多晶炉水冷管与炉体连接装置的制作方法

文档序号:8161773阅读:159来源:国知局
专利名称:多晶炉水冷管与炉体连接装置的制作方法
技术领域
多晶炉水冷管与炉体连接装置技术领域多晶炉水冷管与炉体连接装置属于多晶炉冷却系统中的水冷管与炉体的连接装置;特别涉及在多晶硅铸锭过程中,对电极和炉体各个部件进行冷却的用于控制腔体温度的水冷却连接装置。
背景技术
多晶炉是多晶硅料转化为多晶硅锭エ艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经エ艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料,多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料;多晶炉在多晶硅铸锭过程中,要根据多晶硅料溶化,长晶、退火等エ序要求对电极和炉体各个部件进行冷却,以控制腔体温度,原连接装置由于管网复杂,在多晶硅料铸锭过程中冷却水路接ロ容易出现漏水现象;这样即浪费水资源,又増加了功耗,更增加了控制腔体温度的难度。发明内容本实用新型多晶炉水冷管与炉体连接装置发明目的在于为多晶炉水冷却系统设计ー种解决多晶硅料在铸锭过程中冷却水路接ロ容易漏水的水冷管与炉体连接装置。实用新型多晶炉水冷管与炉体连接装置是这样实现的由总出水管、球阀、第一内接、配管、水流量传感器接ロ、备用接ロ、第二内接、三通、宝塔头、橡胶水管和炉体组成;总出水管出水ロ的外螺纹与球阀一端的内螺纹连接,球阀另一端的内螺纹与第一内接一端的外螺纹连接,第一内接另一端的外螺纹与配管一端的内螺纹连接,配管另一端的内螺纹与第二内接一端的外螺纹连接,第二内接另ー端的外螺纹与三通一端内的螺纹连接,三通另一端的内螺纹与宝塔头ー端的外螺纹连接,宝塔头另一端的外螺纹与橡胶水管紧密连接,橡胶水管)直接与炉体连通;配管径向安装水流量传感器接口和备用接ロ ;冷却水由总出水管依次经过球阀、第一内接、配管、第二内接、三通、宝塔头、橡胶水管最終进入炉体。本实用新型多晶炉水冷管与炉体连接装置的有益效果简化了冷却水路结构,解决了旧装置容易漏水的问题。


附图是本实用新型多晶炉水冷管与炉体连接装置示意图图中总出水管I、球阀2、第一内接3、配管4、水流量传感器接ロ 5、备用接ロ 6、第ニ内接7、三通8、宝塔头9、橡胶水管10、炉体11。
具体实施方式
本实用新型多晶炉水冷管与炉体连接装置由总出水管I、球阀2、第一内接3、配管
4、水流量传感器接ロ 5、备用接ロ 6、第二内接7、三通8、宝塔头9、橡胶水管IO和炉体11组成;总出水管I出水ロ的外螺纹与球阀2 —端的内螺纹连接,球阀2另一端的内螺纹与第一内接3 —端的外螺纹连接,第一内接3另ー端的外螺纹与配管4 一端的内螺纹连接,配管4另一端的内螺纹与第二内接7 —端的外螺纹连接,第二内接7另一端的外螺纹与三通8 —端内的螺纹连接,三通8另一端的内螺纹与宝塔头9 一端的外螺纹连接,宝塔头 9另一端的外螺纹与橡胶水管10紧密连接,橡胶水管10直接与炉体11连通;配管4径向安装水流量传感器接口 5和备用接口 6 ;冷却水由总出水管I依次经过球阀2、第一内接3、配管4、第二内接7、三通8、宝塔头9、橡胶水管10最终进入炉体11。
权利要求1.新型多晶炉水冷管与炉体连接装置,其特征在于由总出水管(I)、球阀(2)、第一内接(3)、配管(4)、水流量传感器接口( 5)、备用接口( 6)、第二内接(7)、三通(8)、宝塔头(9 )、橡胶水管(10 )和炉体(11)组成; 总出水管(I)出水口的外螺纹与球阀(2 ) —端的内螺纹连接,球阀(2 )另一端的内螺纹与第一内接(3 ) 一端的外螺纹连接,第一内接(3 )另一端的外螺纹与配管(4 ) 一端的内螺纹连接,配管(4 )另一端的内螺纹与第二内接(7 ) 一端的外螺纹连接,第二内接(7 )另一端的外螺纹与三通(8 )—端内的螺纹连接,三通(8 )另一端的内螺纹与宝塔头(9 )一端的外螺纹连接,宝塔头(9 )另一端的外螺纹与橡胶水管(10)紧密连接,橡胶水管(10)直接与炉体(11)连通;配管(4 )其上留有 水流量传感器接口( 5 )和备用接口( 6 )。
专利摘要多晶炉水冷管与炉体连接装置属于多晶炉冷却系统中的水冷管与炉体的连接装置;特别涉及在多晶硅铸锭过程中,对电极和炉体各个部件进行冷却的用于控制腔体温度的水冷却连接装置;由总出水管、球阀、第一内接、配管、水流量传感器接口、备用接口、第二内接、三通、宝塔头、橡胶水管和炉体组成;有益效果简化了冷却水路结构,解决了旧装置容易漏水的问题。
文档编号C30B29/06GK202643909SQ201220151510
公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月12日 优先权日2012年4月12日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
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