以观测及记录光斑的位置。
[0046]Z轴振镜组件200与准直装置100匹配，包括安装壳210、Z轴振镜220、第一安装板230、第二安装板240、第一弹性部件(图未示)、第二弹性部件(图未示)、第一固定件(图未示)及第二固定件(图未示)。
[0047]安装壳210的大小与安装空间180匹配。安装壳210具有容置腔212以及设于安装壳210相对的两外壁上的入光口(图未示)及出光口(图未示)。入光口及出光口分别与容置腔212连通，且入光口及出光口沿Z轴排列。
[0048]Z轴振镜220安装于容置腔212内。Z轴振镜220能分别沿X轴及Y轴方向移动，以调节Z轴振镜220与入光口及出光口的位置。
[0049]在本实施方式中，安装壳210包括筒体214及设于筒体214—端的底板216。第一弹性部件设于底板214与Z轴振镜220之间，用于控制Z轴振镜220沿X轴(或Y轴)移动，第二弹性部件设于筒体214与Z轴振镜220之间，用于控制Z轴振镜220沿Y轴(或X轴)移动。在本实施方式中，第一弹性部件的数目为一个，第二弹性部件的数目为两个，两个第二弹性部件分别位于筒体214位于Y轴的两侧。
[0050]第一安装板230设于安装壳210具有入光口的外壁上，且第一安装板230上设有第一光口(图未示)。第一安装板230能分别沿X轴及Y轴方向移动，以调节第一光口与入光口的位置。
[0051]第二安装板240设于安装壳210具有出光口的外壁上，且第二安装板240上设有第二光口(图未示)。第二安装板240能分别沿X轴及Y轴方向移动，以调节第二光口与出光口的位置。
[0052]在本实施方式中，第一光口在X轴上的长度大于入光口在X轴上的长度，或者第一光口在Y轴上的长度大于入光口在Y轴上的长度。具体的，第一光口为长条形，入光口呈圆形。
[0053]第二光口在X轴上的长度大于出光口在X轴上的长度，或者第二光口在Y轴上的长度大于出光口在Y轴上的长度。具体的，第二光口为长条形，出光口呈圆形。
[0054]第一安装板230上设有多个第一螺纹孔(图未示)，第二安装板240上设有多个第二螺纹孔(图未示)。安装壳210与第一安装板230及第二安装板240连接的两外壁上分别设有多个安装螺纹孔(图未示)。
[0055]通过第一螺纹孔与安装螺纹孔控制第一安装板230沿X轴及Y轴方向移动。通过第二螺纹孔与安装螺纹孔控制第二安装板240沿X轴及Y轴方向移动。
[0056]当采用十字治具分别调节第一安装板230及第二安装板240与安装壳210的相对位置时，由于第一光口在X轴或Y轴方向的长度大于出光口在X轴或Y轴方向的长度，当第一安装板230沿X轴及Y轴移动时，激光束也能够同时通过第一光口与出光口。而且第一安装板230沿X轴及Y轴移动后，可以通过第一固定件、第一螺纹孔及安装螺纹孔固定于安装壳210的不同位置处。第二安装板240的调节过程与第一安装板230的调节过程相同。从而可以确保激光束可以通过入光口及出光口的中心。
[0057]安装壳210设于安装空间180，且入光口与出光口的物理光路中心为Z轴。
[0058]上述准直系统10工作时，先调节准直装置100，再安装Z轴振镜组件200，并调节其在光路中的位置。
[0059]调节准直装置100的过程如下:
[0060]先调节激光器110沿X轴及Y轴方向移动，以使激光器110发射的激光束能同时通过第一准直光阑130及第二准直光阑140 (此时，准直扩束镜120并不在光路上)。调节光斑位置定位仪150沿X轴及Y轴方向移动，以使得激光束的光斑位于光斑位置定位仪150的中心位置，并记录该中心位置。再调节准直扩束镜120沿X轴及Y轴方向移动，确保光斑在斑位置定位仪150上的位置不变化，即中心位置。
[0061]安装Z轴振镜组件200，并调节其在光路中的位置的过程如下:
[0062]先将安装壳210、第一安装板230及第二安装板240放于安装空间180处，并分别调节第一安装板230及第二安装板240沿X轴及Y轴方向移动，确保第一光口与入光口连通，第二光口与出光口连通，并确保光斑在斑位置定位仪150上的位置不变化。将Z轴振镜220安装于容置腔212内，调节Z轴振镜220沿X轴及Y轴方向移动，确保调节Z轴振镜220与入光口及出光口连通，并确保光斑在斑位置定位仪150上的位置不变化，即完成Z轴振镜220的准直校准。最后将经过准直校准的Z轴振镜220安装到激光三轴Z轴振镜上使用。上述准直装置100能对Z轴振镜组件200进行准直校准，相对于人眼校准具有较好的准直效果，且能标准化。
[0063]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种Z轴振镜组件的准直装置，其特征在于，包括依次排列的激光器、准直扩束镜、第一准直光阑、第二准直光阑以及光斑位置定位仪，且所述第一准直光阑与所述第二准直光阑之间具有用于安装Z轴振镜组件的安装空间； 其中，所述第一准直光阑与所述第二准直光阑的物理光路中心共线，以所述物理光路中心为三维直角坐标系中的Z轴，所述激光器能分别沿X轴及Y轴方向移动，所述准直扩束镜能分别沿X轴及Y轴方向移动，所述光斑位置定位仪能分别沿X轴及Y轴方向移动。
2.根据权利要求1所述的Z轴振镜组件的准直装置，其特征在于，还包括平台、第一四维调整台、第二四维调整台以及第三四维调整台； 所述激光器、所述准直扩束镜及所述光斑位置定位仪分别安装于所述第一四维调整台、所述第二四维调整台以及所述第三四维调整台上； 所述第一四维调整台、所述第二四维调整台、所述第一准直光阑、所述第二准直光阑以及所述第三四维调整台依次间隔设于所述平台上，且所述第一四维调整台、所述第二四维调整台、所述第一准直光阑、所述第二准直光阑以及所述第三四维调整台的物理光路中心共线。
3.根据权利要求1所述的Z轴振镜组件的准直装置，其特征在于，所述激光器为He-Ne激光器。
4.根据权利要求1所述的Z轴振镜组件的准直装置，其特征在于，所述准直扩束镜为伽利略式或开普勒式准直扩束镜。
5.根据权利要求1所述的Z轴振镜组件的准直装置，其特征在于，所述光斑位置定位仪为PSD观测定位仪或CCD观测定位仪。
6.一种与权利要求1-5中任一项所述的准直装置匹配的Z轴振镜组件，其特征在于，包括: 安装壳，其大小与所述安装空间匹配，具有容置腔以及设于所述安装壳相对的两外壁上的入光口及出光口，所述入光口及所述出光口分别与所述容置腔连通，所述入光口及所述出光口沿Z轴排列； Z轴振镜，安装于所述容置腔内，且能分别沿X轴及Y轴方向移动； 第一安装板，设于所述安装壳具有入光口的外壁上，且所述第一安装板上设有第一光口，第一安装板能分别沿X轴及Y轴方向移动；以及 第二安装板，设于所述安装壳具有出光口的外壁上，且所述第二安装板上设有第二光口，第二安装板能分别沿X轴及Y轴方向移动。
7.根据权利要求6所述的Z轴振镜组件，其特征在于，还包括第一弹性部件及第二弹性部件； 所述安装壳包括筒体及设于所述筒体一端的底板，所述第一弹性部件设于所述底板与所述Z轴振镜之间，用于控制所述Z轴振镜沿X轴或Y轴移动，所述第二弹性部件设于所述筒体与所述Z轴振镜之间，用于控制所述Z轴振镜沿Y轴或X轴移动。
8.根据权利要求6所述的Z轴振镜组件，其特征在于，所述第一光口在X轴上的长度大于所述入光口在X轴上的长度，或者所述第一光口在Y轴上的长度大于所述入光口在Y轴上的长度； 所述第二光口在X轴上的长度大于所出光口在X轴上的长度，或者所述第二光口在Y轴上的长度大于所述出光口在Y轴上的长度。
9.根据权利要求8所述的Z轴振镜组件，其特征在于，还包括第一固定件及第二固定件；所述第一安装板上设有多个第一螺纹孔，所述第二安装板上设有多个第二螺纹孔，所述安装壳与所述第一安装板及所述第二安装板连接的两外壁上分别设有多个安装螺纹孔，通过所述第一固定件、所述第一螺纹孔及所述安装螺纹孔控制所述第一安装板沿X轴及Y轴方向移动，通过所述第二固定件、所述第二螺纹孔及所述安装螺纹孔控制所述第二安装板沿X轴及Y轴方向移动。
10.一种准直系统，其特征在于，包括: 如权利要求1-5中任一项所述的准直装置；以及 如权利要求6-9中任一项所述的Z轴振镜组件，所述安装壳设于所述安装空间，且所述入光口与所述出光口的物理光路中心为所述Z轴。
【专利摘要】本实用新型涉及一种Z轴振镜组件的准直装置、Z轴振镜组件及准直系统。该Z轴振镜组件的准直装置，包括依次排列的激光器、准直扩束镜、第一准直光阑、第二准直光阑以及光斑位置定位仪，且第一准直光阑与第二准直光阑之间具有用于安装Z轴振镜组件的安装空间；其中，第一准直光阑与第二准直光阑的物理光路中心共线，以物理光路中心为三维直角坐标系中的Z轴，激光器能分别沿X轴及Y轴方向移动，准直扩束镜能分别沿X轴及Y轴方向移动，光斑位置定位仪能分别沿X轴及Y轴方向移动。上述Z轴振镜组件的准直装置具有较好的准直效果且能标准化。
【IPC分类】B23K26-362, G02B27-30, B23K26-38, B23K26-042, B23K26-064
【公开号】CN204545700
【申请号】CN201420833148
【发明人】苏培林, 吕洪杰, 翟学涛, 覃涛, 陈国栋, 杨朝辉, 高云峰
【申请人】大族激光科技产业集团股份有限公司, 深圳市大族数控科技有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2014年12月24日