用于石英晶片磨边机的夹具的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于石英晶片磨边机的夹具，包括底座，底座上固定设置有导轨；导轨的两端分别活动连接有滑块；每个滑块的顶部固定设置有定位爪，两个定位爪相对设置；两个滑块通过气缸实现驱动；两个定位爪之间固定设置有吸台；吸台设置有负压产生装置；负压产生装置连接一负压传感器；负压传感器通过信号线连接气缸；吸台设置有一位置传感器；位置传感器连接负压产生装置。本发明能够实现石英晶片在全自动高速磨边机上的自动定位装夹功能。
【专利说明】用于石英晶片磨边机的夹具
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种石英晶片的加工设备，具体涉及一种用于石英晶片磨边机的夹具。
【背景技术】
[0002]全自动高速磨边机在工作过程中需要通过夹具将石英晶片夹持固定。由于磨边机在工作过程中高速运转，要求其夹具能够稳定可靠地对晶片进行定位操作。但是，现有的磨边机的夹具的定位精度低，在对石英晶片进行磨边时，由于不能准确定位，造成晶片的磨边精度低，产品合格率随之降低。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种用于石英晶片磨边机的夹具，它可以提高夹具的定位精度。
[0004]为解决上述技术问题，本发明用于石英晶片磨边机的夹具的技术解决方案为:
包括底座，底座上固定设置有导轨；导轨的两端分别活动连接有滑块；每个滑块的顶部固定设置有定位爪，两个定位爪相对设置；两个滑块通过气缸实现驱动；两个定位爪之间固定设置有吸台；吸台设置有负压产生装置；负压产生装置连接一负压传感器；负压传感器通过信号线连接气缸；吸台设置有一位置传感器；位置传感器连接负压产生装置。
[0005]所述吸台的上表面覆盖有硫化氢化丁腈橡胶层。
[0006]通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在所述吸台上；吸台的负压产生装置产生一负压吸住吸台上的石英晶片；负压传感器检测到负压信号后，向气缸发送信号，气缸带动滑块沿导轨向吸台方向移动，在两个定位爪的共同作用下推动石英晶片移动，将石英晶片推动到工作位置；当石英晶片移动到位后，位置传感器检测到石英晶片的位置信号，向吸台的负压产生装置发送信号，吸台产生另一更大的负压吸力，固定住吸台上的石英晶片；负压传感器检测到负压信号后，向气缸发送信号，气缸反向移动，两个定位爪松开对石英晶片的夹持。
[0007]本发明可以达到的技术效果是:
本发明能够达到0.05mm以内的定位精度,实现石英晶片的自动定位操作。
[0008]本发明能够实现石英晶片在全自动高速磨边机上的自动定位装夹功能。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明用于石英晶片磨边机的夹具的示意图。
[0010]图中附图标记说明:
I为定位爪，2为导轨，
3为吸台，4为气缸， 5为位置传感器，6为负压传感器，
7为底座，8为进气台，
9为滑块。
【具体实施方式】
[0011]如图1所示，本发明用于石英晶片磨边机的夹具，包括底座7，底座7上固定设置有导轨2 ;导轨2的两端活动连接两个滑块9 ;每个滑块9的顶部固定设置有定位爪1，两个定位爪I相对设置；两个滑块9通过气缸4实现驱动；
导轨2的中部固定设置有进气台8，进气台8上固定设置有吸台3 ;吸台3位于两个定位爪I之间；
吸台3设置有负压产生装置；负压产生装置连接一负压传感器6 ;负压传感器6通过信号线连接气缸4 ；
吸台3设置有一位置传感器5 ;位置传感器5连接负压产生装置。
[0012]吸台3的上表面覆盖有一层硫化氢化丁腈橡胶。
[0013]本发明的工作原理如下:
通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在吸台3上；吸台3的负压产生装置产生一负压吸住吸台3上的石英晶片，防止其滑动或掉落；
吸台3处的负压传感器6检测到该负压信号后，向气缸4发送信号，气缸4带动滑块9沿导轨2向吸台方向移动，在两个滑块9上定位爪I的共同作用下推动石英晶片移动，将石英晶片推动到工作位置；
当石英晶片移动到位后，位置传感器5检测到石英晶片的位置信号，向吸台3的负压产生装置发送信号，吸台3产生另一更大的负压吸力，固定住吸台3上的石英晶片；吸台3处的负压传感器6检测到该负压信号后，向气缸4发送信号,气缸4反向移动,两个滑块9上的定位爪I松开对石英晶片的夹持，此时可以对石英晶片进行磨边加工。
[0014]本发明适用于高速磨边机以固定石英晶片。
【权利要求】
1.一种用于石英晶片磨边机的夹具，其特征在于:包括底座，底座上固定设置有导轨；导轨的两端分别活动连接有滑块；每个滑块的顶部固定设置有定位爪，两个定位爪相对设置；两个滑块通过气缸实现驱动； 两个定位爪之间固定设置有吸台； 吸台设置有负压产生装置；负压产生装置连接一负压传感器；负压传感器通过信号线连接气缸； 吸台设置有一位置传感器；位置传感器连接负压产生装置。
2.根据权利要求1所述的用于石英晶片磨边机的夹具，其特征在于:所述吸台的上表面覆盖有硫化氢化丁腈橡胶层。
3.根据权利要求1所述的用于石英晶片磨边机的夹具，其特征在于:通过机械手抓取石英晶片并将石英晶片放在所述吸台上；吸台的负压产生装置产生一负压吸住吸台上的石英晶片; 负压传感器检测到负压信号后，向气缸发送信号，气缸带动滑块沿导轨向吸台方向移动，在两个定位爪的共同作用下推动石英晶片移动，将石英晶片推动到工作位置； 当石英晶片移动到位后，位置传感器检测到石英晶片的位置信号，向吸台的负压产生装置发送信号，吸台产生另一更大的负压吸力，固定住吸台上的石英晶片；负压传感器检测到负压信号后，向气缸发送信号，气缸反向移动，两个定位爪松开对石英晶片的夹持。
【文档编号】B24B41/06GK103506911SQ201310485956
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年10月17日 优先权日:2013年10月17日
【发明者】王维锐, 李广平, 范建伟, 鄢光明, 汪盈 申请人:浙江大学台州研究院