专利名称：单晶炉籽晶原点开关装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉籽晶原点开关装置。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重 要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，需要用到籽晶原点开关装置使籽晶恢复原点，以便于计算 单晶硅晶体的长度。现有的一般的籽晶原点开关装置，都是采用硬性的机械动作来实现的， 易产生原点开关失灵、复位迟缓等问题，容易造成测量单晶硅晶体的长度不准确、籽晶绳损 坏等现象；同时在籽晶原点开关的安装过程中，还可以通过籽晶原点开关装置调节籽晶部 件的水平度，保证籽晶部件旋转的精度，进而保证单晶硅晶体的品质。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉籽晶原点开关装置，该装置中 的真空法兰为可伸缩的波纹管真空法兰，通过波纹管自身的弹性变形确保真空密封情况下 的连接和调整。本实用新型是这样实现的一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰 和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑 柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，所述真空法兰 为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽 晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。所述的光电传感器包括一对小法兰、一对透明玻璃、一对传感器支架、光电开关发 射器和光电开关接收器，所述的小法兰中心对称安装在法兰座的侧面上，透明玻璃安装在 小法兰内，传感器支架固定在小法兰上，其中一个传感器支架上安装光电开关发射器，另一 个传感器支架上安装光电开关接收器。本实用新型在使用时光电开关发射器发出的光信号被籽晶夹头遮挡后，光电开关 接受器产生电信号，确认原点到位；通过自动化控制，实现了精确的原点复位功能，彻底解 决了原手动作业产生的原点复位精度低、可靠性差的问题。在本实用新型中真空法兰采用 带伸缩的波纹管，通过波纹管自身的弹性变形确保真空密封情况下的连接和调整，降低安 装难度，然后再利用调节螺母，实现了快捷的籽晶部件水平调节，从而保证籽晶部件旋转的 精度。
图1为本实用新型单晶炉籽晶原点开关装置结构示意图。[0009]图中1炉顶盖、2法兰座、3透明玻璃、4小法兰、5传感器支架、6真空法兰、7支撑柱、8籽晶部件、9调节螺母、10籽晶绳、11光电开关发射器、12光电开关接受器、13籽晶夹 头。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。如图1所示，一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座2、真空法兰6和支撑柱 7 ；所述法兰座2固定在单晶炉的炉顶盖1上，所述支撑柱7的下端固定在炉顶盖1上，支撑 柱7的上端通过调节螺杆与籽晶部件8相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母9，通过调整 支撑柱7上的调节螺母9来调整籽晶部件8的水平；所述法兰座2的侧面安装有光电传感 器，精确测量原点位置，所述真空法兰6为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰6通过自身的弹 性变形实现确保真空密封情况下的连接和调整，降低安装难度，真空法兰6的下端安装在 法兰座2的上端，真空法兰6的上端安装在籽晶部件8上。本实用新型还可以进一步描述为，所述的光电传感器包括一对小法兰4、一对透明 玻璃3、一对传感器支架5、光电开关发射器11和光电开关接收器12，所述的小法兰4中心 对称安装在法兰座2的侧面上，透明玻璃3安装在小法兰4内，传感器支架5固定在小法兰 4上，其中一个传感器支架5上安装光电开关发射器11，另一个传感器支架5上安装光电开 关接收器12。工作时籽晶夹头13夹住籽晶绳10移动，当光电开关发射器11发出的光信号 被籽晶夹头13遮挡后，光电开关接受器12产生电信号，确认原点到位。
权利要求一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，其特征是所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。
2.如权利要求1所述的单晶炉籽晶原点开关装置，其特征是所述的光电传感器包括 一对小法兰、一对透明玻璃、一对传感器支架、光电开关发射器和光电开关接收器，所述的 小法兰中心对称安装在法兰座的侧面上，透明玻璃安装在小法兰内，传感器支架固定在小 法兰上，其中一个传感器支架上安装光电开关发射器，另一个传感器支架上安装光电开关 接收器。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉籽晶原点开关。一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。本实用新型通过光电传感器确认原点到位，实现了精确的原点复位功能，彻底解决了原手动作业产生的复点复位精度低、可靠性差的问题，通过波纹管自身的弹性变形确保真空密封情况下连接调整，降低安装难度，实现了快捷的籽晶部件水平调节。
文档编号C30B15/00GK201648564SQ20102024275
公开日2010年11月24日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者周凯忠 申请人:宁夏日晶电子科技有限公司