技术总结
本发明公开了一种减振装置，其应用于一研磨机台，该研磨机台具有一工件夹具，该减振装置包含有：一研磨减振模块，其具有：一第一方向单元，其设置于该研磨机台上；一第二方向单元；一连动单元，其穿设于该第一方向单元与该第二方向单元；以及一驱动单元，其耦接该连动单元；以及一滚刀减振模块，其具有：一支撑单元，其设于该工件夹具之间；以及一拉动单元，其耦接该支撑单元与该研磨机台。
技术研发人员：张詠棋;锺允睿;郑傑;林国暐
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
文档号码：201510888975
技术研发日：2015.12.07
技术公布日：2017.05.24