[0110] 3-(丙烯酰氧基甲基）氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基）-2-甲基氧杂环丁 烷、3-(丙烯酰氧基甲基）-3-乙基氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基）-2-苯基氧杂环丁 烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基）氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基）-2-乙基氧杂环丁烷、 3- (2-丙烯酰氧基乙基）-3-乙基氧杂环丁烷、3- (2-丙烯酰氧基乙基）-2-苯基氧杂环丁烷 等丙烯酸酯；
[0111] 3-(甲基丙烯酰氧基甲基）氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基）-2-甲基氧杂 环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基）-3-乙基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基）-2-苯 基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基）氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙 基）-2-乙基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基）-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙 烯酰氧基乙基）-2-苯基氧杂环丁烷、3- (2-甲基丙烯酰氧基乙基）-2, 2-二氟氧杂环丁烷等 甲基丙烯酸酯等。
[0112] 所述（A2)化合物中，优选甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸3, 4-环氧环己酯、 3_ (甲基丙烯酰氧基甲基）-3-乙基氧杂环丁烷。所述（A2)化合物可以单独使用，也可以混 合两种以上而使用。
[0113] 根据（Al)化合物以及（A2)化合物（根据需要的任意的（A3)化合物及（A4)化合 物）的合计，（A2)化合物的使用比例优选为5质量％~60质量％，更优选为10质量％~ 50质量％。通过将（A2)化合物的使用比例设为5质量％~60质量％，而可以形成具有优 异的硬化性等的硬化膜、即本实施形态的绝缘膜。
[0114] [(A3)化合物]
[0115] (A3)化合物可以列举：具有羟基的（甲基）丙烯酸酯、具有酚性羟基的（甲基）丙 稀酸酯、羟基苯乙稀。
[0116] 具有羟基的丙烯酸酯可以列举：丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸 4_羟基丁酯、丙烯酸5-羟基戊酯、丙烯酸6-羟基己酯等。
[0117] 具有羟基的甲基丙烯酸酯可以列举：甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸3-羟基 丙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸5-羟基戊酯、甲基丙烯酸6-羟基己酯等。
[0118] 具有酚性羟基的丙烯酸酯可以列举：丙烯酸2-羟基苯酯、丙烯酸4-羟基苯酯等。 具有酚性羟基的甲基丙烯酸酯可以列举：甲基丙烯酸2-羟基苯酯、甲基丙烯酸4-羟基苯酯 等。
[0119] 羟基苯乙烯优选邻羟基苯乙烯、对羟基苯乙烯、α -甲基-对羟基苯乙烯。
[0120] 所述（A3)化合物可以单独使用，也可以混合两种以上而使用。
[0121] 根据（Al)化合物、（Α2)化合物以及（A3)化合物（根据需要的任意的（Α4)化合 物）的合计，（A3)化合物的使用比例优选为1质量％~30质量％，更优选为5质量％~25 质量％。
[0122] [(A4)化合物]
[0123] (A4)化合物若为所述（Al)化合物、（A2)化合物及（A3)化合物以外的不饱和化合 物，则并无特别限制。（A4)化合物例如可以列举：甲基丙烯酸链状烷基酯、甲基丙烯酸环状 烷基酯、丙烯酸链状烷基酯、丙烯酸环状烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳基酯、不饱和 二羧酸二酯、顺丁烯二酰亚胺化合物、不饱和芳香族化合物、共辄二烯、具有四氢呋喃骨架 等的不饱和化合物及其他不饱和化合物等。
[0124] 甲基丙烯酸链状烷基酯例如可以列举：甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙 烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸 异癸酯、甲基丙烯酸正月桂酯、甲基丙烯酸十三烷基酯、甲基丙烯酸正硬脂酯等。
[0125] 甲基丙烯酸环状烷基酯例如可以列举：甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基 环己酯、甲基丙烯酸三环[5.2. 1.02'6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸三环[5.2. 1.02'6]癸 烷-8-基氧基乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯等。
[0126] 丙烯酸链状烷基酯例如可以列举：丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、丙 烯酸仲丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸正月桂酯、丙烯酸 十三烷基酯、丙烯酸正硬脂酯等。
[0127] 丙烯酸环状烷基酯例如可以列举：丙烯酸环己酯、丙烯酸-2-甲基环己酯、丙烯酸 三环[5. 2. I. 02'6]癸烷-8-基酯、丙烯酸三环[5. 2. I. 02'6]癸烷-8-基氧基乙酯、丙烯酸异 冰片酯等。
[0128] 甲基丙烯酸芳基酯例如可以列举：甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等。
[0129] 丙烯酸芳基酯例如可以列举：丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯等。
[0130] 不饱和二羧酸二酯例如可以列举：顺丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、衣康酸 -乙酯等。
[0131] 顺丁烯二酰亚胺化合物例如可以列举：N-苯基顺丁烯二酰亚胺、N-环己基顺丁烯 二酰亚胺、N-苄基顺丁烯二酰亚胺、N-(4-羟基苯基）顺丁烯二酰亚胺、N-(4-羟基苄基）顺 丁烯二酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-顺丁烯二酰亚胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亚胺基-4-顺丁 烯二酰亚胺丁酸酯、N-琥珀酰亚胺基-6-顺丁烯二酰亚胺己酸酯、N-琥珀酰亚胺基-3-顺 丁烯二酰亚胺丙酸酯、N-(9-吖啶基）顺丁烯二酰亚胺等。
[0132] 不饱和芳香族化合物例如可以列举：苯乙烯、α -甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对 甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯等。
[0133] 共辄二烯例如可以列举：1，3- 丁二烯、异戊二烯、2, 3-二甲基-1，3- 丁二烯等。
[0134] 含有四氢呋喃骨架的不饱和化合物例如可以列举：甲基丙烯酸四氢糠酯、2-甲基 丙烯酰氧基-丙酸四氢糠酯、3_(甲基）丙烯酰氧基四氢呋喃-2-酮等。
[0135] 其他不饱和化合物例如可以列举：丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯 酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯等。
[0136] 所述（Α4)化合物中，优选甲基丙烯酸链状烷基酯、甲基丙烯酸环状烷基酯、甲基 丙烯酸芳基酯、顺丁烯二酰亚胺化合物、四氢呋喃骨架、不饱和芳香族化合物、丙烯酸环状 烷基酯。所述中，从共聚合反应性及对碱性水溶液的溶解性的方面来看，特别优选苯乙烯、 甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸正月桂酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸 三环[5.2. 1.02'6]癸烷-8-基酯、对甲氧基苯乙烯、丙烯酸2-甲基环己酯、N-苯基顺丁烯二 酰亚胺、N-环己基顺丁烯二酰亚胺、甲基丙烯酸四氢糠酯。
[0137] 所述（Α4)化合物可以单独使用，也可以混合两种以上而使用。
[0138] 根据（Al)化合物、（Α2)化合物以及（Α4)化合物（及任意的（A3)化合物）的合 计，（A4)化合物的使用比例优选为10质量％~80质量％。
[0139] <包含具有羧基的构成单元与具有环氧基作为聚合性基的构成单元的[A]聚合 物的合成方法1>
[0140] [A]聚合物例如可以通过以下方式制造：在溶剂中在聚合起始剂的存在下，将所 述（Al)化合物以及（A2)化合物（任意的（A3)化合物及（A4)化合物）进行共聚合。根据 所述合成方法，可以合成至少包含含有环氧基的构成单元的共聚物。
[0141] 用以制造[A]聚合物的聚合反应中所用的溶剂例如可以列举：醇、二醇醚、乙二醇 烷基醚乙酸酯、二乙二醇单烷基醚、二乙二醇二烷基醚、二丙二醇二烷基醚、丙二醇单烷基 醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇单烷基醚丙酸酯、酮、酯等。
[0142] 用以制造[A]聚合物的聚合反应中所用的聚合起始剂，可以使用通常作为自由基 聚合起始剂而已知的聚合起始剂。自由基聚合起始剂例如可以列举：2, 2'-偶氮双异丁腈 (AIBN)、2, 2' -偶氣双-(2, 4-二甲基戊臆）、2, 2' -偶氣双-(4-甲氧基-2, 4-二甲基戊臆） 等偶氮化合物。
[0143] 在用以制造[A]聚合物的聚合反应中，为了调整分子量，可以使用分子量调整剂。
[0144] 分子量调整剂例如可以列举：氯仿、四溴化碳等卤化烃类；正己基硫醇、正辛基硫 醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、硫甘醇酸等硫醇类；硫化二甲基黄原酸酯、二硫化二 异丙基黄原酸酯等黄原酸酯类；异松油稀（terpinolene)、α -甲基苯乙稀二聚物等。
[0145] [Α]聚合物的重量平均分子量（Mw)优选为1000~30000,更优选为5000~20000。 通过将[Α]聚合物的Mw设为所述范围，而可以提高本实施形态的感放射线性树脂组合物对 放射线的感度及显影性。另外，本说明书中的聚合物的Mw及数量平均分子量（Mn)利用下 述条件的凝胶渗透色谱法（gel permeation chromatography，GPC)进行测定。
[0146] 装置：GPC-101 (昭和电工制造）
[0147] 管柱：将 GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803 及 GPC-KF-804 结合
[0148] 流动相：四氢呋喃
[0149] 管柱温度：40°C
[0150] 流速：1. OmT,/mi η
[0151] 试样浓度：1.0质量％
[0152] 试样注入量：100 μ L
[0153] 检测器：示差折射计
[0154] 标准物质：单分散聚苯乙烯
[0155] <包含具有羧基的构成单元与具有（甲基）丙烯酰基作为聚合性基的构成单元的 [Α]聚合物的合成方法2 >
[0156] [Α]聚合物例如可以使能够使用一种以上所述（Al)化合物而合成的共聚物（以下 有时称为"特定共聚物"）、与所述（A2)化合物反应而合成。根据所述合成方法，可以合成 至少包含具有（甲基）丙烯酰氧基的构成单元的共聚物。
[0157] [A]聚合物所含的具有（甲基）丙烯酰氧基的构成单元，是使共聚物中的羧基与具 有环氧基的（甲基）丙烯酸酯反应而得，反应后的具有（甲基）丙烯酰基的构成单元由下 述式（1)表示。所述构成单元是源自（Al)化合物的特定共聚物中的羧基与（A2)化合物的 环氧基反应，形成酯键而得。
[0160] 所述式⑴中，Rw及R 11分别独立地为氢原子或甲基。c为1~6的整数。R 12为 下述式（2-1)或下述式（2-2)所示的2价基团。
[0163] 所述式（2-1)中，R13为氢原子或甲基。所述式（2-1)及所述式（2-2)中，*表示 与氧原子键结的部位。
[0164] 关于所述式⑴所示的构成单元，例如在使具有羧基的共聚物、与作为（A2)化合 物的甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯等化合物反应时，所述式（1) 中的R 12成为所述式（2-1)。另一方面，在使作为（A2)化合物的甲基丙烯酸3, 4-环氧环己 基甲酯等化合物反应时，所述式（1)中的R12成为所述式（2-2)。
[0165] 在特定共聚物的合成时，可以使用（Al)化合物以外的化合物、例如所述（A3)化 合物、（A4)化合物等作为共聚合成分。从共聚合反应性的方面来看，所述化合物优选甲基 丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸三 环[5.2. 1.02'6]癸烷-8-基酯、苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、甲基丙烯酸四氢呋喃-2-基酯、 1，3-丁二烯。
[0166] 特定共聚物的共聚合的方法例如可以列举：在溶剂中使用自由基聚合起始剂，将 (Al)化合物、及根据需要的（A3)化合物等聚合的方法。
[0167] 所述自由基聚合起始剂可以列举：与在所述[A]聚合物的项中所例示的相同的自 由基聚合起始剂。相对于聚合性不饱和化合物100质量％，自由基聚合起始剂的使用量为 0. 1质量％~50质量％，优选为0. 1质量％~20质量％。
[0168] 特定共聚物能够以聚合反应溶液的状态供于[A]聚合物的制造，也能够在将共聚 物暂时从溶液分离后供于[A]聚合物的制造。
[0169] 另外，特定共聚物的分子量分布（Mw/Mn)优选为5. 0以下，更优选为3. 0以下。通 过将分子量分布（Mw/Mn)设为5.0以下，而可以良好地确保所得的图案的形状。另外，包含 具有所述特定范围的分子量分布（Mw/Mn)的特定共聚物的绝缘膜，具有高度的显影性。即， 在显影步骤中，不会产生显影残留，可以容易地形成规定图案。
[0170] 特定共聚物的源自（Al)化合物的构成单元的含有率优选为5质量％~60质 量％，更优选为7质量％~50质量％，特别优选为8质量％~40质量％。
[0171] 特定共聚物的源自（Al)化合物以外的（A3)化合物、(A4)化合物等化合物的构成 单元的含有率为10质量％~90质量％、20质量％~80质量％。
[0172] 在特定共聚物与（A2)化合物的反应中，根据需要在适当的催化剂的存在下，优选 在包含聚合抑制剂的共聚物的溶液中，投入具有环氧基的不饱和化合物，在加温下搅拌规 定时间。所述催化剂例如可以列举：四丁基溴化铵等。所述聚合抑制剂例如可以列举：对甲 氧基苯酚等。反应温度优选为70°C~100°C。反应时间优选为8小时~12小时。
[0173] 相对于共聚物中的源自（Al)化合物的羧基，（A2)化合物的使用比例优选为5质 量％~99质量％，更优选为10质量％~97质量％。通过将（A2)化合物的使用比例设为 所述范围，而与共聚物的反应性、绝缘膜的硬化性等进一步提高。（A2)化合物可以单独使用 或混合两种以上而使用。
[0174] < [B]感光剂 >
[0175] 本发明实施形态的感放射线性树脂组合物所含有的[B]感光剂可以列举：可以对 放射线产生感应而产生自由基并开始聚合的化合物（即[B-1]光自由基聚合起始剂）、或者 对放射线产生感应而产生酸的化合物（即[B-2]光酸产生剂）。本实施形态的感放射线性 树脂组合物通过含有[B]感光剂，而可以具有感放射线性，例如可以具有正型感放射线性 或负型感放射线性。
[0176] 本实施形态的感放射线性树脂组合物的[B-1]光自由基聚合起始剂可以列举： 〇-酰基肟化合物、苯乙酮化合物、联咪唑化合物等。所述化合物可以单独使用，也可以混合 两种以上而使用。
[0177] 0-酰基肟化合物例如可以列举：1，2-辛烷二酮1-[4_(苯硫基）-2-(0-苯甲 酰基肟）]、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基）-9H-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基 肟）、1-(9-乙基-6-苯甲酰基-91-咔唑-3-基）-辛烷-1-酮肟-0-乙酸酯、1-[9-乙 基-6- (2-甲基苯甲酰基）-9. H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、1-[9-正 丁基-6-(2-乙基苯甲酰基咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-0-苯甲酸酯、乙 酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基_4-四氢咲喃基（^61:抑117(11'0;1!\1抑1171)苯甲酰基）-9.!1.-口专 唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟）、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基）-9. H.-咔唑-3-基]-1- (0-乙酰基肟）、乙酮-1-[9-乙基-6- (2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰 基）-9. H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟）、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲 基-1,3-二四氢呋喃基（oxolanyl))甲氧基苯甲酰基}-9. H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基 月亏）等。
[0178] 所述中，优选1，2-辛烷二酮1- [4-(苯硫基）-2- (0-苯甲酰基肟）]、乙酮-1- [9-乙 基-6- (2-甲基苯甲酰基）-9H-咔唑-3-基]-1- (0-乙酰基肟）、乙酮-1- [9-乙基-6- (2-甲 基-4-四氢咲喃基（tetrahydrofuranyl)甲氧基苯甲酰基）-9·Η·-味唑_3_基]-1-(0-乙 酰基肟）或乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲基-1，3-二四氢呋喃基 (oxolanyl))甲氧基苯甲酰基}-9. H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰基肟）。
[0179] 苯乙酮化合物例如可以列举：α -氨基酮化合物、α -羟基酮化合物。
[0180] α -氨基酮化合物例如可以列举：2_苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基）_丁 烷-1-酮、2-二甲基氨基-2- (4-甲基苄基）-1- (4-吗啉-4-基-苯基）-丁烷-1-酮、2-甲 基-1- (4-甲硫基苯基）-2-吗啉基丙烷-1-酮等。
[0181] α -羟基酮化合物例如可以列举：1-苯基-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-异 丙基苯基）-2-羟基_2_甲基丙烷-1-酬、4_ (2_羟基乙氧基）苯基_(2_羟基_2_丙基） 酮、1-羟基环己基苯基酮等。
[0182] 苯乙酮化合物优选α -氨基酮化合物，特别优选2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗 啉基苯基）-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2- (4-甲基苄基）-1- (4-吗啉-4-基-苯基）-丁 烷-1-酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基）-2-吗啉基丙烷-1-酮。
[0183] 联咪唑化合物例如优选2, 2' -双（2-氯苯基）_4, 4'，5, 5' -四苯基-1，2' -联咪 唑、2, 2'-双（2, 4-二氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四苯基-1,2'-联咪唑或2, 2'-双（2, 4, 6-三 氯苯基）-4, 4'，5, 5' -四苯基-1，2' -联咪挫，其中更优选2, 2' -双（2, 4-二氯苯 基）-4, 4'，5, 5' -四苯基-1，2' -联咪唑。
[0184] [B-1]光自由基聚合起始剂如上所述那样，可以单独使用或混合两种以上而使用。 相对于[A]成分100质量份，[B-1]光自由基聚合起始剂的含有比例优选为1质量份~40 质量份，更优选为5质量份~30质量份。通过将[B-1]光自由基聚合起始剂的使用比例设 为1质量份~40质量份，而即便是低曝光量，感放射线性树脂组合物也可以形成具有高的 耐溶剂性、高的硬度及高的密接性的硬化膜。其结果可以提供如此的特性优异的本发明实 施形态的绝缘膜。
[0185] 接着，本实施形态的感放射线性树脂组合物的作为[B]感光剂的[B-2]光酸产生 剂例如可以列举：肟磺酸酯化合物、鑰盐、磺酰亚胺化合物、含有卤素的化合物、重氮甲烷化 合物、砜化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物、醌二叠氮化合物等。另外，所述[B-2]光酸 产生剂可以单独使用，也可以混合两种以上而使用。
[0186] 肟磺酸酯化合物优选含有下述式（3)所示的肟磺酸酯基的化合物。
[0189] 所述式⑶中，Ra为碳数1~12的烷基、碳数1~12的氟烷基、碳数4~12的脂 环式烃基、碳数6~20的芳基、或所述烷基、脂环式烃基及芳基所具有的氢原子的一部分或 全部被取代基取代而成的基团。
[0190] 所述式（3)中的Ra所示的烷基优选碳数1~12的直链状或分支状烷基。所述碳 数1~12的直链状或分支状烷基可以利用取代基进行取代，所述取代基例如可以列举：碳 数1~10的烷氧基、7, 7-二甲基-2-侧氧基冰片基等包含有桥式脂环基的脂环式基等。碳 数1~12的氟烷基可以列举：三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基等。
[0191] 所述Ra所示的脂环式烃基优选碳数4~12的脂环式烃基。所述碳数4~12的 脂环式烃基可以利用取代基进行取代，所述取代基例如可以列举：碳数1~5的烷基、烷氧 基、卤素原子等。
[0192] 所述Ra所示的芳基优选碳数6~20的芳基，更优选苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基。 所述芳基可以利用取代基进行取代，所述取代基例如可以列举：碳数1~5的烷基、烷氧基、 卤素原子等。
[0193] 肟磺酸酯化合物的具体例可以列举：（5-丙基磺酰氧基亚胺基-5H-噻吩-2-亚 基）-(2-甲基苯基）乙腈、（5-辛基磺酰氧基亚胺基-5H-噻吩-2-亚基）-(2-甲基苯基） 乙腈、（樟脑磺酰氧基亚胺基-5H-噻吩-2-亚基）-(2-甲基苯基）乙腈、（5-对甲苯磺酰氧 基亚胺基-5H-噻吩-2-亚基）-(2-甲基苯基）乙腈、2-(辛基磺酰氧基亚胺基）-2-(4-甲 氧基苯基）乙臆等，所述H亏横酸酯化合物能够以市售品获得。
[0194] 所述鐵盐例如可以列举：^苯基纟典鐵盐、二苯基疏盐、疏盐、苯并卩莖唑鐵盐、四氣口莖 吩鑰盐、苄基锍盐等。
[0195] 并且，鑰盐优选四氢噻吩鑰盐、苄基锍盐，更优选4, 7-二-正丁氧基-1-萘基四 氢噻吩鑰三氟甲磺酸盐、苄基-4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐，尤其优选4, 7-二-正丁氧 基-1-萘基四氢噻吩鑰三氟甲磺酸盐。
[0196] 磺酰亚胺化合物例如可以列举：N-(三氟甲磺酰氧基）琥珀酰亚胺、N-(樟脑磺酰 氧基）琥珀酰亚胺、N-(4-甲基苯基磺酰氧基）琥珀酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基） 琥珀酰亚胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基）琥珀酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰氧基）邻苯二甲酰亚 胺、N-(樟脑磺酰氧基）邻苯二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基）邻苯二甲酰亚胺、 N-(2-氟苯基磺酰氧基）邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰氧基）二苯基顺丁烯二酰亚 胺、N-(樟脑磺酰氧基）二苯基顺丁烯二酰亚胺、N-(4-甲基苯基磺酰氧基）二苯基顺丁烯 二酰亚胺等。
[0197] 磺酸酯化合物的优选的例子可以列举：卤化烷磺酸酯，更优选的例子可以列举： N-羟基萘二甲酰亚胺-三氟甲磺酸酯。
[019