专利名称：用于制作硅片的花篮机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片的制作机构，尤其是涉及一种用于制作硅片的花篮机 构。
背景技术：
利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐 蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌。当光入射到一定角度的斜面，光会 反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。中国专利公开了一种12 英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮(授权公告号CN 201309966Y)，其包括以下几部分正四 边形的花篮主体；位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀 过程中硅片飘出花篮的阻挡杆；正四边形的其中两个对边，分别由四根立方形条为支架，两 头和中间分别用方块连结而成；另外的两个对边，分别由两根立方形条和以一个方块连结 而成；正四边形花篮主体的四个边中部各设一个支撑在硅片下方的支撑片；支撑片中的两 个片位于里面下方的那根立方形条的中点，支撑片的另外两个片位于下边的那根立方形条 的中点，四个支撑片的长度均为5m，面积25mm。一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮， 位于花篮上方的支架上固定有四个阻挡杆，竖直地伸向花篮主体，并分别靠近花篮主体的 四条边，阻挡杆的伸出的长度为50mm，支架上所固定的四个阻挡杆中的相对的两个阻挡杆 旁边分别固定有用于钩住花蓝主体方块的挂钩。但是这种花篮在制绒过程中，硅片在花篮 中浸于制绒溶液，由于花篮前端为有PP材质阻隔，不能形成良好的流体循环，不仅花篮内 溶液浓度不均，花篮之间浓度也不均勻。并且花篮与硅片之间是由条形PP材质阻隔，这样 硅片与花篮之间接触面过大，影响硅片与溶液的接触，使其腐蚀速率发生变化，容易产生不 良片。
实用新型内容本实用新型是提供一种用于制作硅片的花篮机构，其主要是解决现有技术所存在 的硅片在花篮中浸于制绒溶液，由于花篮前端为有PP材质阻隔，不能形成良好的流体循 环，不仅花篮内溶液浓度不均，花篮之间浓度也不均勻的问题；本实用新型还解决了花篮 与硅片之间是由条形PP材质阻隔，这样硅片与花篮之间接触面过大，影响硅片与溶液的接 触，使其腐蚀速率发生变化，容易产生不良片等的技术问题。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的本实用新型的用于制作硅片的花篮机构，包括长方体型的花篮体，所述的花篮体 的两侧设有可与硅片固定的固定装置，花篮体前端设有可让溶液进入的缺口，花篮体后端 开有圆形镂空孔。将花篮的前端镂空与后端相似，可以使溶液在花篮内部形成良好有效的 循环。花篮体后端也可以开有其它形状的孔，用以保证溶液的循环。固定装置用来和硅片 固定，从而保证溶液对花篮中硅片的腐蚀。作为优选，所述的花篮体两侧的固定装置都为两排平行设置的卡齿，两排卡齿设
3在花篮体的中部。为了减少了硅片与花篮的接触面积，将花篮内的条形间隔改成上下两个 点式接触，利用卡齿的所占面积较小保证了硅片与溶液的最大接触面积，减少硅片与花篮 接触处产生花篮印等不良现象。作为优选，所述的卡齿为20-30对，圆形镂空孔的直径为50-70mm。卡齿最佳为24 对，圆形镂空孔的直径最佳为60mm。因此，本实用新型具有可以使溶液在花篮内部形成良好有效的循环，并且保证硅 片与溶液的最大接触面积，减少硅片与花篮接触处产生花篮印等不良现象，结构简单、合理 等特点。
附图1是本实用新型的一种结构示意图；附图2是图1的左视结构示意图；附图3是图1的俯视结构示意图。图中零部件、部位及编号花篮体1、圆形镂空孔2、卡齿3。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。实施例本例的用于制作硅片的花篮机构，如图1、图2、图3，有一个长方体型的花 篮体1，花篮体前端设有可让溶液进入的缺口，花篮体后端开有圆形镂空孔2，圆形镂空孔 的直径为60mm。花篮体的两侧都设有两排平行设置的卡齿3，两排卡齿设在花篮体1的中 部，卡齿为24对。使用时，将硅片通过卡齿3卡接在花篮体1的两侧，再将整个花篮浸入到溶液中， 即可对硅片进行腐蚀工序。以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于 此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新 型的专利范围之中。
权利要求1.一种用于制作硅片的花篮机构，包括长方体型的花篮体(1)，其特征在于所述的花 篮体(1)的两侧设有可与硅片固定的固定装置，花篮体前端设有可让溶液进入的缺口，花篮 体后端开有圆形镂空孔(2)。
2.根据权利要求1所述的用于制作硅片的花篮机构，其特征在于所述的花篮体(1)两 侧的固定装置都为两排平行设置的卡齿(3 )，两排卡齿设在花篮体(1)的中部。
3.根据权利要求1或2所述的用于制作硅片的花篮机构，其特征在于所述的卡齿(3) 为20-30对，圆形镂空孔(2)的直径为50-70mm。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片的制作机构，尤其是涉及一种用于制作硅片的花篮机构。其主要是解决现有技术所存在的硅片在花篮中浸于制绒溶液，由于花篮前端为有PP材质阻隔，不能形成良好的流体循环，不仅花篮内溶液浓度不均，花篮之间浓度也不均匀的问题；本实用新型还解决了花篮与硅片之间是由条形PP材质阻隔，这样硅片与花篮之间接触面过大，影响硅片与溶液的接触，使其腐蚀速率发生变化，容易产生不良片等的技术问题。本实用新型包括长方体型的花篮体(1)，其特征在于所述的花篮体(1)的两侧设有可与硅片固定的固定装置，花篮体前端设有可让溶液进入的缺口，花篮体后端开有圆形镂空孔(2)。
文档编号C23F1/08GK201785494SQ201020520750
公开日2011年4月6日 申请日期2010年9月8日 优先权日2010年9月8日
发明者倪恩光, 刘亮, 姚桂华, 张克强, 徐永洋, 谢小磊 申请人:绿华能源科技(杭州)有限公司