专利名称：用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及热解氮化硼坩埚制备技术领域，具体地说是一种用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具。
背景技术：
因诸多工艺条件等因素的限制，分子束外延等生产工艺中经常需要使用细颈球形氮化硼坩埚。细颈球形氮化硼坩埚的制备和其他氮化硼坩埚一样，是在沉积炉内，在2000°C左右的高温条件下，由三氯化硼和氨气反应生成气态氮化硼分子，生成的氮化硼沉积在位于沉积炉内的石墨模具表面上，从而形成细颈球形氮化硼坩埚。氮化硼质地较脆，而且氮硼坩埚一般比较薄，在沉积工序完成后，如何从细颈瓶中去除石墨模具，一直是一个工艺难题。目前主要是采用人工打磨的方式去除石墨模具。但人工打磨的方式效率低，且对操作要求高。为此本案的设计人提出采用形状与模具相适应的钢刷放入模具内部对模具进行机械打磨的方式。较人工方式效率有较大提高，但模具在出炉后，因其热膨胀系数比氮化硼大，所以两者产生分离，采用打磨的钢刷转动方式去除石墨模具时，经常因两者分离，发生模具和钢刷同时转动，无法打磨的现象。有鉴于上述现有的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具在使用中存在的诸多问题，本实用新型的设计人依靠多年的工作经验和丰富的专业知识积极加以研究和创新，最终研发出一种新颖的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。
实用新型内容为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，包括模具本体，所述模具本体具有空腔，所述模具本体的空腔内的底部具有固定凸起或固定凹槽。进一步，所述固定凸起或固定凹槽的截面呈多边形。进一步，所述固定凸起或固定凹槽的截面呈三角形。进一步,所述固定凸起或固定凹槽至少为两个。进一步，所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。进一步，所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于本实用新型的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具通过在石墨模具内底部设置固定凸起或固定凹槽使石墨模具与钢刷轴在周向上相对定位，然后驱动套于钢刷轴的带有刷齿的钢刷套旋转，避免了石墨模具随钢刷套同时转动，保证了钢刷套上的刷齿对模具进行有效的打磨。提高了工作效率。
图1为本实用新型的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具的实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。实施例1 图1为本实用新型的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具的实施例的结构示意图。如图1所示，用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，包括模具本体1，模具本体I具有空腔2，模具本体I的空腔2内的底部具有固定凸起3或固定凹槽。通过石墨模具内底部设置固定凸起或固定凹槽使石墨模具与钢刷轴在周向上相对定位，然后驱动套于钢刷轴的带有刷齿的钢刷套旋转，避免了石墨模具随钢刷套同时转动，保证了钢刷套上的刷齿对模具进行有效的打磨。提高了工作效率。作为优选，固定凸起或固定凹槽的截面呈多边形。这样只需要一个固定凸起或固定凹槽与钢刷的钢刷轴上相应的凹槽或凸起相配合就可实现石墨模具与钢刷轴在周向上相对固定。固定凸起或固定凹槽的截面优选为呈三角形。作为另一种选择，固定凸起或固定凹槽至少为两个。这样对固定凸起或固定凹槽的截面就没有要求就可实现本实用新型的目的。固定凸起或固定凹槽优选为三个，呈品字形分布。即位于正三角形的三个顶点上。固定凸起呈圆锥形或棱锥形。更加有利于石墨模具的周向定位。以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，包括模具本体，所述模具本体具有空腔，其特征在于，所述模具本体的空腔内的底部具有固定凸起或固定凹槽。
2.根据权利要求1所述的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，其特征在于，所述固定凸起或固定凹槽的截面呈多边形。
3.根据权利要求2所述的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，其特征在于，所述固定凸起或固定凹槽的截面呈三角形。
4.根据权利要求1所述的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，其特征在于，所述固定凸起或固定凹槽至少为两个。
5.根据权利要求4所述的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，其特征在于，所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。
6.根据权利要求1所述的用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，其特征在于，所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。
专利摘要本实用新型公开了一种用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具，包括模具本体，所述模具本体具有空腔，所述模具本体的空腔内的底部具有固定凸起或固定凹槽。固定凸起或固定凹槽至少为两个。固定凸起呈圆锥形或棱锥形。固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。本实用新型解决了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。
文档编号C23C16/34GK202865333SQ20122042908
公开日2013年4月10日 申请日期2012年8月27日 优先权日2012年8月27日
发明者何军舫, 王军勇 申请人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司