液体供给单元及具有其的基板处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种将液体供给到基板上的装置。
【背景技术】
[0002] 近来，液晶显示装置在电话、便携式电脑等电子设备的显示屏上被广泛使用。这种 液晶显示装置是将液晶注入到由黑矩阵、彩色滤光片、公共电极以及配向膜形成的彩色滤 光片基板和由薄膜晶体管（TFT)、像素电极以及配向膜形成的阵列基板之间的空间，从而利 用根据液晶的各向异性的光的折射率的差异来得到影像效果。
[0003] 作为在如上所述的彩色滤光片基板和阵列基板上涂布如配向液或液滴的处理液 的装置，主要使用喷墨方式的涂布装置。这种涂布装置包括排出头和液体供给部件。液体供 给部件将处理液供给到排出头，而排出头将微米尺寸或纳米尺寸的液滴供给到基板上。图1 为示出了一般的液体供给部件的图。参照图1，液体供给部件包括瓶子2、液体填充线4及 液体供给线6。瓶子2中储存第1处理液，上述储存的第1处理液通过液体供给线6供给到 排出头。当瓶子2内的处理液被耗尽时，液体填充线4将第1处理液填充到瓶子2内。液 体供给线6和液体填充线4分别设有阀门8a、8b，因此通过开闭这些线路来供给及填充第1 处理液。
[0004] 图2为示出了一般的阀门的截面图。参照图2,阀门8包括主体7和密封部件 9。主体7的内部形成流入通道和流出通道，密封部件9通过开闭流入通道和流出通道的 交汇点，从而供给和切断处理液。然而，在供给第1处理液的过程中，第1处理液会残留在 主体的内部或密封部件中。尤其是，当主体内的流入通道和流出通道的交汇点形成为孔口 (Orifices)结构时，会形成剩余空间7a，第1处理液可能会残留在该剩余空间7a中。
[0005] 之后，供给与第1处理液不同的第2处理液时，用存有第2处理液的瓶子替换存有 第1处理液的瓶子，从而供给和填充第2处理液。在这种情况下，阀门8内残留的第1处理 液和第2处理液会发生混合，从而造成不良工艺。
[0006] 为了解决上述问题，分别向液体填充线4和液体供给线6供给清洗液清洗阀门8 内残留的处理液，但不能完全清洗处理掉残留的处理液。不仅如此，阀门8的结构复杂，因 此不易拆卸，并且即使通过拆卸阀门来清洗处理其内部，之后也很难重装使用。
[0007] 另外，如图3所示，在填充瓶子2内的处理液的过程中，填充的处理液与储存着的 处理液以超过一定冲击量以上的冲击量互相碰撞时，会产生气泡，这会对处理液的喷射压 力造成负面影响。
【发明内容】
[0008] 本发明要解决的抟术问题
[0009] 本发明的目的在于，提供一种新型结构的液体供给单元。
[0010] 此外，本发明的目的在于，提供一种易于拆卸和组装的阀门组件。
[0011] 此外，本发明的目的在于，提供一种使在处理液内产生的气泡降至最小化的装置。
[0012] 抟术方案
[0013] 本发明的实施例提供供给液体的液体供给单元和基板处理装置。液体供给单元是 用于将处理液供给到喷嘴的单元，包括：瓶子，其内部具有储存处理液的储存空间，且其上 表面开放；阀门组件，其开闭所述上表面，上述阀门组件包括：本体，其内部形成主通道及 连接到上述主通道的供给通道；驱动轴，其设置在上述主通道；驱动器，其用于使上述驱动 轴向第1位置和第2位置移动，上述第1位置为上述驱动轴切断上述供给通道的位置，上述 第2位置为开放上述供给通道的位置。
[0014] 上述本体还形成与上述主通道相通的第1填充通道，所述液体供给单元还包括用 于将处理液填充到上述第1填充通道的连接到上述本体的液体填充线。其中，上述驱动器 向第3位置移动上述驱动轴，上述第3位置可以为上述驱动轴开放上述第1填充通道的位 置。上述阀门组件还包括安装到上述上表面、且形成与上述供给通路相通的供给孔的盖子； 上述盖子包括板件和液体补充管，其中，上述板件分别结合于上述本体和上述瓶子，并且形 成与上述供给通道相通的供给孔，而上述液体补充管从上述板件延长从而使其位于上述储 存空间，并且形成喷射处理液的填充孔及连接上述主通道和上述填充孔的第2填充通道， 其中上述填充孔可设为朝向上述瓶子的内侧面。上述第1填充通道可设为越靠近主通道， 越朝向向下倾斜的方向。第1填充通道与上述主通道相通的地点可设置为比上述供给通道 和上述主通道相通的地点低。上述主通道以贯通所述本体的两面的中空的方式提供，上述 驱动轴可以包括具有与上述主通道相应的直径、且其外侧面形成环形的圆形状连接槽的轴 部。上述第2位置可以为上述连接槽和上述供给通道相通的位置。上述第2位置可以为上 述轴部切断第1填充通道的位置。形成上述主通道的上述本体的内侧面形成环形的圆形状 剩余槽，上述剩余槽可以形成为比上述供给通道和上述第1填充通道高。上述轴部具有与 上述主通道对应的或更长的长度，上述驱动轴还包括从上述轴部的上端延长的导向部，上 述导向部可以具有比上述轴部更大的直径。第1位置可以为上述导向部置于上述本体、且 上述轴部切断上述第1填充通道和上述供给通道的位置。
[0015] 基板处理装置包括支撑基板的基板支撑单元、向支撑在上述基板支撑单元的基板 供给处理液的排出头，以及将处理液供给到上述排出头的液体供给单元。上述液体供给单 元包括在其内部储存处理液的储存空间、开放上表面的瓶子、开闭上述上表面的阀门组件， 以及连接上述阀门组件和上述排出头的液体供给线。上述阀门组件包括本体、驱动轴以及 驱动器，其中，上述本体的内部形成主通道和连接到上述主通道的供给通道，上述驱动轴设 置在上述主通道，上述驱动器用于向第1位置和第2位置移动上述驱动轴。其中，上述第1 位置为上述驱动轴切断上述供给通道的位置，上述第2位置为开放上述供给通道的位置。
[0016] 上述本体还形成与上述主通道相通的第1填充通道，所述液体供给单元还包括连 接到上述本体的液体填充线，使处理液填充到上述第1填充通道；上述驱动器向第3位置移 动上述驱动轴，上述第3位置可以为上述驱动轴开放上述第1填充通道的位置。上述阀门 组件安装到上述上表面、并且还包括形成与上述供给通道相通的供给孔的盖子。上述盖子 包括板件和液体补充管，其中，上述板件分别结合于上述本体和上述瓶子，并且形成与上述 供给通道相通的供给孔，上述液体补充管从上述板件延长从而使其位于上述储存空间，并 且形成喷射处理液的填充孔及连接上述主通道和上述填充孔的第2填充通道，上述填充孔 可以设为朝向上述瓶子的内侧面。上述主通道以贯通所述本体的两面的中空的方式提供， 上述驱动轴包括轴部，该轴部具有与上述主通道对应的直径，其外侧面包括环形的圆形状 连接槽。上述第2位置可以为上述连接槽与上述供给通道相通的位置。形成上述主通道的 上述本体的内侧面形成环形的圆形状剩余槽，上述剩余槽可以形成为比上述供给通道和上 述第1填充通道高。
[0017] 有益效果
[0018] 根据本发明的实施例，开闭瓶子的阀门组件具有阀门功能，并可以调节瓶子内的 处理液的流入和流出。
[0019] 其次，根据本发明的实施例，利用单一驱动部件，可以对用于处理液流入瓶子内的 填充通道和用于处理液流出的供给通道进行选择性地开闭。
[0020] 再次，根据本发明的实施例，阀门组件包括本体和驱动轴，且驱动轴设置为插入到 本体，因此可轻易地实现驱动轴和本体间的组装与拆卸。
[0021 ]另外，根据本发明的实施例，在将处理液填充到瓶子内的情况下，将处理液喷射到 瓶子的内侧壁，使其沿着瓶子的内侧壁流动，因此可以最小化处理液内气泡的产生。
【附图说明】
[0022] 图1为示出一般的液体供给部件的图。
[0023] 图2为示出一般的阀门的截面图。
[0024] 图3为示出将处理液填充到瓶子内的过程的截面图。
[0025] 图4为显示根据本发明实施例的喷墨方式的基板处理装置的结构的图。
[0026] 图5为示出图4中液晶排出部的立体图。
[0027] 图6为示出图5中构台移动单元的正面图。
[0028] 图7为示出图5中头部组件及头部移动单元的立体图。
[0029] 图8为示出图7中支撑主体的截面图。
[0030] 图9为示出图7中头部组件及液体供给单元的截面图。
[0031] 图10为示出图9中阀门组件的截面图。
[0032] 图11为示出图10中本体的立体图。
[0033] 图12为示出图11中本体的供给通道的本体的截面图。
[0034] 图13为示出图11中本体的第1填充通道的本体的截面立体图。
[0035] 图14为示出图10中盖子的立体图。
[0036] 图15为示出位于第1位置的图9的驱动轴的截面图。
[0037] 图16为示出位于第2位置的图9的驱动轴的截面图。
[0038] 图17为示出位于第3位置的图9的驱动轴的截面图。
【具体实施方式】
[0039] 在下文中，将参考所附的附图，对本发明的优选的实施例进行详细说明。如上所述 的本发明所要解决的课题、技术方案及技术效果可通过所附的附图和相关的实施例而轻易 理解。为了清楚地进行说明，各附图中的一部分被简略或夸张地表示。应注意在各附图的 结构