剥膜机及其辗压装置的制造方法

文档序号:9608429阅读:378来源:国知局
剥膜机及其辗压装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种剥膜机,特别是涉及一种用以将印刷电路板上的薄膜剥离光阻层的剥膜机及其辗压装置。
【背景技术】
[0002]印刷电路板在制造过程中,基板表面通常形成有干膜,基板在实施曝光步骤前,干膜具有一光阻层及一黏附于光阻层的薄膜,薄膜为一迈拉(Mylar)。当基板实施曝光步骤后,需将薄膜剥离光阻层,使光阻层外露,以便对基板实施后续的显影及蚀刻步骤。
[0003]现有用以剥离薄膜的剥膜机大都是借由压花轮在薄膜表面上滚压,使薄膜形成皱折。随后,借由黏轮黏着薄膜并将其剥离光阻层,以使薄膜与光阻层分离。
[0004]薄膜与光阻层间是呈真空的黏着状态,因此,压花轮需施加一预定的压力于薄膜上,才能使薄膜形成皱折。由于光阻层及薄膜的厚度很薄,因此,压花轮施力滚压于薄膜的过程中,很容易因施力滚压的力道过大进而造成光阻层及基板的受损。所以,现有剥膜机的剥膜方式仍有进一步改善的空间。

【发明内容】

[0005]本发明的一目的,在于提供一种剥膜机,通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕的辗压方式,能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。
[0006]本发明的另一目的,在于提供一种剥膜机,当旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕并且移离薄膜后,薄膜与光阻层间会形成具有开口的气室,借此,能有效地破坏薄膜与光阻层间的密合性,以便能快速地将薄膜剥离光阻层。
[0007]本发明的目的及解决【背景技术】问题是采用于下技术方案来实现的,依据本发明提出的剥膜机,适于将一板件的一薄膜由一光阻层上剥离,该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面,及一相反于该结合面的外表面,该板件具有一结合于该光阻层相反于该薄膜一侧的基板,该基板具有一凸伸出该前端缘的前凸出部。
[0008]该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置,及一剥离装置,该输送装置可沿一由后朝前的输送方向输送该板件,该辗压装置位于该输送装置中段处,该辗压装置包括一固定框架、一设置于该固定框架的驱动机构,及一设置于该驱动机构的旋转辗压件,该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上,使该薄膜凹陷变形形成压痕,以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力,当该旋转辗压件移离该薄膜时,该薄膜与该光阻层间形成一气室,该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间,该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一位于该前凸出部与该前端缘间且对齐于该前端缘前方的初始位置,及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动,该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀,该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖,该剥离装置位于该辗压装置前侧,该剥离装置包括一夹持吹气机构,及一剥离机构,该夹持吹气机构用以夹持该前凸出部并可对该气室的该开口吹气以使该薄膜邻近该前端缘的部位剥离该光阻层,该剥离机构用以衔接该薄膜邻近该前端缘的部位以将该薄膜剥离该光阻层。
[0009]该刀尖呈倒圆角状。
[0010]该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧,及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。
[0011]该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸,及一第三气缸,该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动,该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动,该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动,该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。
[0012]该辗压方向是倾斜于该前端缘。
[0013]该夹持吹气机构包含两个用以夹持该前凸出部的夹爪,及一设置于对应的该夹爪并可对该开口吹气的喷嘴,该剥离机构包含一挡止件、一回收滚筒、一卷绕于该回收滚筒上并可被该回收滚筒卷收的承接膜,及一接合模块,该承接膜部分贴靠于该挡止件上,该薄膜邻近该前端缘的部位会被该喷嘴吹至贴靠于该挡止件并重叠于该承接膜的位置,该接合模块用以将该薄膜与该承接膜重叠的部位接合在一起。
[0014]本发明的又一目的,在于提供一种剥膜机的辗压装置,通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕的辗压方式,能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。
[0015]本发明的再一目的,在于提供一种剥膜机的辗压装置,当旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕并且移离薄膜后,薄膜与光阻层间会形成具有开口的气室,借此,能有效地破坏薄膜与光阻层间的密合性。
[0016]本发明的目的及解决【背景技术】问题是采用于下技术方案来实现的,依据本发明提出的剥膜机的辗压装置,适于辗压一板件的一薄膜,该板件具有一光阻层,该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面,及一相反于该结合面的外表面。
[0017]该辗压装置包括一固定框架、一驱动机构,及一旋转辗压件,该驱动机构设置于该固定框架上,该旋转辗压件设置于该驱动机构,该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上,使该薄膜凹陷变形形成压痕,以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力,当该旋转辗压件移离该薄膜时,该薄膜与该光阻层间形成一气室,该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间,该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一对齐于该前端缘前方的初始位置,及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动,该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀,该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖。
[0018]该刀尖呈倒圆角状。
[0019]该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧,及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。
[0020]该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸,及一第三气缸,该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动,该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动,该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动,该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。
[0021 ] 该辗压方向是倾斜于该前端缘。
[0022]本发明的有益效果在于:通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜,使薄膜凹陷变形形成压痕,以破坏薄膜与光阻层间的黏着力及密合性,借此,能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。当旋转辗压件移离薄膜后,薄膜与光阻层间形成具有开口的气室,借此,使得剥离装置能方便且可快速地将薄膜剥离光阻层。
【附图说明】
[0023]图1是本发明发剥膜机的一实施例的立体图,说明机座、输送装置、辗压装置及剥离装置间的组装关系;
[0024]图2是本发明剥膜机的一实施例的侧视图;
[0025]图3是本发明剥膜机的一实施例所欲加工的板件的侧视图;
[0026]图4是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的立体图;
[0027]图5是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的后视图;
[0028]图6是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的局部立体图,说明固定框架、驱动机构与旋转辗压件间的组装关系;
[0029]图7是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的局部后视图;
[0030]图8是本发明剥膜机的一实施例的旋转辗压件的侧视图;
[0031]图9是本发明剥膜机的一实施例的局部侧视图,说明夹持吹气机构与剥离机构的细部构造;
[0032]图10是本发明剥膜机的一实施例的夹持吹气机构的立体图;
[0033]图11是本发明剥膜机的一实施例的挡止件的前视图;
[0034]图12是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件位于初始位置;
[0035]图13是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件位于初始位置;
[0036]图14是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件位于终止位置;
[0037]图15是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件的辗压刀辗压薄膜使其凹陷变形而形成压痕;
[0038]图16是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件复位至初始位置;
[0039]图17是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图,说明旋转辗压件移离薄膜时,薄膜与光阻层间形成具有
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