单晶炉的钼棒的制作方法

文档序号:8062433阅读:243来源:国知局
专利名称:单晶炉的钼棒的制作方法
技术领域
本实用新型涉及利用多晶提拉出单晶硅领域,具体属于单晶炉的钼棒。
背景技术
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,晶体生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶,人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种单晶炉的钼棒,采用卡扣式结构,安装更加方便快捷,使用寿命延长,且生产成本降低。本实用新型的技术方案如下单晶炉的钼棒,包括有棒体,棒体的上端固定套装于拉丝套内,所述棒体的上端侧壁上开有弧形的钩槽,拉丝套内设有横穿过钩槽的销轴,拉丝套的上端连接有钢丝,棒体的下端固定有籽晶。所述的棒体的下端设有凹槽,籽晶固定于凹槽内。本实用新型的拉丝套与棒体之间采用卡扣式结构,安装更加方便快捷,使用寿命延长,且生产成本降低。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见附图,单晶炉的钼棒,包括有棒体1,棒体1的上端固定套装于拉丝套2内,棒体1的上端侧壁上开有弧形的钩槽3,拉丝套2内设有横穿过钩槽的销轴4,拉丝套2的上端连接有钢丝,棒体的下端固定有籽晶6,棒体的下端设有凹槽5,籽晶6固定于凹槽内。
权利要求1.单晶炉的钼棒,包括有棒体,棒体的上端固定套装于拉丝套内,其特征在于所述棒体的上端侧壁上开有弧形的钩槽,拉丝套内设有横穿过钩槽的销轴,拉丝套的上端连接有钢丝,棒体的下端固定有籽晶。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的钼棒,其特征在于所述的棒体的下端设有凹槽,籽晶固定于凹槽内。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉的钼棒,包括有棒体,棒体的上端固定套装于拉丝套内,所述棒体的上端侧壁上开有弧形的钩槽,拉丝套内设有横穿过钩槽的销轴,拉丝套的上端连接有钢丝,棒体的下端固定有籽晶。本实用新型采用卡扣式结构,安装更加方便快捷,使用寿命延长,且生产成本降低。
文档编号C30B15/00GK202187079SQ20112026485
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月25日 优先权日2011年7月25日
发明者林游辉 申请人:合肥景坤新能源有限公司
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