晶锭切割装置的制造方法_2

文档序号:9718706阅读:来源:国知局
110与第二主滚轮120之间的轴间距,因此减少弓形并增加线锯130的切削力。
[0039]第一主滚轮110与第二主滚轮120之间的轴间距例如660厘米左右,而二辅助滚轮140/150之间的轴间距例如200厘米左右或更小。当辅助滚轮140/150的直径缩小时,辅助滚轮140/150支撑的效果越好,以减少弓形,但必须考虑辅助滚轮140/150的转速,以避免辅助滚轮140/150的转速过高,以维持系统的稳定性。
[0040]在一实施例中,较理想的弓形大小约为3?5厘米(mm)左右。当弓形过大时,线锯130的切削力明显不足而影响切片的品质,当弓形过小时,线锯130容易被压断。此外,弓形大小与辅助滚轮140/150的位置有关,在本实施例中,当辅助滚轮140/150的垂直位置较高时,辅助滚轮140/150需承受线锯130的摩擦力也越大,因而会产生过多的磨耗而减损辅助滚轮140/150的寿命。因此,本实施例中将第一垂直位置H1与第二垂直位置H2的高度差设定在2厘米(mm)左右,可抑制工艺开始的初弓形的形成,等到弓形维持在3?5厘米之后,再调降辅助滚轮140/150的高度至第二垂直位置H2,以减少辅助滚轮140/150的磨耗。进一步说明的是,本实施例中的辅助滚轮140/150皆以一侧支撑线锯130,而未将线锯缠绕在辅助滚轮140/150上,其目的之一亦是减少辅助滚轮140/150的磨耗。又因辅助滚轮140/150的初始位置是在于第一垂直位置H1,可确保线锯130被限制于辅助滚轮140/150的沟槽中,避免跳线或迭线的问题。
[0041]第二实施例
[0042]请参照图5及图6,其绘示依照本发明一实施例的晶锭切割装置200的示意图。晶锭切割装置100包括一对第一主滚轮210、一对第二主滚轮220、一线锯230以及二辅助滚轮240 (即二个第一辅助滚轮)。各个第一主滚轮110与各个第二主滚轮120由一马达系统驱动而转动,而线锯230由第一主滚轮210与第二主滚轮220所驱动并以高速回圈往返移动。各个辅助滚轮240位于第一主滚轮210与第二主滚轮220之间,各由线锯230的带动而转动。本实施例虽以四个主滚轮210/220、一线锯230以及二辅助滚轮240为例,但切割晶锭的方式与第一实施例相似,其差异仅在于可同时切割二个晶锭20。如图5,当二晶锭20被线锯130切割时,以一个辅助滚轮240支撑线锯230且位于此二晶锭20之间。
[0043]如图5,各个辅助滚轮240的一侧支撑线锯230于一水平方向X上。由线锯230行进路径来看,线锯230位于第一主滚轮210与第二主滚轮220之间。此外,线锯230通过第一主滚轮210与第二主滚轮220之间的行径方向大致上与水平方向X平行。
[0044]在图5中,辅助滚轮240位于第一垂直位置H1,使线锯230于水平方向上由辅助滚轮240上的一沟槽(未绘示)所限制,以避免跳线或迭线。在图6中,当晶锭20下压线锯230时,辅助滚轮240因线锯230的带动而移到一第二垂直位置H2。第一垂直位置H1高于第二垂直位置H2。第一垂直位置H1为辅助滚轮240的起始位置,而第二垂直位置H2为辅助滚轮240被下压时的工作位置。第一垂直位置H1与第二垂直位置H2的高度差等于或小于ΔΗ,ΔΗ例如设定在2厘米(mm)左右。
[0045]在本实施例中,当线锯230切割晶锭时,线锯230受到辅助滚轮240的支撑而减少轴间距,因此线锯230在辅助滚轮240与第一主滚轮210之间和辅助滚轮240与第二主滚轮220之间分别各有弓形,且由于辅助滚轮240与主滚轮210/220之间的轴间距明显小于第一主滚轮210与第二主滚轮220之间的轴间距,因此减少弓形并增加线锯230的切削力。
[0046]有关弓形大小与辅助滚轮240的位置关系,已于第一实施例中详细说明,在此不再赘述。在一实施例中,较理想的弓形大小约为3?5厘米(mm)左右。此外,第一垂直位置H1与第二垂直位置H2的高度差设定在2厘米(mm)左右,以适时地调整弓形大小。
[0047]关于可压缩式轴承基座160/170,已于第一实施例中详细说明,在此不再赘述。本实施例通过可压缩式轴承基座160/170提供的一预弹力,以使辅助滚轮240于待切割的晶锭20接触线锯130前可位于第一垂直位置H1。当晶锭20下压线锯230时,辅助滚轮240因线锯230的带动而移到一第二垂直位置H2。类似第一实施例的情形,辅助滚轮240处于第一垂直位置H1时,可在辅助滚轮240仅以一端支撑线锯230的情形下确保线锯230被辅助滚轮240的沟槽所限制,而辅助滚轮240处于第二垂直位置H2时,则可就线锯230的切削力与辅助滚轮240的磨损速度上达到较佳的平衡。
[0048]当然,本发明还可有其他多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种晶锭切割装置,其特征在于,包括: 一第一主滚轮及一第二主滚轮,该第一主滚轮与该第二主滚轮由一马达系统驱动而转动; 一线锯,由该第一主滚轮与该第二主滚轮所驱动;以及 一第一辅助滚轮,位于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该第一辅助滚轮的一侧支撑该线锯于一水平方向上; 其中,该第一辅助滚轮于待切割的一晶锭接触该线锯前位于一第一垂直位置,使该线锯于该水平方向上由该第一辅助滚轮上的一沟槽所限制; 该第一辅助滚轮于待切割的该晶锭接触该线锯后,因该线锯的带动而移到一第二垂直位置,该第一垂直位置高于该第二垂直位置。2.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第一垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。3.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第二垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平等于或高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。4.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一主滚轮的直径与该第二主滚轮的直径大于该第一辅助滚轮的直径。5.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮由该第一垂直位置移到该第二垂直位置时,该第一主滚轮与该第二主滚轮在垂直方向上的位置不变。6.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮受该线锯带动而转动。7.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,更包括一第二辅助滚轮,位于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮与该第二辅助滚轮在该水平方向上分别位于该晶锭的两侧。8.—种晶锭切割方法,其特征在于,包括: 设置一第一辅助滚轮于一第一主滚轮与一第二主滚轮之间,且该第一辅助滚轮的一侧支撑一线锯于一水平方向上;以及 驱动该第一主滚轮与该第二主滚轮转动,且该线锯由该第一主滚轮与该第二主滚轮所驱动; 其中,该第一辅助滚轮于待切割的一晶锭接触该线锯前位于一第一垂直位置,使该线锯于该水平方向上由该第一辅助滚轮上的一沟槽所限制; 该第一辅助滚轮于待切割的该晶锭接触该线锯后,因该线锯的带动而移到一第二垂直位置,该第一垂直位置高于该第二垂直位置。9.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第一垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。10.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第二垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平等于或高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。11.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一主滚轮的直径与该第二主滚轮的直径大于该第一辅助滚轮的直径。12.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮由该第一垂直位置移到该第二垂直位置时,该第一主滚轮与该第二主滚轮在垂直方向上的位置不变。13.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮受该线锯带动而转动。14.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,更包括: 设置一第二辅助滚轮于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮与该第二辅助滚轮在该水平方向上分别位于该晶锭的两侧。
【专利摘要】一种晶锭切割装置,包括一第一主滚轮、一第二主滚轮、一线锯以及一第一辅助滚轮。第一主滚轮与第二主滚轮由一马达系统驱动而转动。线锯由第一主滚轮与第二主滚轮所驱动。第一辅助滚轮位于第一主滚轮与第二主滚轮之间,且第一辅助滚轮的一侧支撑线锯于一水平方向上。第一辅助滚轮于待切割的一晶锭接触线锯前位于一第一垂直位置,使线锯于水平方向上由第一辅助滚轮上的一沟槽所限制。第一辅助滚轮于待切割的晶锭接触线锯后,因线锯的带动而移到一第二垂直位置,第一垂直位置高于第二垂直位置。
【IPC分类】B28D7/00, B28D5/04
【公开号】CN105479605
【申请号】CN201410627973
【发明人】叶宸夆, 杨尚伟
【申请人】茂迪股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年11月10日
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