1.气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，其特征在于：在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。
2.如权利要求1所述的气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔为12至48个圆形的抽气小孔，小孔直径范围由1毫米至12毫米。
3.如权利要求1所述的气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔设置在陶瓷环的中间或上端或下端。