专利名称：一种NiCr阴极溅射挡板的制作方法
技术领域：
一种NiCr阴极溅射挡板技术领域[0001]本实用新型涉及一种玻璃制造行业，更具体地说，涉及一种NiCr阴极溅射挡 板。
背景技术：
[0002]原来，大面积连续镀膜线上的NiCr阴极溅射挡板较窄，两个阴极挡板之间的距 离为300mm，具有较快的沉积速度。但在镀制一些比较薄的Ni Cr层膜系时，NiCr阴极 功率不得不设置到IKw或是更低，如此低的功率密度使得NiCr原子溅射到基片表面时动 量非常小，附着力很差，产品非常容易出现脱膜，氧化等质量缺陷。实用新型内容[0003]本实用新型的目的是提供一种NiCr阴极溅射挡板。[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案[0005]一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的 第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板 本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一 伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板 本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的 第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第 二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动 时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。[0006]优选地，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板之间的可调节的距离范围至少 包括 145mm_155mm。[0007]本实用新型的有益效果是通过在原有不可调的NiCr阴极溅射挡板的开口部加 设一对相互之间的距离可调的第一伸缩板与第二伸缩板，可以根据生产要求来调节NiCr 阴极溅射的开口宽度，从而在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量 溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，同 时可以保证产品不会出现脱膜、氧化等质量缺陷，有效地提高了成品率。
[0008]附图1为本实用新型的NiCr阴极溅射挡板的结构示意图。[0009]附图中1、第一阴极挡板本体；2、第二阴极挡板本体；3、第一伸缩板；4、第二伸缩板。
具体实施方式
[0010]
以下结合附图所示的实施例对本实用新型的技术方案作以下详细描述[0011]如附图1所示，本实用新型的NiCr阴极溅射挡板包括第一阴极挡板本体1和第 二阴极挡板本体2，第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间具有一个口部，第 一阴极挡板本体1上设置有第一伸缩板3，第二阴极挡板本体2上设置有第二伸缩板4， 第一伸缩板3与第一阴极挡板本体1相互平行，第二伸缩板4与第二阴极挡板本体2相 互平行，第一伸缩板3能够沿第一阴极挡板本体1的表面滑动，第二伸缩板4能够沿第 二阴极挡板本体2的表面滑动，第一伸缩板3与第二伸缩板4能够相向滑动或者相背滑 动，第一伸缩板3与第二伸缩板4相向滑动时将第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本 体2之间的口部部分封盖，第一伸缩板3与第二伸缩板4之间的可调节的距离范围包括 145mm-155mm。[0012]上述实施例中的第一伸缩板3与第二伸缩板4的距离范围也可以从Omm开始直 至与第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间的口部的宽度相同。[0013]本实用新型通过在原有不可调的NiCr阴极溅射挡板的开口部加设一对相互之间 的距离可调的第一伸缩板与第二伸缩板，可以根据生产要求来调节NiCr阴极溅射的开口 宽度，从而在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表 面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，同时可以保证产 品不会出现脱膜、氧化等质量缺陷，有效地提高了成品率。[0014]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技 术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范 围。凡根据本实用新型精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围 之内。
权利要求1.一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第 一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，其特征在于所述的第 一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板， 所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第 二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑 动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板 与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩 板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。
2.根据权利要求1所述的一种NiCr阴极溅射挡板，其特征在于所述的第一伸缩板 与所述的第二伸缩板之间的可调节的距离范围至少包括145mm-155mm。
专利摘要本实用新型公开一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的口部部分封盖。本实用新型的结构在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，适合推广使用。
文档编号C23C14/14GK201809434SQ20102054719
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者朱哲煜, 武瑞军 申请人:吴江南玻华东工程玻璃有限公司