00、下壳体301的各个接合部会有少许流体泄漏，因而通过填料450阻止泄漏。
[0162]如图5所示，如果设置有填料450，则填料450会被以高压从流体室501泄漏的流体的压力压缩，同时填料450被进一步强力地推压到填料盒304、505中，因此，能够更可靠地防止流体的泄漏。通过这种方式，可以在驱动时保持流体室501中较高的压力上升。
[0163]接下来，参照图面，对形成在上壳体500的入口流路503进行更详细的说明。
[0164]图6是示出入口流路503的方式的俯视图。图6表示从下壳体301的接合面侧观察到的上壳体500的状态。
[0165]图6中，入口流路503以沟状形成在上壳体500的密封面505的周缘部。
[0166]入口流路503的一个端部连通到流体室501，另一个端部连通到连接流路504。在入口流路503与连接流路504的连接部上，形成有流体贮存部507。然后，通过使流体贮存部507与入口流路503的连接部平滑地圆化来减小流体阻力。
[0167]而且，入口流路503朝向大致切线方向连通到流体室501的内周侧壁501a。以规定压力由泵700(参照图1)提供的流体沿着内周侧壁501a(图6中，箭头所指示的方向)流动并在流体室501产生回旋流。回旋流被回旋所产生的离心力推向内周侧壁501a侧，同时，流体室501中含有的气泡会集中在回旋流的中心部。
[0168]然后，集中在中心部的气泡被从出口流路511排出。因此，优选将出口流路511设置在回旋流的中心附近，即回转体形状的轴中心部。
[0169]而且，如图6所示，入口流路503是弯曲的。入口流路503也可以设置为不弯曲而沿着直线连通到流体室501，但通过使其弯曲，可以将流路变长，从而可以在狭窄空间中得到所需的惯性(对于惯性，将在后面说明)。
[0170]另外，如图6所示，在隔膜400与形成有入口流路503的密封面505的周缘部之间，设置有加固板410。设置加固板410，意在提高隔膜400的耐久性。由于在入口流路503与流体室501的连接部上形成有切口状的连接开口部509，因此，考虑当隔膜400被以高频率驱动时，在连接开口部509附近会发生应力集中，从而发生疲劳破坏。因此，通过设置具有无切口部且连续的开口部的加固板410，可以使得隔膜400不发生应力集中。
[0171]而且，在上壳体500的外周角部开设4个位置的螺栓孔500a，上壳体500与下壳体301在该螺栓孔位置上被螺纹接合。
[0172]另外，尽管未图示，但可以将加固板410与隔膜400接合，层叠并固定为一体。作为固定方法，可以是使用粘合剂粘接的方法，也可以是固相扩散接合及焊接等方法，但更优选使加固板410和隔膜400在接合面上密合的方法。
[0173]脉动发生部的操作
[0174]接下来，参照图1至图6，对本实施方式的脉动发生部100的操作进行说明。利用本实施方式的脉动发生部100的流体吐出，通过入口流路503侧的惯性LI (有时称为“合成惯性LI”)与出口流路511侧的惯性L2(有时称为“合成惯性L2”)的差来进行。
[0175]〈惯性〉
[0176]首先，对惯性进行说明。
[0177]当以p表示流体的密度、以S表示流路的截面积、以h表示流路的长度时，惯性L用L= P Xh/S表示。当以ΔP表示流路的压力差、以Q表示流过流路的流体的流量时，通过使用惯性L使流路中的运动方程式变形，可以导出ΛΡ = LXdQ/dt这一关系。
[0178]也就是说，惯性L表示对流量的时间变化的影响程度，惯性L越大，流量的时间变化越小，惯性L越小，流量的时间变化越大。
[0179]而且，涉及多条流路的并联连接、多条形状不同的流路的串联连接的合成惯性，可以与电路的电感的并联连接、或串联连接同样地通过合成每个流路的惯性而算出。
[0180]另外，入口流路503侧的惯性LI，由于连接流路504的直径被设定为相对于入口流路503的直径而足够大，因此，惯性LI可在入口流路503的范围内算出。这时，由于连接泵700与入口流路503的连接管25具有柔软性，因此，也可以从惯性LI的计算中删除。
[0181]而且，对于出口流路511侧的惯性L2，由于连接流路201的直径远比出口流路511的直径大，且流体喷射管200的管部(管壁)的厚度薄，因此对惯性L2的影响是轻微的。因此，出口流路511侧的惯性L2可以与出口流路511的惯性替换。
[0182]另外，流体喷射管200的管壁的厚度具有对流体的压力传播的足够的刚性。
[0183]而且，在本实施方式中，入口流路503的流路长度及截面积、出口流路511的流路长度及截面积被设定为，使得入口流路503侧的惯性LI比出口流路511侧的惯性L2更大。
[0184]〈流体的喷射〉
[0185]接下来，对脉动发生部100的操作进行说明。
[0186]流体通过泵700以规定压力供给入口流路503。其结果，当压电元件401不工作时，流体利用泵700的吐出力与入口流路503侧整体的流体阻力值的差流动到流体室501中。
[0187]在这里，如果驱动信号被输入到压电元件401中，压电元件401急剧伸展，则流体室501中的压力若在入口流路503侧及出口流路511侧的惯性L1、L2具有足够的大小的情况下，会迅速上升而达到几十个大气压。
[0188]由于该流体室501中的压力远比利用泵700对入口流路503施加的压力大，因此，从入口流路503侧流入流体室501中的流体会因该压力而减少，从出口流路511的流出会增加。
[0189]由于入口流路503的惯性LI比出口流路511的惯性L2大，由于从出口流路511吐出的流体的增加量比流体从入口流路503流入流体室501的流量的减少量大，因此，流体会在连接流路201以脉动状吐出，也就是说，会发生脉动流。这个吐出时的压力波动在流体喷射管200中传播，流体从前端的喷嘴211的流体喷射开口部212被喷射出。
[0190]在这里，由于喷嘴211的流体喷射开口部212的直径比出口流路511的直径小，因此，流体进一步被作为高压、高速的脉动状液滴而喷射出。
[0191]另一方面，流体室501中，由于从入口流路503流入的流体量的减少与从出口流路511流出的流体的流出量的增加这一相互作用，压力上升后立即成为负压状态。其结果，由于泵700的压力和流体室501中的负压状态二者的作用，经过规定时间后，入口流路503的流体会以与压电元件401操作前相同的速度向流体室501中回流。
[0192]入口流路503中的流体的流动回流之后，如果压电元件401有伸展，则可以从喷嘴211继续喷射脉动流。
[0193]〈气泡的排除〉
[0194]接下来，对流体室501中的气泡的排除操作进行说明。
[0195]如上所述，入口流路503通过在流体室501的周围盘旋并尽可能接近流体室501的这种路径连通到流体室501。而且，出口流路511设置在流体室501的大致回转体形状的回转轴附近。
[0196]因此，从入口流路503流入流体室501的流体会沿着内周侧壁501a而在流体室501中旋转。然后，流体被离心力推压到流体室501的内周侧壁501a侧，流体所含的气泡集中在流体室501的中心部，其结果，气泡被从出口流路511排出。
[0197]因此，即使由于压电元件401而在流体室501发生微小的容积变化，压力波动也不会因气泡受到阻碍，且可获得足够的压力上升。
[0198]根据本实施方式，由于流体以规定的压力通过泵700被供给入口流路503，并且，即使在停止了脉动发生部100的驱动的状态下，流体也能被供给入口流路503和流体室501，因此，即便不进行启动加注操作，也能够开始初始操作。
[0199]而且，由于流体从比出口流路511的直径缩小的流体喷射开口部212喷出，因此，液压比出口流路511中增高，从而使得高速的流体喷射成为可能。
[0200]而且，由于流体喷射管200具有的刚性可将从流体室501流出的流体的脉动传递到流体喷射开口部212，因此，具有不会妨碍来自从脉动发生部100的流体的压力传播，并可以喷射所需的脉动流这一效果。
[0201]而且，由于将入口流路503的惯性设定为比出口流路511的惯性大，因此，与从入口流路503流向流体室501的流体的流入量的减少程度相比，在出口流路511则会发生更大程度的流出量的增加，从而在流体喷射管200中可以进行脉动状的流体吐出。因此，也可以不在入口流路503侧设置止回阀，这样既可以达到简化脉动发生部100的构造的效果，同时可以使内部的清洗变得容易，且可以排除起因于使用止回阀的对耐久性的担心。
[0202]另外，通过将入口流路503和出口流路511 二者的惯性设定得足够大，如果突然降低流体室501的容量，则可以使流体室501中的压力急剧上升。
[0203]而且，通过形成为使用作为容积改变装置的压电元件401和隔膜400而发生脉动的构造，可以简化脉动发生部100的构造，并实现小型化。而且，可以将流体室501的容积变化的最大频率调整为IKHz以上的高频率，从而最适于高速脉动流的喷射。
[0204]而且，脉动发生部100通过利用入口流路503使流体室501中的流体发生回旋流，可以依靠离心力将流体室501中的流体推向流体室501的外周方向，使回旋流的中心部，即，使大致回转体形状的轴附近的流体所含的气泡集中，并从设置在大致回转体形状的轴的附近将气泡从出口流路511排除。由此，可以防止气泡滞留在流体室501中所导致的压力振幅的降低，并可以继续脉动发生部100的稳定的驱动。
[0205]而且，由于使入口流路503形成为通过在流体室501的周围旋转并接近流体室501这样的路径连通到流体室501，可以使得流体无需采用用于在流体室501的内部旋转的专用的构造就能够发生回旋流。
[0206]而且，由于在流体室501的密封面505的外周缘部形成沟形的入口流路503，因此，可以无需增加部件数目就能形成作为回旋流发生部的入口流路503。
[0207]而且，通过在隔膜400的上表面配备加固板410，由于隔膜400将加固板410的开口部外周作为支点驱动，因此，难以发生应力集中，从而可以提高隔膜400的耐久性。
[0208]另外，如果使加固板410与隔膜400的接合面的角部圆化，则能够进一步缓和隔膜400的应力集中。
[0209]而且，如果将加固板410和隔膜400层叠并粘合为一体，不仅可以提高脉动发生部100的组装性，还能具有加固隔膜400的外周缘部的效果。
[0210]而且，由于在从泵700提供流体的入口侧的连接流路504与入口流路503的连接部上设置有滞留流体的流体贮存部507，因此，可以抑制连接流路504的惯性对入口流路503的影响。
[0211]而且，由于