技术总结
本发明为一种应用于具有工具的机械手臂的工具校正装置，包含：基座；X轴量测装置，设置于基座，且包含于X轴轴向移动的第一量测板及感测第一量测板位移量的第一感测器；Y轴量测装置，设置于基座且与X轴量测装置相邻设，且包含于Y轴轴向移动的第二量测板及感测第二量测板位移量的第二感测器；Z轴量测装置，设置于基座的凹陷部且与X轴量测装置及Y轴量测装置相邻设，且包含于Z轴轴向移动的第三量测板及感测第三量测板位移量的第三感测器；其中，根据工具于X轴、Y轴及Z轴移动所感测取得的位移量，以取得工具的中心点信息，使利校正。
技术研发人员：黄正豪;徐志铭
受保护的技术使用者：台达电子工业股份有限公司
文档号码：201610124875
技术研发日：2016.03.04
技术公布日：2017.06.09