专利名称：紧密接触型曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种紧密接触型曝光装置。
背景技术：
广泛应用于各个领域的光刻法(photolithographic method)，是在涂布有光致抗蚀剂(photo resist)等感光材料的基板表面上通过曝光装置来感光烧成预定的图形，然后通过蚀刻(etching)工艺在基板上形成图形，近年来印刷电路基板(printed circuit board(s))也使用曝光装置来制造。
在该曝光装置中，为了在曝光时使描画有图形原样的光掩模(photomask)与印刷基板的紧密接触性提高，广泛采用将两者之间抽成真空使其紧密接触的真空紧密接触法，而使用该方法的曝光装置称为紧密接触型曝光装置。但是，在紧密接触型曝光装置中，存在难以使光掩模和印刷基板完全均匀地紧密接触的问题。光掩模由玻璃制成，或者，将应曝光电路等描画在光掩模薄膜(photo mask film)上，然后由贴附有该光掩模薄膜(photo mask film)的玻璃或者树脂板构成，但是，当通过真空压力使光掩模与印刷电路基板接触时，未与印刷电路基板接触的光掩模的周缘部发生弯曲，从而其结果是有可能产生印刷电路基板与光掩模接触不良的部分。该接触不良会导致曝光时的析像不良。
为了防止该问题，以往采用利用胶带等在基板的周围粘贴多个间隔(spacer)片的方法，或者是将间隔片的脚部插入抽气孔而固定(文献1)的方法等来进行配置，从而能够通过该间隔片来抑制光掩模的变形。
专利文献1日本特开2001-42543但是由于通过胶带粘贴多个间隔片或者将多个间隔片的脚部插入抽气孔的作业烦琐，存在安装或取下作业费时的问题。特别是由于需要按照基板的厚度和大小来更换间隔片，这种情况下就需要花费时间来进行更换作业。
发明内容
本发明目的在于解决上述现有技术问题。
为了实现上述目的，本发明的紧密接触型曝光装置具有放置印刷电路基板的工作台(platen)；描画有应曝光图形并用于与印刷电路基板接触而曝光该图形的光掩模；对所述光掩模和印刷电路基板之间进行密封的装置；以及对所述光掩模和印刷电路基板之间进行抽气的抽气装置，该紧密接触型曝光装置的特征在于，具有框体，该框体为围绕所述印刷电路基板的形状，并且其厚度与印刷电路基板的厚度基本相同，该框体以围绕所述印刷电路基板的方式且在所述密封装置的内侧放置于所述工作台上。
在上述结构中，光掩模在通过框体与印刷电路基板紧密接触时不会产生变形，能够提高光掩模和印刷电路基板的紧密接触性，从而能够进行良好的曝光。并且由于框体是一体的单一部件，所以装卸简单，从而能够进行自动搬运和自动更换。优选使该框体构成为能够通过吸附装置可装卸地进行固定的结构，这样通过该结构能够实现更加简单地进行安装和更换等的效果。
框体的厚度与印刷电路基板的厚度相同，或者厚0～+0.1mm。根据条件也可以与基板相差-0.2～+0.2mm。
在将所述框体安装于基板周围时，可能会阻碍对框体内侧空间的抽气。因此，优选设置使所述框体的内侧和外侧连通的连通通路，从而能够有效地进行对框体内侧空间的抽气。该流通通路在优选实施例中，在与所述工作台接触的框体背面侧采用使框体的内侧和外侧连通的流通槽。另外，该流通槽也可以设置于工作台侧。所述抽气装置的抽气口优选设置于所述密封装置的内侧且位于所述框体外侧，在从该抽气口对框体的外侧进行抽气的同时，通过所述流通通路也能够对框体的内侧进行抽气。
另外，在无法形成框体时，也可以构成为在印刷电路基板的两侧放置的平板。此时，特征在于，具有座板，放置在所述工作台上，并且所述印刷电路基板放置于该座板上；一对平板，其厚度与印刷电路基板的厚度基本相同，并配置于放置在该座板上的印刷电路基板的两侧；以及在所述工作台上可装卸地固定该座板的吸附装置。
在该结构中，由于平板与座板一体地通过吸附装置可装卸地进行固定，因此能够简单地进行安装、更换等。
根据本发明的紧密接触型曝光装置，能够提高光掩模与印刷电路基板的紧密接触性，进行良好的曝光。并且由于框体是一体的单一部件，因此装卸简单，能够进行自动搬运和自动更换。
图1是表示本发明一实施方式的概略图。
图2是表示本发明一实施方式的俯视图。
图3是表示本发明一实施方式的侧视图。
图4是本发明一实施方式的动作说明图。
图5是图4的局部放大图。
图6是表示本发明另一实施方式的俯视图。
图7是表示本发明另一实施方式的侧视图。
标号说明1、光掩模；2、基板；3、框体；4、密封垫；5、抽气装置；7、座板；10、光掩模支撑装置；20、工作台；21、移动机构；30、流通槽；35、间隙；40、密封空间；50、抽气通路；51、抽气泵；52、抽气口；55、吸附通路；56、吸附口；70、间隔部；71、吸附孔；90、曝光光源；91、CCD照相机；99、控制装置具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是用于制造印刷电路基板的紧密接触型曝光装置，其中涂布了光致抗蚀剂的印刷电路基板2放置于工作台20上，并能够通过移动机构21向XYZ和方向移动。
描画有电路图形的光掩模1被光掩模支撑装置10支撑成在基板2的上方与基板2相对，然后，使基板2接近光掩模1，并在光掩模1和基板2之间进行抽气使它们紧密接触，再通过来自曝光光源90的曝光在基板2上烧出光掩模1的电路图形。
光掩模1为玻璃掩模(glass mask)，其直接描画有电路图形或者贴附有描画了电路图形的薄膜掩模。
另外，使用CCD照相机91来进行光掩模1和基板2的定位。
并且，控制装置99对装置整体进行控制。
另外，可以构成为不使工作台20移动而使光掩模支撑装置10移动，也可以构成为使两者移动。
如图2所示，在工作台20上的、放置基板2的部分的周围安装有密封垫(packing)4。该密封垫4配置于放置电路板2的部分的周围，并对光掩模1和电路板2之间的空间进行密封(seal)，形成图3所示的密封空间40。
该密封而成的密封空间40被构成为通过抽气通路50和具有抽气泵51的抽气装置5进行抽气。
抽气通路50形成在工作台20中，并且，如图3所示，在工作台20的表面上具有在密封垫4的内侧开口的抽气口52。通过该抽气口52和抽气通路50以及抽气泵51，对由密封垫4密封的密封空间40进行抽气，从而使光掩模1紧密接触在印刷电路基板2上。
在基板2的外侧周围还装有框体3。框体3为板状的框，并且其内侧具有能够收纳印刷电路基板2且空出预定的间隙35的大小。框体3的厚度如上所述与印刷电路基板2基本相同，或者也可以厚0～+0.2mm。另外，框体3的材质是具有与印刷基板同等以上硬度的材质，考虑到加工性和搬运性等而优选不锈钢。另外，在印刷基板较厚、框体3较厚的情况下，使用丙稀、PET、氯乙烯等树脂，从而能够实现轻量化。
如图2和图3所示，在工作台20中还形成有吸附通路55和吸附口56，从而能够进行基板2与框体3的吸附固定。即，框体3放置在工作台20上，该框体3通过在其下侧开口的吸附口56和吸附通路55而在抽气装置5的抽气作用下被可装卸地吸附在工作台20上。吸附口56如图2所示配设在与框体3的基本为框形的整个面相当的位置上，从而能够可靠地进行吸附固定。
另外，印刷电路基板2也同样地通过吸附口56和吸附通路55而在抽气装置5的抽气作用下被吸附在工作台20上。
抽气通路50和吸附路55为不同回路，它们能够分别进行抽气。既可以使用共同的抽气泵51，也可以分别安装泵。
由于框体3是一体的，因此能够如上所述通过吸附而可靠固定。
在框体3的背面、工作台20侧的面上形成有流通槽30，从而能够有效地对框体30和基板2之间形成的间隙35进行抽气。
在如本发明那样通过框体3围绕基板2的情况下，如图4和图5所示，在光掩模1和基板2紧密接触时，间隙35成为封闭空间而变成不能够从抽气口52进行抽气的状态。因此，通过流通槽30使框体3的内侧(间隙35)和外侧连通，从而能够可靠地进行对间隙35的抽气，进而能够可靠地进行光掩模1和基板2的紧密接触。
如图2所示，在本实施方式中，流通槽30设置于四个位置，但是也可以根据需要增减。
另外，流通槽30也可以形成于工作台20侧。
另外，框体3的大小和厚度也可以根据印刷电路基板2而变更。并且，框体3的安装和更换也能够通过搬运印刷电路基板2的搬运手进行。另外，也可以设置专用的搬运装置，还可以通过人手进行。
在任何情况下，由于框体3为一体并且放置在工作台20上，并能够通过抽气装置5的抽气进行吸附，因此易于进行安装和更换。
对动作进行说明。
在吸附于工作台20上的框体3中，通过搬运手(未图示)等对印刷电路基板2进行放置，然后对其吸附固定。
控制装置99在通过移动机构21完成了光掩模1和印刷电路基板2的定位等预定处理后，控制移动机构21使工作台20向上方移动，使光掩模1与基板2接近，并在两者紧密接触的位置停止。
使移动机构21的移动停止后，控制装置99控制抽气泵51开始抽气。通过该抽气使光掩模1和基板2之间的密封空间40成为负压状态，并且通过流通槽30能够对间隙35也可靠地进行抽气，从而使光掩模1和基板2可靠地紧密接触。
此时，不与印刷电路基板2接触的光掩模1的周缘部和具有与印刷电路基板2基本相同厚度的框体3接触，因此光掩模1不会产生弯曲，从而能够良好地进行印刷电路基板2和光掩模1的紧密接触。
在光掩模1和基板2紧密接触后，从曝光光源90照射曝光光，从而在基板2上烧出光掩模1的电路图形，然后结束曝光并移动至下一工序。
图6和图7表示另一实施方式。
该实施方式用于无法形成框体3的情况。
座板7被放置在工作台20上，并在座板7的两侧贴附固定有一对间隔部70。在该间隔部70之间放置有印刷电路基板2。
在座板7的印刷电路基板2放置部分上设有多个吸附孔71，所述吸附孔71与在所述工作台20上开口的吸附口56连通，从而进行对印刷电路基板2的吸附。
座板7自身也与框体3的情况相同，通过吸附口56而由抽气装置5进行吸附。
权利要求
1.一种紧密接触型曝光装置，其具有放置印刷电路基板的工作台；描画有应曝光图形并用于与印刷电路基板接触而曝光该图形的光掩模；对所述光掩模和印刷电路基板之间进行密封的密封装置；以及对所述光掩模和印刷电路基板之间进行抽气的抽气装置，其特征在于，所述紧密接触型曝光装置具有框体，该框体为围绕所述印刷电路基板的形状，并且其厚度与印刷电路基板的厚度基本相同，该框体以围绕所述印刷电路基板的方式且在所述密封装置的内侧放置于所述工作台上。
2.如权利要求1所述的紧密接触型曝光装置，其中，还具有使所述框体的内侧和外侧连通的流通通路。
3.如权利要求2所述的紧密接触型曝光装置，其中，所述流通通路是在与所述工作台接触的框体侧的面上形成的流通槽。
4.如权利要求2所述的紧密接触型曝光装置，其中，所述流通通路是在与所述框体接触的工作台侧的面上形成的流通槽。
5.如权利要求2所述的紧密接触型曝光装置，其中，所述抽气装置具有抽气口，所述抽气口在所述密封装置内侧且位于所述框体外侧，所述抽气装置在对框体的外侧进行抽气的同时，通过所述流通通路也对框体的内侧进行抽气。
6.如权利要求1或2所述的紧密接触型曝光装置，其中，还具有将该框体可装卸地固定于所述工作台上的吸附装置。
7.一种紧密接触型曝光装置，其具有放置印刷电路基板的工作台；描画有应曝光图形并用于与印刷电路基板接触而曝光该图形的光掩模；对所述光掩模和印刷电路基板之间进行密封的装置；以及对所述光掩模和印刷电路基板之间进行抽气的抽气装置，其特征在于，所述紧密接触型曝光装置具有座板，其放置在所述工作台上，并且所述印刷电路基板放置于该座板上；一对平板，其厚度与印刷电路基板的厚度基本相同，并配置于放置在该座板上的印刷电路基板的两侧；以及在所述工作台上可装卸地固定该座板的吸附装置。
全文摘要
本发明提供一种光掩模与基板的紧密接触性高的紧密接触型曝光装置。在基板(2)的外侧周围安装框体(3)并通过吸附口(56)吸附固定。通过框体(3)提高光掩模和基板的紧密接触性。此外由于框体(3)是一体的，所以通过吸附而能够可靠固定，并且装卸简单易行，也是为进一步自动化做的准备。在框体(3)的背面形成有流通槽(30)，以便对框体(3)和基板(2)之间形成的间隙(35)进行抽气，从而能够可靠地进行光掩模(1)和基板(2)的紧密接触。
文档编号H05K3/00GK1987655SQ20061011067
公开日2007年6月27日 申请日期2006年8月7日 优先权日2005年12月22日
发明者五十岚晃, 田口阳介 申请人:株式会社阿迪泰克工程