保持电路。各像素部10<sub>n</sub>的由第1保持电路所保持的电压经由通用布线(50a)、跨阻电路(20a)及积分电路(30a)而输入差分运算电路(40)。又，各像素部10<sub>n</sub>的由第2保持电路所保持的电压经由通用布线(50b)、跨阻电路(20b)及积分电路(30b)而输入差分运算电路(40)。从差分运算电路(40)输出与从积分电路(30a、30b)各自输出的电压差对应的电压。
文档编号H04N5/3745GK101632297SQ20078005183
公开日2010年1月20日 申请日期2007年2月28日 优先权日2007年2月28日
发明者水野诚一郎, 船越晴宽 申请人:浜松光子学株式会社