1.一种有机膜技术与ITO薄膜技术共用掩膜板的方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)制作石英基板:石英基板上镀一层铬膜,镂空区域对应有机膜技术的过孔或空白区,半透膜区域对应ITO薄膜技术的图案;
(2)对基板进行负性有机膜涂布;
(3)对基板进行曝光,曝光时确保半透膜区域不会在显影工艺中溶解;
(4)对曝光后的基板进行显影,不透光区域的有机膜被除去;
(5)对基板进行ITO沉积镀膜;
(6)对基板进行正性光刻胶涂布、曝光;
(7)对基板进行显影,铬膜和半透膜区域的光刻胶存在,其余区域的光刻胶被除去;
(8)对基板进行蚀刻,形成ITO所需的图案。
2.根据权利要求1所述的有机膜技术与ITO薄膜技术共用掩膜板的方法,其特征在于:使用正性有机膜和负性光刻胶进行基板涂布。