一种光阀、阵列基板及显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及微机电系统显示领域，尤其涉及一种光阀、阵列基板及显示装置。
【背景技术】
[0002]MEMS(Micro Electro Mechanical System，简称微机电系统)，是指尺寸在几毫米甚至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。随着MEMS技术的发展以及MEMS技术制造成本和功耗的显著降低，基于MEMS技术的显示产品得到了迅速的发展，并展示出非常好的性能，譬如较高的光透过率、宽视角、高亮度、高对比度、高色域、优越的视频显示和超低功耗等特点。
[0003]目前，使用机械快门式MEMS显示装置成为人们的研究热点之一，该类显示装置通过开启与关闭按像素设计的MEMS光阀，由此控制像素的开闭。通过控制MEMS光阀的开闭频率来控制透过光阀的透光量，由此来形成灰阶。
[0004]上述快门式MEMS显示装置可以通过切换背光源的颜色，使各子像素产生不同的颜色；也可以采用传统LCD中利用彩膜滤光的方式，使各子像素产生不同的颜色;甚至还可以结合量子点技术与0LED(0rganic Light-Emitting D1de)显示技术，使各像素产生不同的颜色。
[0005]在实际应用中，各子像素产生不同的颜色后，通过控制机械式MEMS快门开启的频率快慢，可以控制透射光的通过MEMS光阀总量的多少，进而可以控制图像的灰阶显示，即时分灰阶方式。当采用这种时分灰阶方式的MEMS显示装置需要较高的灰阶时，尤其是当需要控制较少的透射光通过MEMS光阀时，就需要MEMS快门有较低的开关频率。由于人眼对动态图像的分辨时间限制，过低的开关频率将影响图像的显示质量，使人感到图像的闪烁。因此这种时分灰阶方式的MEMS显示装置难以形成显示所需的高灰阶。
【发明内容】
[0006]本发明的实施例提供一种光阀、阵列基板及显示装置，该光阀通过控制固定组件的第一开口部和可移动组件的第二开口部之间的交叠面积的大小，可实现光阀的透光量呈非线性变化，当该光阀应用于显示装置时，可以解决现有技术中显示装置难以形成显示所需的高灰阶。
[0007]—方面，本发明实施例提供了一种光阀，包括:
[0008]固定组件，所述固定组件上具有第一开口部；
[0009]可移动组件，所述可移动组件上具有第二开口部，所述可移动组件与所述固定组件面对设置；
[0010]控制器件，所述控制器件与所述可移动组件相连，用于控制所述可移动组件在所述可移动组件所在的面内移动，且所述第一开口部和所述第二开口部的交叠面积随着在移动方向上所移动的距离，呈非线性变化。
[0011 ] 可选的，所述第一开口部包括至少一个第一子开口部;所述第二开口部包括至少一个第二子开口部。
[0012]可选的，所述第一子开口部和所述第二子开口部沿所述移动方向依次排列。
[0013]可选的，沿所述移动方向，相邻的两个所述第一子开口部之间的距离等于所述第二子开口部的最大宽度。
[0014]可选的，所述第一子开口部和所述第二子开口部沿所述移动方向的最大宽度相等。
[0015]可选的，所述第一子开口部均为矩形开口，所述第二子开口部中的至少一个为非矩形开口；或者，
[0016]所述第一子开口部中的至少一个为非矩形开口，所述第二子开口部均为矩形开
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[0017]可选的，所述矩形开口的长边与所述移动方向垂直，所述非矩形开口在与所述移动方向垂直的两条边中，其中一条为直线，另一条为锯齿状;或者，
[0018]所述矩形开口的长边与所述移动方向垂直，所述非矩形开口包括至少一个三角形开口。
[0019]可选的，所述第一子开口部包括多个矩形开口，所述第二子开口部中的至少一个为非矩形开口。
[0020]可选的，所述第二子开口部包括多个三角形开口，所述第二子开口部的多个三角形开口与所述第一子开口部的多个矩形开口一一对应。
[0021 ]可选的，所述第二子开口部包括多个矩形开口，所述第一子开口部中的至少一个为非矩形开口。
[0022]可选的，所述第一子开口部包括多个三角形开口，所述第一子开口部的多个三角形开口与所述第二子开口部的多个矩形开口一一对应。
[0023]可选的，所述控制器件包括:在移动方向上设置在所述可移动组件相对两侧的第一控制部和第二控制部；
[0024]所述第一控制部和所述第二控制部用于驱动所述可移动组件在所述可移动组件所在的面内移动。
[0025]可选的，所述第一控制部为电极驱动部，所述第二控制部为弹性伸缩部;或者，
[0026]所述第一控制部和所述第二控制部均为电极驱动部。
[0027]可选的，所述电极驱动部包括:第一支架、可移动电极和固定电极，所述可移动组件的一端与所述可移动电极连接，所述固定电极和所述可移动电极相对设置;若所述固定电极和所述可移动电极同时加载电压，所述固定电极吸引或排斥所述可移动电极；
[0028]所述第一支架与所述固定电极和所述可移动电极连接，以使得所述固定电极和所述可移动电极位于所述固定组件上方。
[0029]可选的，所述弹性伸缩部包括:第二支架和弹性部件，所述可移动组件的一端与所述弹性部件的一端连接；
[0030]所述第二支架与所述弹性部件的另一端连接，以使得所述弹性部件位于所述固定组件上方。
[0031 ]可选的，所述控制器件还用于使得所述可移动组件与所述固定组件不接触。
[0032]另一方面，本发明实施例提供了一种阵列基板，包括多个阵列排布的如本发明实施例提供的任一所述的光阀。
[0033]另一方面，本发明实施例提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的任一所述的阵列基板。
[0034]可选的，所述显示装置包括多个子像素，每个所述子像素对应一个光阀。
[0035]本发明实施例提供中，光阀包括:固定组件，可移动组件和控制器件。其中，可移动组件与固定组件面对设置，固定组件包括第一开口部，可移动组件包括第二开口部;控制组件与可移动组件相连，控制可移动组件在该可移动组件的所在面内移动，使得可以移动组件的第一开口部和固定组件的第二开口部的交叠面积随着在移动上所移动的距离，呈非线性变化。因此，在本发明实施例中，可以通过控制可移动组件在固定组件上的移动情况，控制可移动组件的第一开口部和固定组件的第二开口部的交叠面积的大小，从而使得光阀的透光量呈非线变化，当该光阀应用于显示装置时，可以解决现有技术中显示装置难以形成显示所需的高灰阶。
【附图说明】
[0036]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图