专利名称：用于硅片制绒的化学处理槽装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片的制绒装置，更具体地，涉及用于硅片制绒的化学处理槽装置。
背景技术：
随着光伏发电技术逐渐成熟，太阳能电池的应用也在蓬勃发展。制绒是太阳能电池中影响太阳能效率的重要因素。太阳能电池片的制绒，是通过化学反应在硅片表面产生各向异性腐蚀，形成密集的显微金字塔形角锥体结构的绒面，使太阳能电池片最大限度地减少光反射率，提高光电转换效率。因此，通过制绒可以有效地减少硅片对太阳光的反射作用，增加硅片对入射光的吸收，从而提高电池效率。在大工业生产中一般采用成本较低的氢氧化钠或氢氧化钾稀溶液(浓度为1% 2% )来制备绒面。另外，为了有效地控制反应速度和绒面的大小，会添加一定量的IPA作为缓释剂和络合剂。理想的绒面效果，应该是金字塔大小均匀，覆盖整个表面。金子塔的高度在3 5 y m之间，相邻金字塔之间没有空隙，具有较低的表面反射率。目前通用的生产工艺是采用槽式制绒，在制绒过程中，将清洗后的硅片放入盛有腐蚀液的化学处理槽中，常用的化学处理槽是一般的六面体容器，如正方体或长方体等。当化学处理槽中的腐蚀液溢出时，这种结构无法避免因腐蚀液溢出而造成的污染，同时造成腐蚀液的浪费，因此需要一种改进的能承载腐蚀液的溢出液体并减小腐蚀液浪费的用于硅片制绒的化学处理槽装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种改进的用于硅片制绒的化学处理槽装置。为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，所述内槽连接一外槽。在本实用新型的一实施方式中，所述内槽和所述外槽为一整体。在本实用新型的一实施方式中，所述内槽和所述外槽通过管道连通。在本实用新型的一实施方式中，所述管道上设置有循环泵。在本实用新型的一实施方式中，所述管道上还设置有一过滤器。在本实用新型的一实施方式中，所述管道设置有液体掷出口，所述排出口位于所述内槽中。在本实用新型的一实施方式中，所述液体排出口为两个。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是通过在化学处理内槽上连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，同时，通过循环管路使外槽中的溢出液体回到内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。
图I是常用的用于硅制绒的化学处理槽的结构示意图。图2是本实用新型一实施方式下用于硅片制绒的化学处理槽的结构示意图。图3是本实用新型一实施方式下用于硅片制绒的化学处理槽装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但所述实施例并不旨在限制本实用新型的保护范围。图I所示为常用盛有腐蚀液的化学处理槽100的结构示意图。图2所示为本实用新型一实施方式下的化学处理槽的结构示意图，该化学处理槽100'包括内槽101，与内槽连接的外槽102，借以承载内槽溢出的液体。在一实施方式中，该内槽和该外槽为一整体。 可替换的，该内槽与该外槽可以任何方式连接在一起，以确保连接处无液体渗漏现象。在一实施方式中，该化学处理槽为长方体结构。可替换的，该化学处理槽可以为其他任何结构的容器。如图2所示，通过在化学处理内槽101上连接一外槽102，使得化学处理内槽101中的腐蚀液溢出到外槽102中，避免了由此造成的污染。图3所示为本实用新型一实施方式下用于硅片制绒的化学处理槽装置的结构示意图。该化学处理槽装置100"包括内槽101 ;与内槽连接的外槽102，借以承载内槽101中溢出的液体；用以加热腐蚀液的位于内槽101底部的加热器103 ;连通内槽101和外槽102的管道104 ;设置在管道104上的循环泵105，通过循环泵105加压使得在内槽101与外槽102之间形成的循环管路；设置在管道104上的用以在循环管路中去除杂质的过滤器106 ；以及位于内槽101中的管道104上的两个液体排出口 107。当腐蚀液从内槽101中溢出到外槽102后，外槽102中的溢出液体在循环泵105的作用下沿图3箭头A所示方向流动，经由过滤器106去除杂质后流入内槽101中并从液体排出口 107排出。如图3所示，通过在化学处理内槽101上连接一外槽102，使得化学处理内槽101中的腐蚀液溢出到外槽102中，避免了由此造成的污染，同时，通过循环管路使外槽102中的溢出液体回到内槽101中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。以上所述的实施例只是本实用新型较优选的具体实施方式
的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案的范围内进行的通常变换和替换都应包含在本实用新型的范围内。
权利要求1.用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，其特征在于，所述内槽连接一外槽。
2.根据权利要求I所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述内槽和所述外槽为一整体。
3.根据权利要求I所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述内槽和所述外槽通过管道连通。
4.根据权利要求3所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述管道上设置有循环泵。
5.根据权利要求3所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述管道上还设置有ー过滤器。
6.根据权利要求3所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述管道设置有液体排出ロ，所述排出ロ位于所述内槽中。
7.根据权利要求6所述的用于硅片制绒的化学处理槽装置，其特征在于，所述液体排出口为两个。
专利摘要本实用新型涉及一种用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，所述内槽连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，所述内槽和所述外槽通过循环泵加压使得所述外槽中的液体回到所述内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。
文档编号C23F1/08GK202643918SQ20122017776
公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月24日 优先权日2012年4月24日
发明者杨华, 余义, 宋光华, 李庄 申请人:上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司