一种MicroLED屏剥离液的制作方法

文档序号:11406233阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种Micro LED屏剥离液,其是由如下质量分数的原料组成:季胺氢氧化物15‑32%、烷氧基碱金属盐10‑22%、有机胺8‑25%、表面活性剂5‑14%、环氧类有机溶剂20‑40%、金属螯合剂5‑9%、防腐剂4‑7%和水。与现有技术相比,本发明剥离液对蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效的进行剥离,对于Micro LED屏玻璃基板的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低的腐蚀性;同时本剥离液能在较低温度下、较短时间内去除玻璃基板滤光片上的彩色抗蚀剂和保护层,对玻璃基板没有损伤,用剥离液处理后的玻璃基板能够再利用;本发明的剥离液剥离效果较好,同时对环境和人体具有高度的安全性。

技术研发人员:白航空
受保护的技术使用者:合肥市惠科精密模具有限公司
技术研发日:2017.05.19
技术公布日:2017.09.01
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