洗净液组成物及清洗基板的方法
【专利摘要】本发明涉及洗净液组成物及清洗基板的方法。一种洗净液组成物，包含碱性化合物(A)、非离子型表面活性剂(B)、式(III)所示的消泡剂(C)及水(D)，该非离子型表面活性剂选自于式(I)、式(II)或上述的组合。式(I)及式(II)中，EO表示乙氧基，AO表示PO、BO或上述的组合，PO为丙氧基，BO为丁氧基，m、n、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自表示3至100，n表示0至(0.2×m)，q表示0至(0.2×p)，x1、x2、y1、y2及y3各自独立地表示1或2。式(III)中，r表示1或2，R表示式(IV)所示的官能团，且式(IV)中，s表示3至7。该洗净液组成物特别适用于清洗玻璃基板，且具有洗净力佳及消泡性佳的优点。
【专利说明】洗净液组成物及清洗基板的方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种洗净液组成物及清洗基板的方法，特别涉及一种用于清洗玻璃基 板的洗净液组成物及清洗基板的方法。
【背景技术】
[0002] 目前彩色液晶显示器的制程是先将较大尺寸的玻璃基板（材质例如：钠钙玻璃、 硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等）切割成所需尺寸的小尺寸玻璃基板后，再于小尺寸玻璃基 板上进行后续的制程。然而，切割时所产生的玻璃切削粉（glass cullet)常附着于玻璃基 板上，而对后续的研磨制程、膜处理制程等精密的制程造成不良的影响。
[0003] 除了玻璃切割时所产生的问题外，在彩色液晶显示器中的彩色滤光片制造过程 中，通过先将感光性树脂以光刻制程（photolithography)于小尺寸的玻璃基板上形成黑 色矩阵，再于玻璃基板上形成红、绿、蓝的彩色光致抗蚀剂。然而，上述制程中，飞散的微粒 或感光性树脂的残渣等会附着于基板上，不但降低彩色滤光片的良率，且当彩色滤光片与 薄膜晶体管阵列基板（TFT array substrate)贴合时，甚至有可能会造成共同短路（common short)的情形。
[0004] 因此，为避免上述在彩色液晶显示器制程中产生的污染源附着于玻璃基板上，进 而影响彩色液晶显示器的元件性能，所以现有彩色液晶显示器的制程中皆会导入清洗玻璃 基板的程序，以清洗附着于玻璃基板上的污染源。
[0005] 为有效清除上述附着于玻璃基板上的污染源，目前业界克服的方式之一，是采用 特定的洗净液组成物清洗玻璃基板。日本专利申请特开2009-084565揭示一种碱性的洗净 液组成物，包含：碱剂、非离子型表面活性剂、水，及选自于苯磺酸盐、甲苯磺酸盐、二甲基苯 磺酸盐、羟基苯磺酸盐的化合物。该日本专利申请中使用的非离子型表面活性剂如下式所 示：
[0006] R1-O- (EO)m(PO)n-H (a)
[0007] 式（a)中，R1表示C8至C18的烷基、C 8至C18的烯基、C8至C18的酰基、C14至C 18的 烷基苯基；EO表示乙氧基，PO丙氧基，EO与PO是随机或嵌段排列；m及n分别表示平均加 成摩尔数，m表示1至20, n表示0至20。
[0008] 该日本专利申请的洗净液组成物诉求在较高的温度下具有好的贮存稳定性，然 而，该洗净液组成物因湿润性不佳，所以用于清洗玻璃基板时洗净力不佳，且因选择性添加 的硅系消泡剂的溶解度较差，所以也有消泡性不佳的问题。
[0009] 近年来，对于彩色液晶显示器的高度信赖性需求，以及彩色滤光片的高精度化发 展，所以对玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。有鉴于此，针对改良洗净液组成物，以克 服现有的洗净液组成物洗净力不佳及消泡性不佳的缺点，是此【技术领域】相关技术人员可再 突破的课题。
【发明内容】
[0010] 本发明的第一目的在于提供一种洗净液组成物。该洗净液组成物具有洗净力佳及 消泡性佳的优点。
[0011] 本发明洗净液组成物，包含：
[0012] 碱性化合物（A);
[0013] 非离子型表面活性剂（B)，选自于式（I)所示的非离子型表面活性剂、式（II)所示 的非离子型表面活性剂，或它们的组合：
【权利要求】
1. 一种洗净液组成物，其特征在于其包含： 碱性化合物（A); 非离子型表面活性剂（B)，选自于式（I)所示的非离子型表面活性剂、式（II)所示的非 离子型表面活性剂，或上述的组合：
式⑴及式⑵中，E0表示乙氧基，A0表示PO、B0或上述的组合，该P0为丙氧基，该 B0为丁氧基，m、η、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自独立地表示3至100, η表 示0至（0. 2Xm), q表示0至（0. 2Xp)，xl、x2、yl、y2及y3各自独立地表示1或2 ; 消泡剂（C)，由下式（III)所示：
式（III)中，r表示1或2, R表示式（IV)所示的官能团，
式（IV)中，S表示3至7 ;及 水⑶。
2. 根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，该式⑴及式（II)中，该E0与 该A0为嵌段排列或随机排列。
3. 根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，该式⑴及式（II)中，该八0为 P0与B0的组合，且P0与B0为嵌段排列或随机排列。
4. 根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，基于该碱性化合物（A)为100重 量份，该非离子型表面活性剂（B)的使用量范围为10至100重量份，该消泡剂（C)的使用 量范围为1至15重量份，该水（D)的使用量范围为200至2000重量份。
5. 根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，该非离子型表面活性剂（B)与该 消泡剂（C)的用量比例（B/C)范围为3至25。
6. 根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，所述洗净液组成物还包含水溶 性树脂（E)。
7. 根据权利要求6所述的洗净液组成物，其特征在于，基于该碱性化合物（A)的总量为 100重量份，该水溶性树脂（E)的使用量范围为1至15重量份。
8. -种清洗基板的方法，其特征在于其包含： 使用权利要求1至7中任一项所述的洗净液组成物清洗基板。
【文档编号】C11D1/825GK104293497SQ201410314919
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年7月3日 优先权日:2013年7月17日
【发明者】谢岦庭 申请人:奇美实业股份有限公司