光电装置、光电单元以及电子设备的制作方法

文档序号:11215262阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种光电装置、光电单元以及电子设备,能够抑制设有反射镜的芯片的温度上升。光电装置(100)具有形成有反射镜(50)以及驱动反射镜(50)的驱动元件的芯片(2)、俯视观察时覆盖反射镜(50)的透光性的罩体(71)、以及在罩体(71)与芯片(2)之间与芯片(2)的一表面(2s)接触的隔离件(61)。芯片(2)的一表面(2s)的与隔离件(61)接触的整个部分由具有第一导热率的硅氧化膜等的第一物质构成,隔离件(61)由具有比第一导热率高的第二导热率的水晶等的第二物质构成。罩体(71)由具有比第二导热率高的第三导热率的蓝宝石等的第三物质构成。

技术研发人员:内山杰;高桥广介
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
技术研发日:2017.03.23
技术公布日:2017.10.10
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